本發明的硅基懸臂梁耦合直接加熱式未知頻率毫米波相位檢測器,結構主要包括懸臂梁耦合結構、功率分配/合成器、直接加熱式微波功率傳感器和開關。懸臂梁耦合結構包括兩組懸臂梁,每組懸臂梁由兩個對稱的懸臂梁構成,兩個懸臂梁之間CPW傳輸線的電長度在所測信號頻率范圍內的中心頻率35GHz處為λ/4。為實現未知頻率毫米波相位的檢測,首先進行頻率檢測。頻率檢測通過利用直接加熱式微波功率傳感器測量兩路在所測信號頻率范圍內的中心頻率35GHz處相位差為90度的耦合信號的合成功率實現;相位檢測通過將兩路在中心頻率35GHz
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