一種倒裝 LED 芯片在線檢測方法
本發(fā)明公開了一種倒裝LED芯片在線檢測方法,該方法所涉及的檢測裝置包括盤片裝載臺、運輸傳輸系統(tǒng)、收光測試組件、探針工作臺以及探測對準系統(tǒng),其中,該在線檢測方法為:在工作中,運輸傳送系統(tǒng)可以運輸盤片工作臺到合適的工作區(qū)域,調整位姿之后,啟動探測對準系統(tǒng)對探針工作臺進行控制,使探針與待測試的芯片接觸通電,使芯片發(fā)亮,從而收光測試組件可以對其進行檢測。按照本發(fā)明的機械結構,能夠成功地解決倒裝LED芯片電機和發(fā)光面不同側的問題,并且采用了精密圖像運動控制技術,實現(xiàn)了倒裝LED芯片的高速精密測試,加快了芯片的檢測效率。
華中科技大學
2021-04-14