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本發明公開了一種硅通孔結構的制造方法，包括以下步驟：將硅片的厚度減薄至 5 微米至 20 微米；去除硅片表面的所有絕緣層；在硅片的導電區表面和絕緣區表面制作摻雜掩膜，以對導電區和絕緣區分別進行粒子摻雜，絕緣區與導電區摻雜的粒子的極性相反；在粒子摻雜完成后去除摻雜掩膜；在導電區表面覆蓋金屬電極；在硅片的表面除金屬電極之外的區域覆蓋絕緣層。本發明的方法制造工藝簡單，可避免刻蝕、絕緣處理等工藝對硅片的破壞，并能夠提高制造硅通孔結構的成品率。本發明還公開了一種硅通孔結構。

成果與項目的背景及主要用途：立方氮化硼（CBN）的硬度很高，僅次于金剛石，具有一系列優越的物理、化學和機械性能，特別適合鐵族金屬材料的加工，它和金剛石用于加工硬而脆的非金屬材料互為補充，是一類用途很廣的超硬材料，其年增長速度遠高于金剛石。CBN 磨具磨削是磨加工領域中的高新技術。其中陶瓷結合劑 CBN 磨具具有磨削能力強、耐用度高、形狀保持性好、使用壽命長、磨削力小、磨削溫度低、不燒傷工件、工件表面完整性好且壽命長、磨具修整及更換頻次少、輔助勞動時間短、有利于實現生產自動化和提高生產效率、磨削廢渣少對環境污染小等等一系列優點，被認為是一類高速、高效、高精度、低磨削成本、低環境污染的高性能磨具，成為世界上競相研究開發的熱點和當代磨具產品發展的一個重要方向，發展前景廣闊。世界工業發達國家已將其應用于汽車關鍵零部件磨削等工業生產，顯著地提高了生產效率和產品質量，取得了明顯的社會經濟效益。目前，這種高效高精磨削技術在世界汽車制造領域正快速擴展，在機床、工具、模具、軸承等其它許多應用領域也在不斷擴展。本課題組通過承擔一系列省部市級科研項目和重大科技攻關項目，實現了技術成果集成，技術水平和產品性能達到國際先進水平。 技術原理與工藝流程簡介：陶瓷結合劑 CBN 磨具屬于具有磨削用途的多元物相復合材料體系。本技術綜合運用陶瓷。玻璃、復合材料、磨料磨具制備和磨削加工等有關理論為指導，采用具有自主知識產權的陶瓷結合劑，通過磨具組成與磨具結構的科學設計，以及磨具制備工藝優化控制，最終獲得具有最佳性能的磨具產品。 主要工藝流程如下： 結構設計→組成設計→配料→混料→成型→燒成→加工→性能檢測→成品技術水平及專利與獲獎情況：技術水平處于國際先進水平。本項目包含的成果，已獲省級科技進步二等獎一項，廳局級科技進步二等獎兩項。 應用前景分析及效益預測：陶瓷結合劑 CBN 磨具高效磨削工藝技術的應用，可直接提升機械加工業和機械裝備業的加工技術與工藝水平，提高產品質量和加工效率，增強企業競爭能力，增加經濟效益。同時用 CBN 磨具替代普通磨具的使用還可以減少生產中的磨削廢渣，減少磨削液的用量，減少環境污染。其在汽車、摩托車、拖拉機、工具、模具、軸承、機床、液壓件、工程陶瓷、軍工、航空、航天等領域的高精高效磨削加工方面具有廣泛的用途。據不完全統計，國內有數億元的市場潛力，其利潤率在 50%以上。 應用領域：汽車、摩托車、拖拉機、工具、模具、軸承、機床、液壓件、工程陶瓷、航空、航天等領域的高精高效磨削加工。 技術轉化條件（包括：原料、設備、廠房面積的要求及投資規模）： 廠房面積：300m2。 設備投資：100 萬元。 合作方式及條件：雙方協商。

項目獲得教育部新世紀優秀人才計劃、江蘇省科技計劃、無錫市科技計劃支持，獲得 2012 年中國輕工業聯合會科技進步二等獎，授權專利：車間加工設備群加工運行優化的方法（200910031198.9）。 1、項目簡介 在車間內建立有線或無線的物聯網，并與 ERP、PLM 等進行數據無縫對接，在此基礎上完成以下功能： （1）將客戶訂單轉化為生產訂單，通過電子文檔輸入訂單詳細要求和圖紙，根據規則排列訂單的重要程度，確定下單的凈需求量。 （2）根據制造 BOM 進行生產準備，與倉庫對接反饋存貨數量，確定工裝夾具、原料輔料、數控程序的準備計劃。 （3）編制每個生產訂單的詳細生產計劃，確定其在每臺設備上的開工完工時間或加工順序，對生產意外事件進行自動計劃重排，用約束理論提升計劃性能，充分發揮設備效率。 （4）實時監測生產任務進度，通過條形碼、射頻卡(RFID)、傳感器、數據接口等自動采集生產數據和質量數據，記錄實際加工過程，實現動態的計劃調整。 （5）根據檢驗規程在現場錄入檢驗記錄、觸發并管理不合格品評審，進行質量狀況的統計分析。 （6）用物聯網手段實現自動入庫、出庫、盤點等功能，自動感應貨位，引導傳送設備運輸。 （7）實現產品的出貨管理，包括裝車訂單合并、裝箱排列計劃、質保單等等功能的智能化生成等。 2、創新要點 數據采集方式實現了依靠數據終端雙向傳輸數據，在加工中可以進行任意工藝的變換和任務的改變，以及有效的跟蹤和控制。實現了倉庫的 RFID 感應式入庫。外協廠進入控制體系。 3、效益分析 資金需求總額 1 萬元/臺，對具備 10 臺機床的小型車間而言，每年凈提高產值 40 萬元以上 4、推廣情況 無錫市安邁工程機械有限公司；無錫壓縮機股份有限公司

項目獲得教育部新世紀優秀人才計劃、江蘇省科技計劃、無錫市科技計劃支持，獲得 2012 年中國輕工業聯合會科技進步二等獎，授權專利：車間加工設備群加工運行優化的方法（200910031198.9）。 1、項目簡介 在車間內建立有線或無線的物聯網，并與 ERP、PLM 等進行數據無縫對接，在此基礎上完成以下功能： （1）將客戶訂單轉化為生產訂單，通過電子文檔輸入訂單詳細要求和圖紙，根據規則排列訂單的重要程度，確定下單的凈需求量。 （2）根據制造 BOM 進行生產準備，與倉庫對接反饋存貨數量，確定工裝夾具、原料輔料、數控程序的準備計劃。 （3）編制每個生產訂單的詳細生產計劃，確定其在每臺設備上的開工完工時間或加工順序，對生產意外事件進行自動計劃重排，用約束理論提升計劃性能，充分發揮設備效率。 （4）實時監測生產任務進度，通過條形碼、射頻卡(RFID)、傳感器、數據接口等自動采集生產數據和質量數據，記錄實際加工過程，實現動態的計劃調整。 （5）根據檢驗規程在現場錄入檢驗記錄、觸發并管理不合格品評審，進行質量狀況的統計分析。 （6）用物聯網手段實現自動入庫、出庫、盤點等功能，自動感應貨位，引導傳送設備運輸。 （7）實現產品的出貨管理，包括裝車訂單合并、裝箱排列計劃、質保單等等功能的智能化生成等。 2、創新要點 數據采集方式實現了依靠數據終端雙向傳輸數據，在加工中可以進行任意工藝的變換和任務的改變，以及有效的跟蹤和控制。實現了倉庫的 RFID 感應式入庫。外協廠進入控制體系。 3、效益分析 資金需求總額 1 萬元/臺，對具備 10 臺機床的小型車間而言，每年凈提高產值 40 萬元以上 4、推廣情況 無錫市安邁工程機械有限公司；無錫壓縮機股份有限公司

針對我國面粉企業存在的信息化、智能化程度低導致的效率低、能耗高、面粉質量不穩定等問題，江南大學在國家糧食局公益性科研專項（基于物聯網的小麥加工 MES 體系研究及示范應用/201313012-01）資助下，基于互聯網+等技術，圍繞小麥制粉智能制造關鍵技術展開攻關，研發了信息化管理系統集成軟件，實現了實時數據平臺與過程控制系統、生產管理系統和制造執行系統的互通集成。 關鍵技術： （1）制粉全過程信息感知與傳輸技術 （2）制粉全過程物料跟蹤技術 （3）制粉設備全生命周期管理技術 （4）制粉企業信息化管理技術350 功能系統： 通過上述關鍵技術的攻關，最終形成如下功能性系統模塊： （1）數據采集系統 （2）供應鏈管理系統 （3）企業內部物流系統 （4）倉儲管理系統 （5）設備全生命周期管理系統 （6）能源管理系統 （7）ERP 系統 （8）綜合信息集成系統 知識產權： 項目成果取得授權發明專利 2 項，授權實用新型專利 3 項，獲得計算機軟件著作權 34 項。 示范推廣： 項目成果在河南麥道面粉有限公司、東莞國豐糧油有限公司等企業進行了推廣示范。項目成果可以推廣到稻谷加工、玉米加工、油脂加工、飼料加工等相關行業。 配套設施： 項目實施不需要額外增加廠房、小麥加工設備設施；只需配套必須的傳感器、服務器、計算機等設備

集成電路制造工藝虛擬仿真是模擬實際工廠，對集成電路產業的晶圓制造、芯片制造和封裝制造工藝，與真實生產操作環境和工藝環境下的虛擬現實仿真。

"杭州大華儀器制造有限公司坐落于杭州市郊美麗的富春江畔、《富春山居圖》的實景地、誕生地、國家級經濟技術開發區-------東洲工業功能區內，處在國家黃金旅游線“錢塘江-富春江-千島湖-黃山”的中心位置。 公司始創于1993年，廠區建筑面積35000多平方米，是一家倡導服務，集科研、生產、銷售于一體的國家重點扶持高新技術企業。20年來一直致力于大學物理實驗教學儀器、科研儀器設備的研發生產和銷售，形成了以8大系列300余種專業物理實驗設備為主，電工儀器為輔，軍用配套設備為支撐的產業結構。2010年，公司研發中心被評為以“科教儀器為主要研究方向”的省級企業高新技術研發中心。 公司以“科技締造未來”為企業理念，重視科技創新和產學研合作、重視人才的引進與培養，2000年以來與中科院固體物理研究所、中國計量學院、浙江大學、四川大學、天津師范大學、西安交通大學、西北工業大學、武漢工程大學等20多家高等院校和科研院所建立了穩定的產學研合作關系、大學生實踐基地，在功能材料科教儀器設備及測試技術、等離子體技術應用、大學物理設計創新、新能源產業等領域開展了廣泛的科技創新合作。近年來共獲得國家專利40余項，在累計三屆全國高校物理實驗儀器評比中，獲得三項一等獎，六項二等獎，九項三等獎的榮譽。并相繼獲得了 “全國名優產品售后服務先進單位”、“中國A級重質量、守信用企業”、“杭州市專利示范企業”等榮譽稱號，連續兩年列入教育部“中國高教儀器設備發展情況年度報告”設備選購推薦企業之一。 以“用戶至上，服務第一，質量為本，科學管理”為企業宗旨，嚴格執行“ISO9001：2008國際質量管理體系”的標準，注重一切流程以用戶滿意為標準，精益求精，持續提高產品的品質。我們的服務和產品現已遍布國內外兩千余所大專院校、科研院所和工業企業，并出口中東、東南亞、法國、古巴等國家和地區。

山東核電設備制造有限公司成立于2007年7月，是由國家核電技術公司控股組建的國內首家AP1000核電鋼制安全殼、結構模塊、機械模塊、一體化頂蓋組件等設備的專業制造公司。 作為三代核電AP1000堆型部分設備的設計、制造及現場安裝調試的生產基地，山東核電設備制造有限公司是保障AP1000堆型核電站安全殼壓力容器、模塊、一體化頂蓋組件及其他核電設備生產的專業企業，肩負著AP1000核電項目有關關鍵設備國產化、自主化的歷史使命。  公司于2009年9月順利通過美國ASME協會N、NPT、NA核級認證，在生產與組裝領域和核電工程現場的質量管理體系獲得國際權威機構的認可，成為中國第一家取得ASME核級綜合認證的企業；2010年9月，被認定為山東省省級技術中心；2009年10月，獲得中國國家核安全局頒發的民用核安全機械設備制造許可證；2010年12月，通過ISO9001質量管理體系、ISO14001環境管理體系、GB/T28001職業健康安全三標管理體系認證；2011年，公司被認定為山東省高新技術企業。 公司承擔著大型先進壓水堆國家重大專項兩項課題研究，并有10項科研成果獲得國家專利。目前，公司已在世界上率先成功掌握了三代核電AP1000鋼制安全殼、模塊制造及現場組拼裝的先進工藝，并形成了批量化生產能力；設備生產及現場組拼裝工作整體進度滿足三代核電自主化依托項目浙江三門、山東海陽核電建設進度要求，為中國三代核電自主化依托項目AP1000核電機組的工程建設以及后續項目的批量化、自主化建設打下了堅實的基礎。

青島共享智能制造有限公司是集工業環境特種機器人產品研發、生產制造、銷售為一體的國家高新技術企業，公司緊密跟蹤機器人技術及產品的發展，在工業生產自動化、智能化解決方案領域展開創新性工作，致力于打造成世界領先的解決方案供應商。公司主營產品有輸電線路巡檢機器人、鋼制壁面噴砂除銹機器人、碼垛機器人及生產線、自動包裝系統、檢測系統、環保工程、機器人手爪及全自動機器人碼垛系統、全自動化配料生產線等，廣泛應用于電力、造船、糧油飼料、化工等眾多行業。并在此基礎上積極拓展相關技術產品領域，不斷推動智能機電系統自動化水平的創新與提高。 青島共享智能制造有限公司擁有世界領先的技術，嚴格按照現代企業管理制度運作，注重學習和借鑒國內外優秀企業的管理模式和經驗，通過采用各種現代化的管理技術、方法和手段，不斷提高公司的科學管理能力。青島共享智能制造有限公司將永遠堅持自己的信念，不忘使命，以創新性技術與營銷模式努力成為一家有競爭力和吸引力、有社會責任感的優秀高科技公司。

浙江土工儀器制造有限公司是微機化、數字化、智能化試驗儀器專業生產企業，自1981年公司成立以來，經過四十載的風雨歷練，企業實現了跨越式的發展。公司現占地面積26680平方米（40畝），有現代化的標準廠房14幢，車、刨、銑、磨、鏜設備配套齊全，設計研發能力卓越，控制系統能自主研發，曾多次參加國家標準和地方標準制定，產品在國家重點工程和世界銀行招標中屢屢中標，浙江交通兩大工程：杭州灣跨海大橋，舟山連島工程的業主、監理、施工單位以及浙江省交通系統一百多家試驗室采用本公司的試驗儀器，是試驗儀器行業的隱形冠軍。 我公司是國家重點高新技術企業(有效期2018年11月30日—2021年11月30日），中國儀器儀表行業協會理事單位，浙江省儀器儀表行業協會副理事長單位，浙江省專利示范企業，浙江省“守合同、重信用”AAA級單位，浙江省土工試驗儀器高新技術企業研發中心，紹興市出口名牌單位，上虞政府質量獎獲獎企業，上虞試驗儀器行業進入上虞納稅大戶名單的企業，中華人民共和國進出口企業，產品出口美國、英國、德國、意大利、澳大利亞、瑞士等100多個國家和地區，能提供英標、法標、美標產品，為中國企業在國外施工提供過100多套儀器，為國內交通甲級試驗室提供過多套試驗儀器。企業通過ISO9001：2015質量管理體系認證，ISO14001:2015環境管理體系認證，職業健康安全管理體系認證，知識產權管理體系認證、法國BV國際質量認證、歐盟CE認證、瑞士SGS認證。六十六只產品獲得制造計量器具許可證，九十一只產品獲得國家專利證書，壓力試驗機、萬能試驗機獲得浙江名牌產品稱號、固結儀、直剪儀、三軸儀獲得紹興名牌產品稱號。我公司的土工試驗微機數據采集處理軟件、試驗機微機數據采集處理軟件具有計算機軟件著作權。公司是目前國內生產土工儀器、公路儀器、建材儀器品種齊全的企業，與全國多所高校建立了合作關系。“逾峰”商標在多個國家和地區申請注冊，在國際上具有較高的知名度和美譽度。 以服務塑造形象，用誠信鑄就品牌。逾峰人將以超強的研發能力，可靠的產品質量，高效的管理模式，優質的售后服務，現代化的設備和超前的意識創造行業奇跡，譜寫中國試驗儀器歷史上璀璨的篇章。