本發(fā)明的Si基微機(jī)械懸臂梁耦合直接加熱式毫米波信號檢測器,結(jié)構(gòu)由懸臂梁耦合結(jié)構(gòu)、功率合成/分配器、直接加熱式微波功率傳感器和開關(guān)構(gòu)成。懸臂梁耦合結(jié)構(gòu)包括兩組懸臂梁,每組懸臂梁由兩個(gè)對稱的懸臂梁構(gòu)成,兩個(gè)懸臂梁之間CPW傳輸線的電長度在所測信號頻率范圍內(nèi)的中心頻率35GHz處為λ/4。功率通過輸入端口對應(yīng)的CPW信號線終端的直接加熱式微波功率傳感器進(jìn)行檢測;頻率檢測通過利用直接加熱式微波功率傳感器測量兩路在中心頻率處相位差為90度的耦合信號的合成功率實(shí)現(xiàn);相位檢測通過將兩路在中心頻率處相位差為90度的
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