硅基縫隙耦合式T型結(jié)的間接式毫米波信號檢測器
本發(fā)明的硅基縫隙耦合式T型結(jié)的間接式毫米波信號檢測器是由共面波導(dǎo)傳輸線、縫隙耦合結(jié)構(gòu)、移相器、單刀雙擲開關(guān)、T型結(jié)功分器、T型結(jié)功合器以及間接式熱電式功率傳感器所構(gòu)成,基于高阻Si襯底制作,其上有四個縫隙耦合結(jié)構(gòu),上方的兩個縫隙耦合結(jié)構(gòu)實現(xiàn)信號的頻率測量,下方的兩個縫隙耦合結(jié)構(gòu)實現(xiàn)信號的相位測量,在前后縫隙之間有一個移相器;T型結(jié)功分器和T型結(jié)功合器是由共面波導(dǎo)傳輸線、扇形缺陷結(jié)構(gòu)和空氣橋所組成;間接式熱電式功率傳感器由共面波導(dǎo)傳輸線、終端電阻以及熱電堆所構(gòu)成,熱電堆是由兩種不同的半導(dǎo)體臂級聯(lián)組成。
東南大學(xué)
2021-04-14