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目前半導體光刻加工用的深紫外光刻膠都采用化學增幅體系，這種體系主要由含酸敏基團的成膜材料和光產酸劑組成，這種體系最大的問題是光產酸在后烘階段會發生酸遷移，導致光刻分辨率難以提高。能夠有效改善酸遷移問題的一種方法是采用高分子光產酸劑，且其光產酸是高分子強酸。 課題組研制了一系列新穎的含多種鎓鹽光產酸基團的苯乙烯衍生物及其與甲基丙烯酸酯的共聚物。它們在曝光過程中產生大分子的磺酸，因此可作為大分子光產酸劑與其它成膜材料一起組成化學增幅型光致抗蝕劑。 以之為產酸劑與其它部分保護的對羥基苯乙烯聚合物一起組成二組分的化學增幅型248-nm光刻膠， 制備了苯乙烯磺酸鎓鹽和甲基丙烯酸酯、對羥基苯乙烯的三元共聚物，再用可酸分解的叔丁基碳酸酯保護部分酚羥基，由其組成了單組分的化學增幅型248-nm光刻膠，這些正型248-nm光刻膠獲得了高感度（20-50mJ/cm2）、高分辨率(0.15-0.20微米)和留膜率（＞99%）及圖形線條平滑陡直等的出色表現。  利用高分子產酸劑透明性好的特點，還制備了厚膜248-nm光刻膠，可獲得線寬0.34微米、高-寬比可達5：1的光刻圖形：  在此基礎上，還制備了負型248-nm光刻膠，這些光刻膠也都獲得了很好的光刻成像性能表現。這些高分子光產酸劑也可用于制備新型的高性能193-nm光刻膠。 這些248-nm光刻膠的主要組分除了溶劑外都是自行制備，原料易得，反應條件溫和可控，去金屬雜質的方法也是簡便易行，成本相對低廉，在經過多年的深入研究之后，完全具備了產業化的條件。 半導體加工的關鍵設備、材料主要掌握在美、日手中，對我國電子工業的平穩發展帶來困難和潛在的巨大威脅。其中光刻膠作為芯片光刻加工的關鍵材料，日本公司的產品占據全球市場的70%以上，而我國在中高端產品上（248-nm光刻膠、193-nm光刻膠）完全依賴進口，即便是低端的i-線光刻膠國產化率也只有20%左右。因此，我們必須盡快扭轉這種不利的局面，這需要科研工作者和產業界共同努力以及政府的大力支持。     近年來光刻膠引起了社會的廣泛關注，已有多家企業開始投身于248-nm光刻膠與193-nm光刻膠的研發與產業化，但絕大部分仍處于研發階段。我們研制的光刻膠具備了產業化的技術條件并具有與國外先進光刻膠產品競爭的產品性能。    半導體加工用光刻膠種類較多，本課題組從2002年參與國家十五“863”光刻膠重大專項開始，至今近二十年來聚焦于光刻膠研究，在i-線膠、248-nm光刻膠、聚酰亞胺光刻膠、厚膜光刻膠及抗反射涂層材料等方面都取得了很好的結果，也在致力于這些光刻膠產品的產業化。 相關項目、專利及文章： 1.國家重大科技專項（02專項）子課題,課題編號:2010ZX02303（深紫外光刻膠專用光致產酸劑及新型成膜樹脂的擴試技術研究） 2.國家自然科學基金應急管理項目，51641301, 含光產酸基團的苯乙烯衍生物-甲基丙烯酸酯共聚物及其組成的化學增幅光致抗蝕劑研究,2016/01-2016/12 3.One-component chemically amplified resist composed of polymeric sulfonium salt PAGs for high resolution patterning，European Polymer Journal，114（2019），11-18 4.A new type of sulfonium salt copolymers generating polymeric photoacid: Preparation, properties and application，Reactive and Functional Polymers，130（2018），118-125 5.含光產酸基團的苯乙烯衍生物-甲基丙烯酸酯共聚物、其制備及其應用，中國發明專利，專利號：9。

目前半導體光刻加工用的深紫外光刻膠都采用化學增幅體系，這種體系主要由含酸敏基團的成膜材料和光產酸劑組成，這種體系最大的問題是光產酸在后烘階段會發生酸遷移，導致光刻分辨率難以提高。能夠有效改善酸遷移問題的一種方法是采用高分子光產酸劑，且其光產酸是高分子強酸。 課題組研制了一系列新穎的含多種鎓鹽光產酸基團的苯乙烯衍生物及其與甲基丙烯酸酯的共聚物。它們在曝光過程中產生大分子的磺酸，因此可作為大分子光產酸劑與其它成膜材料一起組成化學增幅型光致抗蝕劑。 以之為產酸劑與其它部分保護的對羥基苯乙烯聚合物一起組成二組分的化學增幅型248-nm光刻膠， 制備了苯乙烯磺酸鎓鹽和甲基丙烯酸酯、對羥基苯乙烯的三元共聚物，再用可酸分解的叔丁基碳酸酯保護部分酚羥基，由其組成了單組分的化學增幅型248-nm光刻膠，這些正型248-nm光刻膠獲得了高感度（20-50mJ/cm2）、高分辨率(0.15-0.20微米)和留膜率（＞99%）及圖形線條平滑陡直等的出色表現。   利用高分子產酸劑透明性好的特點，還制備了厚膜248-nm光刻膠，可獲得線寬0.34微米、高-寬比可達5：1的光刻圖形：   在此基礎上，還制備了負型248-nm光刻膠，這些光刻膠也都獲得了很好的光刻成像性能表現。這些高分子光產酸劑也可用于制備新型的高性能193-nm光刻膠。 這些248-nm光刻膠的主要組分除了溶劑外都是自行制備，原料易得，反應條件溫和可控，去金屬雜質的方法也是簡便易行，成本相對低廉，在經過多年的深入研究之后，完全具備了產業化的條件。 半導體加工的關鍵設備、材料主要掌握在美、日手中，對我國電子工業的平穩發展帶來困難和潛在的巨大威脅。其中光刻膠作為芯片光刻加工的關鍵材料，日本公司的產品占據全球市場的70%以上，而我國在中高端產品上（248-nm光刻膠、193-nm光刻膠）完全依賴進口，即便是低端的i-線光刻膠國產化率也只有20%左右。因此，我們必須盡快扭轉這種不利的局面，這需要科研工作者和產業界共同努力以及政府的大力支持。     近年來光刻膠引起了社會的廣泛關注，已有多家企業開始投身于248-nm光刻膠與193-nm光刻膠的研發與產業化，但絕大部分仍處于研發階段。我們研制的光刻膠具備了產業化的技術條件并具有與國外先進光刻膠產品競爭的產品性能。    半導體加工用光刻膠種類較多，本課題組從2002年參與國家十五“863”光刻膠重大專項開始，至今近二十年來聚焦于光刻膠研究，在i-線膠、248-nm光刻膠、聚酰亞胺光刻膠、厚膜光刻膠及抗反射涂層材料等方面都取得了很好的結果，也在致力于這些光刻膠產品的產業化。 相關項目、專利及文章： 1.國家重大科技專項（02專項）子課題,課題編號:2010ZX02303（深紫外光刻膠專用光致產酸劑及新型成膜樹脂的擴試技術研究） 2.國家自然科學基金應急管理項目，51641301, 含光產酸基團的苯乙烯衍生物-甲基丙烯酸酯共聚物及其組成的化學增幅光致抗蝕劑研究,2016/01-2016/12 3.One-component chemically amplified resist composed of polymeric sulfonium salt PAGs for high resolution patterning，European Polymer Journal，114（2019），11-18 4.A new type of sulfonium salt copolymers generating polymeric photoacid: Preparation, properties and application，Reactive and Functional Polymers，130（2018），118-125 5.含光產酸基團的苯乙烯衍生物-甲基丙烯酸酯共聚物、其制備及其應用，中國發明專利，專利號：9。

一、項目進展 已注冊公司運營 二、企業信息 企業名稱 武漢研鹿教育科技有限公司 企業法人 段瓔鈺 注冊時間 2019年3月15日 注冊所在省市 湖北武漢 組織機構代碼 91420111MA4K3AKL56 經營范圍 計算機教育軟件技術開發、技術咨詢、技術服務；教育咨詢（不含教育培訓）；企業管理咨詢；會議服務；計算機系統集成；企業管理咨詢；商務信息咨詢；文化藝術交流活動策劃；軟件產品、文化用品、工藝品（不含象牙及其制品）、玩具、日用品的銷售；廣告設計、制作、發布及代理。（依法須經審批的項目，經相關部門審批后方可開展經營活動） 企業地址 洪山區南湖大道182號中南財經政法大學中原大道新體育中心創業學院社會服務空間108辦公室 獲投資情況 1.種子輪:項目于 2018 年 4 月獲得種子輪投資 60 萬元2.天使輪:項目于2018年10月獲得天使輪投資900萬元人民幣，同時種子輪退出 三、負責人及成員 姓名 學院/所學專業 入學/畢業時間 段瓔鈺 工商管理學院/人力資源管理 2018.09/2022.06 李金龍 公共管理學院/社會工作 2021.09/2024.06 龐文雅 工商管理學院/市場營銷 2018.09/2022.06 段映辰 中韓新媒體學院/電影學 2018.09/2022.06 四、指導教師 姓名 學院/所學專業 職務/職稱 研究方向 鄧漢慧 公共管理學院 教授 社會保障、創業管理與政策、人力資源管理 喻良濤 公共管理學院 講師 社會保障、創業管理與政策、人力資源管理 五、項目簡介 “研鹿教育”是一個從“狀元帶狀元”入手創建的“學術精英養成和學業發展平臺”。 “研鹿教育”首創保研界學術精英發展咨詢盈利模式，其商業模式主要是通過提供教育咨詢與信息提供獲取利潤:通過公眾號、APP 等運營獲取用戶流量，獲取用戶流量后通過對用戶畫像分析和構建能 力素質模型提供精準高效的一站式咨詢服務，培養學子持續性學習習慣，提高用戶滿意度;用戶滿意度提高后積極將顧客轉化為咨詢師和就業者，及時更新商業信息的同時提高人力資源利用效率，形成知識共享的消費閉環。在消費閉環的形成過程中，“研鹿教育”則主要通過信息咨詢、學業規劃、課程提供等方式盈利。 項目從開始運營至今，已經建立起堅固的業務“護城河”以及極佳的行業競爭優勢。2018年3月開發出全國首個保研小程序——“研鹿考研”，先其余競爭對手一步進入保研咨詢藍海市場。2018年4月已獲種子輪投資，2018年10月獲得900萬天使輪融資，目前已覆蓋高校320所，咨詢師3.5萬，用戶社群流量15萬，累積32余萬粉絲，保研C2C咨詢領域市場份額占96%。 目前我們正在著重打造全面信息咨詢服務平臺，致力于提供升學就業一站式服務，以成為行業內龍頭企業為目標，繼續深耕保研咨詢等相應市場，加固業務“護城河”。

產品詳細介紹油研Yuken 是世界著名的葉片泵生產廠，本型泵專為低噪音工作而開發的高壓高性能泵，規格齊全。最大的特點是低噪音。并以質量可靠、故障率低而享有極高的聲譽.電話:(0755)89820325 傳真(0755)33252205E-mail:[email protected]聯系人:劉生  13670076552 深圳弘發液壓設備有限公司主要經營以下產品:日本YUKEN油研。油泵柱塞泵。變量泵及配件銷售。日本YUKEN、PV2R1、日本YUKEN、PV2R2、日本YUKEN、PV2R3、日本YUKEN、PV2R4 日本YUKEN、雙聯泵PV2R12。PV2R13。PV2R14。PV2R23。PV2R24。PV2R34。等油泵及配件PV2R1-6-F-RAA-4222 PV2R1-10-F-RAA-4222 PV2R1-12-F-RAA-41  PV2R1-14-F-RAA-41 PV2R1-17-F-RAA-41  PV2R1-19-F-RAA-41PV2R1-23-F-RAA-41    PV2R1-25-F-RAA-41PV2R1-28-F-RAA-41    PV2R1-31-F-RAA-41 PV2R2-26-F-RAA-41    PV2R2-33-F-RAA-41  PV2R2-41-F-RAA-41    PV2R2-47-F-RAA-41PV2R2-53-F-RAA-41    PV2R2-59-F-RAA-41PV2R2-65-F-RAA-41    PV2R3-52-F-RAA-31PV2R3-60-F-RAA-31    PV2R3-66-F-RAA-31PV2R3-76-F-RAA-31    PV2R3-94-F-RAA-31PV2R3-116-F-RAA-31   PV2R4-136-F-RAA-30PV2R4-153-F-RAA-30   PV2R4-184-F-RAA-30PV2R4-200-F-RAA-30   PV2R4-237-F-RAA-30  等雙聯泵：PV2R12。PV2R13。PV2R14。PV2R23。PV2R24。PV2R34。等油泵及配件。主要經營以下產品:日本YUKEN油研、油泵。柱塞泵 變量泵。YUKEN：AR變量柱塞：AR16、AR22；YUKEN：AR變量柱塞：AR16-FR01C-20YUKEN：AR變量柱塞：AR22-FR01C-20YUKEN：AR變量柱塞：AR16-FR01B-20YUKEN：AR變量柱塞：AR22-FR01B-20YUKEN：A系列 變量柱塞泵A10、A16、A22、A37、A56、A70、A90、A145YUKEN：A系列 變量柱塞泵A10-F-R-01-C-K-10YUKEN：A系列 變量柱塞泵A10-F-R-01-B-K-10YUKEN：A系列 變量柱塞泵A10-F-R-01-H-K-10YUKEN：A系列 變量柱塞泵A10-L-R-01-C-K-10YUKEN：A系列 變量柱塞泵A10-L-R-01-B-K-10YUKEN：A系列 變量柱塞泵A10-L-R-01-H-K-10YUKEN：A系列 變量柱塞泵A16-F-R-01-C-K-32YUKEN：A系列 變量柱塞泵A16-F-R-01-B-K-32YUKEN：A系列 變量柱塞泵A16-F-R-01-H-K-32YUKEN：A系列 變量柱塞泵A16-L-R-01-C-K-32YUKEN：A系列 變量柱塞泵A16-L-R-01-B-K-32YUKEN：A系列 變量柱塞泵A16-L-R-01-H-K-32YUKEN：A系列 變量柱塞泵A16-F-R-01-C-S-K-32YUKEN：A系列 變量柱塞泵A16-F-R-01-B-S-K-32YUKEN：A系列 變量柱塞泵A16-F-R-01-H-S-K-32YUKEN：A系列 變量柱塞泵A16-L-R-01-C-S-K-32YUKEN：A系列 變量柱塞泵A16-L-R-01-B-S-K-32YUKEN：A系列 變量柱塞泵A16-L-R-01-H-S-K-32YUKEN：A系列 變量柱塞泵A22-F-R-01-C-K-32YUKEN：A系列 變量柱塞泵A22-F-R-01-B-K-32YUKEN：A系列 變量柱塞泵A22-F-R-01-H-K-32YUKEN：A系列 變量柱塞泵A22-L-R-01-C-K-32YUKEN：A系列 變量柱塞泵A22-L-R-01-B-K-32YUKEN：A系列 變量柱塞泵A22-F-R-01-C-S-K-32YUKEN：A系列 變量柱塞泵A22-F-R-01-B-S-K-32YUKEN：A系列 變量柱塞泵A22-L-R-01-C-S-K-32YUKEN：A系列 變量柱塞泵A22-L-R-01-B-S-K-32YUKEN：A系列 變量柱塞泵A37-F-R-04-H-K-A-32366YUKEN：A系列 變量柱塞泵A37-F-R-01-B-K-32YUKEN：A系列 變量柱塞泵A37-F-R-01-H-K-32YUKEN：A系列 變量柱塞泵A37-L-R-01-C-K-32YUKEN：A系列 變量柱塞泵A37-L-R-01-B-K-32YUKEN：A系列 變量柱塞泵A37-L-R-01-H-K-32YUKEN：A系列 變量柱塞泵A37-F-R-01-C-S-K-32YUKEN：A系列 變量柱塞泵A37-F-R-01-B-S-K-32YUKEN：A系列 變量柱塞泵A37-F-R-01-H-S-K-32YUKEN：A系列 變量柱塞泵A37-L-R-01-C-S-K-32YUKEN：A系列 變量柱塞泵A37-L-R-01-B-S-K-32YUKEN：A系列 變量柱塞泵A37-L-R-01-H-S-K-32YUKEN：A系列 變量柱塞泵A37-F-R-01-C-K-32YUKEN：A系列 變量柱塞泵A37-F-R-01-B-K-32YUKEN：A系列 變量柱塞泵A37-F-R-01-H-K-32YUKEN：A系列 變量柱塞泵A37-L-R-01-C-K-32YUKEN：A系列 變量柱塞泵A37-L-R-01-B-K-32YUKEN：A系列 變量柱塞泵A37-L-R-01-H-K-32YUKEN：A系列 變量柱塞泵A37-F-R-01-C-S-K-32YUKEN：A系列 變量柱塞泵A37-F-R-01-B-S-K-32YUKEN：A系列 變量柱塞泵A37-F-R-01-H-S-K-32YUKEN：A系列 變量柱塞泵A37-L-R-01-C-S-K-32YUKEN：A系列 變量柱塞泵A37-L-R-01-B-S-K-32YUKEN：A系列 變量柱塞泵A37-L-R-01-H-S-K-32YUKEN：A系列 變量柱塞泵A56-F-R-01-C-K-32YUKEN：A系列 變量柱塞泵A56-F-R-01-B-K-32YUKEN：A系列 變量柱塞泵A56-F-R-01-H-K-32YUKEN：A系列 變量柱塞泵A56-L-R-01-C-K-32YUKEN：A系列 變量柱塞泵A56-L-R-01-B-K-32YUKEN：A系列 變量柱塞泵A56-L-R-01-H-K-32YUKEN：A系列 變量柱塞泵A56-F-R-01-C-S-K-32YUKEN：A系列 變量柱塞泵A56-F-R-01-B-S-K-32YUKEN：A系列 變量柱塞泵A56-F-R-01-H-S-K-32YUKEN：A系列 變量柱塞泵A56-L-R-01-C-S-K-32YUKEN：A系列 變量柱塞泵A56-L-R-01-B-S-K-32YUKEN：A系列 變量柱塞泵A56-L-R-01-H-S-K-32YUKEN：A系列 變量柱塞泵A70-F-R-01-C-S-60YUKEN：A系列 變量柱塞泵A70-F-R-01-B-S-60YUKEN：A系列 變量柱塞泵A70-F-R-01-H-S-60YUKEN：A系列 變量柱塞泵A70-L-R-01-K-S-60YUKEN：A系列 變量柱塞泵A70-L-R-01-C-S-60YUKEN：A系列 變量柱塞泵A70-L-R-01-B-S-60YUKEN：A系列 變量柱塞泵A70-L-R-01-H-S-60YUKEN：A系列 變量柱塞泵A70-L-R-01-K-S-60YUKEN：A系列 變量柱塞泵A90-F-R-01-C-S-60YUKEN：A系列 變量柱塞泵A90-F-R-01-B-S-60YUKEN：A系列 變量柱塞泵A90-F-R-01-H-S-60YUKEN：A系列 變量柱塞泵A90-L-R-01-K-S-60YUKEN：A系列 變量柱塞泵A90-L-R-01-C-S-60YUKEN：A系列 變量柱塞泵A90-L-R-01-B-S-60YUKEN：A系列 變量柱塞泵A90-L-R-01-H-S-60YUKEN：A系列 變量柱塞泵A90-L-R-01-K-S-60YUKEN：A系列 變量柱塞泵A145-F-R-01-C-S-60YUKEN：A系列 變量柱塞泵A145-F-R-01-B-S-60YUKEN：A系列 變量柱塞泵A145-F-R-01-H-S-60YUKEN：A系列 變量柱塞泵A145-L-R-01-K-S-60YUKEN：A系列 變量柱塞泵A145-L-R-01-C-S-60YUKEN：A系列 變量柱塞泵A145-L-R-01-B-S-60YUKEN：A系列 變量柱塞泵A145-L-R-01-H-S-60YUKEN：A系列 變量柱塞泵A145-L-R-01-K-S-60

本項目提出一種創新的集成電路(IC)制造工藝路線，即壓印光刻(Imprint Lithography－IL)技術，并對該技術相關的壓印和脫模工藝機理、紫外光固化阻蝕膠材料的物化和工藝特性、與IC制造其它工藝的綜合集成和優化、壓印光刻設備的關鍵技術等進行研究和技術開發。其基本原理為：以電子束直寫刻蝕(或其它刻蝕技術)生成IC圖型母板(模具)，以母板(模具)步

儀研智造（上海）藥檢儀器有限公司始創于2007年，是由原中國藥科大學技術專家和上海市光學研究所多名科研人員組成，主要開發生產與銷售藥物檢測儀器。依托高校雄厚的智力資源，結合多年來與國家藥典委員會、國家食品藥品監督管理局（SFDA）、國家/省/市級藥品檢驗所、各大醫藥教學/科研院所等建立起來的良好合作關系，公司不斷提高自身的科技創新能力和產品水平，現已發展為以電子信息、光機電、計算機技術一體化產品為主的現代化制造企業。 公司主營藥品檢測儀器，包括藥物黏度測定儀、藥物錐入度測定儀、膏藥軟化點測定儀、藥物凝固點測定儀、藥物旋轉粘度計、溶出儀、崩解儀、片劑硬度儀、片劑脆碎度儀、透皮擴散儀、融變儀等60多個系列，120余品種。主要產品覆蓋了全國所有省區，部分產品已進入海外市場。我司通過創新和技術進步，為制藥行業提供先進的解決方案。公司不斷投入研發和技術創新，保持與行業前沿的聯系，并積極參與行業標準的制定和更新。

YJ-0633A藥物黏度測定儀 本儀器YJ-0633A藥物黏度測定儀的制造符合中國藥典2020年版0633黏度測定法所規定的技術要求，可以通用品氏和烏氏粘度計。本儀器專為粘度測試設計，由水槽和控制器兩部分組成。粘度恒溫槽提供一個穩定的溫場和測試平臺，此外儀器也可作為高精度浴槽，進行其它試驗。本儀器的最大特點是：全噴塑處理，經久耐用；雙層缸結構，高精度控溫儀，控溫準確。 主要功能特點 1、采用智能液晶顯示溫控儀，控溫迅速，響應快，超調小，控溫精度達±0.1℃。 2、采用硬質玻璃缸及保溫外套缸（稱雙缸），保溫性能好，試樣觀察清晰。 3、采用臺式、一體機設計方式，儀器整體性好，使用方便。 4、帶有線控計時按鍵，用于實驗時的計時顯示和控制。 5、采用電動攪拌裝置，浴缸內的溫度均勻。 6、制冷器與主機分離式設計，防止壓縮機工作振動帶來的粘度計測試誤差。 二、主要技術參數 1、工作電源：   AC(220±10%)V，50Hz±5%。 2、加熱功率：   1600W。 3、攪拌電機：   功率6W；轉速 1200r/min。 4、測溫范圍：    10℃～180（選配制冷器后可實現制冷）5、控溫精度：   ±0.1℃。 6、恒溫?。?    容量，25L；形式，內外兩層缸（雙缸）。 7、使用環境：   環境溫度-10℃～+35℃，相對濕度＜85％。 8、溫度傳感器： 工業鉑電阻，其分度號為Pt100。 9、整機功耗：   不大于1800W。 10、毛細管粘度計：  4支（平氏或者烏氏客戶可任選）11、外形尺寸：   530㎜×400㎜×670㎜ （長×寬×高，含浴缸等）。

本發明公開了一種用于浸沒式光刻的浸液溫控系統，包括：用 于浸液流動的浸液管路，待溫控的浸液通過一管路進口進入該浸液管 路，溫控處理后的具有穩定溫度的浸液通過該浸液管路的出口輸出； 用于對所述浸液進行冷卻的工藝冷卻液回路，工藝冷卻液在該回路中 循環流動；以及多個熱交換器，其沿流向依次布置，所述浸液管路和 工藝冷卻水回路同時流經每個熱交換器，并利用各熱交換器分別依次 完成工藝冷卻液和浸液之間的熱交換，從而通過多次換熱獲得具有穩 定溫度的浸液，實現對浸液的溫度控制。本發明的裝置系統采用內部 回流結構與多級熱交換器相結合，實現對浸液溫度的多級控制，可以 實現浸沒光刻中對浸液穩定的精確穩定的控制，提供溫控效率。 

本發明公開了一種光刻掩模優化設計方法，該方法首先依據表 征掩模的網格格點尺寸大小對掩模進行分級，在粗網格上快速求解掩 模，然后對在粗網格上求解得到的掩模進行插值傳播到下一級較細網 格上進行細化校正，最終實現了掩模的快速優化。