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本發明公開了一種深硅刻蝕方法，包括如下步驟：（1）在硅片表面制備圖形化的光刻膠掩膜；（2）對硅片進行深感應耦合等離子體干法刻蝕，包括多個刻蝕階段，每個刻蝕階段均在感應耦合等離子體機內，通過鈍化、轟擊和刻蝕三個步驟交替循環加工完成，隨著刻蝕深度的增加，各刻蝕階段中轟擊步驟的轟擊強度逐漸增強。本發明有效解決了現有技術中側壁垂直度及粗糙度難以控制以及大刻蝕深度難以實現的問題，在提高刻蝕效率的同時，提高了對光刻膠的選擇比，刻蝕槽側壁垂直度高，粗糙度小，刻蝕深度大。

一、前言 在中國長三角的核心地區，矗立著一座舉世矚目的新興城市——江蘇省蘇州昆山市。這是一方沃土，文化底蘊豐厚，孕育了百戲之祖昆曲、水鄉明珠周莊、奇石之王昆石，還有名聞遐邇的陽澄湖大閘蟹！ 她更是一方熱土，歷代英才輩出，創立圓周率的祖沖之、“富可敵國”的沈萬三、“國家興亡，匹夫有責”的顧炎武、創著《治家格言》的朱柏廬以及當代著名作曲家丁善德、航天英雄費俊龍，他們的成就與光輝令昆山人引以自豪和驕傲。 解放后，特別是改革開放三十年來，昆山更是以其超凡的膽略、博大的胸懷和無盡的活力，深深地吸引了包括世界500強企業在內的各國投資商、開發者和臺資企業四千余家，國民生產總值超過了中等發達國家水平，位列全國百強縣市之首，成為長三角區域經濟發達、商業繁榮、科技進步、社會安定，最具競爭力的新型城市。 大開放、大發展、大跨越,呼喚著大教育。上世紀九十年代，以美籍華人學者梁順才博士為董事長的蘇州茵夢湖集團以其遠見和慧眼，看到了區域經濟和社會發展必定帶來對人才，特別是高素質高技能應用型、創業型人才的迫切需求，毅然決定投資辦學。1998年11月15日，在江蘇省和蘇州市人民政府的大力支持下，硅湖職業技術學院隆重奠基，成為昆山歷史上第一所高等院校。 “硅湖”二字由學院創始人梁順才先生親自選定，借“硅谷”人才涌動而成“硅湖”之意，寄自強不息、教育報國之弘愿。 二、綜述篇 硅湖職業技術學院位于昆山市花橋國際商務城，背靠蘇州，緊鄰上海，為長三角的核心地區，發展潛力巨大。云集蘇滬的眾多先進制造業和現代服務業企業，為學院的快速發展和學生良好就業創造了得天獨厚的區域優勢。 學院根據市場需求，設立了機械與汽車工程系、土木建筑工程系、信息工程系、生物醫藥系、藝術設計系、工商管理系、外語系和基礎部、國際合作部、繼續教育部等十個系部，43個專業（含專業方向），覆蓋工程、經管、生物、語言、設計五大門類，全日制在校生近7000人。 現有專任教師 344名，其中有享受國務院特殊津貼和省內有突出貢獻的中青年專家2名,有高級職稱者59名，碩士以上研究生93名，雙師型教師117名；有來自加、日、韓等國的外籍教師6名；還有來自知名高校、企業的理論高、實踐豐富的兼職教師53人。 學院用地面積403畝；各類建筑15萬平方米，建有教學樓、實驗樓、圖書館、實訓基地、學生公寓、餐廳、多功能文體娛樂中心和生活服務中心及田徑、球類運動場。教學實驗儀器設備齊全，各類設施滿足教學、學習和生活需要。學院擁有先進的汽車拆裝中心、數控機電實訓中心建筑、會計模擬、股市模擬等58個專業實訓中心和實驗室,并與近百家企業合作，建有74個完備的校外實習、實訓基地為學生理論聯系實際、鍛煉實踐能力提供了良好的條件。 覆蓋全校的千兆以太網構建了教學、學習、交流和信息查詢的便捷通道，方正數字化校園信息平臺，為全面推行學分制提供管理支撐。 三、辦學篇 辦學十年來，硅湖職業技術學院謹遵“責任、榮譽”的硅湖校訓，堅持走“產學研一體化”的辦學之路，將“社會需求就是辦學方向，企業滿意就是質量標準，適應經濟就是學校發展”作為辦學方針，致力于創建具有硅湖特色的高職教育體系，努力培養適應現代經濟社會發展需要的應用型、創業型人才。 ? 就業主導，服務需求 十年來，學院堅持以就業為導向，提出了“立足昆山，面向長三角，為地方經濟建設培養既能動腦又能動手的高技能人才”的辦學目標以及“誠實守信，文化夠用，技能過硬，證書多樣”的人才培養要求，堅持定期進行人才需求市場調研和畢業生的跟蹤調查，根據市場變化及時調整和開發新專業，做到“專業開發與市場同步，專業改造與知識更新同步，專業設置與區域經濟發展同步”，先后增設了機電一體化技術、電氣自動化、生物技術（中藥加工與鑒定）、物流管理、旅游管理等十多個市場急需、就業前景看好的專業或專業方向。 學院各專業都組建了“專業建設委員會”，邀請相關企業的技術骨干和客座教授共同參與專業教學計劃、課程大綱和技能訓練指南的制訂。在教學過程中，學院始終把提高就業競爭力作為立足點，努力提高培養質量，強調“基礎能力與專業能力并重、創新教育與實踐教育并重和學歷證書與技能證書并重”三大原則，重點抓住英語、計算機、職業技能三大環節不放松，并將畢業設計（論文）、各類實習、軍事訓練與學習、社會實踐、公益勞動等實踐教學環節以及素質教育考核都納入學分考核體系，力求在全面提高學生綜合素質的基礎上，培養個性化、多樣化的創新型人才。辦學十年來，取得了一大批優秀的教學成果，其中04屆藝術設計系畢業生顧旭東的“虛擬辦公空間設計”和05屆土木建筑工程系畢業生柳寒陽“蘇州市馨泓小學校區建筑設計”，分別獲得江蘇省普通高等學校本專科畢業設計（論文）三等獎和一等獎；07屆藝術設計系畢業生蔣浙峰同學的畢業設計《以慈溪市明峰醫院為例淺析醫院裝飾設計》，又在2007江蘇省普通高校本專科畢業設計（論文）評優與抽檢中被評為二等獎。2007年10月，我院1081名學生報名參加省計算機等級考試，合格率為87.7%，其中優秀率為21.46%，遠高于全省69.72%的合格率和4.87%的優秀率,居全省100多所參考學校的第11位。2008年5月，我院參加江蘇省計算機等級考試的學生達1204人，一次通過率達到91.29%，超過全省平均合格率72.26%近20個百分點，綜合排名列全省本專科高校第四名，實現了歷史性的突破。 ? 全面推行完全學分制 為培養真正適應市場需求又有鮮明個性的應用型、創業型人才，硅湖職業技術學院在學院董事會的大力推動下，學院自2007級起試行學分制改革，成為江蘇省教育廳首批批準推行學分制的20所高校中唯一的一所民辦高校。史寶鳳董事長鮮明地提出“如果我們連學生自主選課都不讓，又談何培養應用型、創業型人才？！” 學校根據高職教育的培養目標和特點，將課程體系建設放在突出的位置，在保證主修專業培養質量的前提下，全面整合和挖掘專業內外的課程資源以及校內外的教學資源，構建“以能力為本位，以職業實踐為主線，以項目課程為主體”的多樣化的模塊課程體系，嘗試部分專業課程進行“訂單式”改革，并配置了目前國內最先進的教學管理軟件“正方高校現代教學管理信息系統”，建立了與學分制相適應的全新教學和學生管理體制和運行機制。現在，在硅湖職業技術學院，學生可以在完成主修專業核心課程的前提下，經導師指導自主進行跨類、跨系、跨專業選學學分課程。在校企合作中，凡涉及跨系跨類跨專業的項目，其專業核心課程設置及學分也可由相關專業與合作企業共同商定，以保證學分制的實施真正有利于推動產學研結合、有利于教學模式的創新和辦學效益的提高，大大提高了學生的學習主動性和積極性，同時也為教師的自我提高、事業發展和增加收入拓展了空間。 ? 產學結合育人才 硅湖職業技術學院建校伊始，學院董事會就將“產學研一體化”作為學校立校之本、強校之路，要求學院從“專業開拓、人才規格、教學計劃、課程內容、隊伍建設和考核評價”等六個方面與企業全面合作，力求做到：專業設置與市場需求相接軌，培養規格與企業需求相吻合，教學內容與企業技術改造和科技進步相銜接，實現學校育人與企業用人的結合。 經過十年的探索，學院在實踐中創建了“工學交替”、“訂單培養”、“跟班實習”、“頂崗實習”和“校企雙元培養”等多種形式的校企合作培養模式，并通過采取有力措施，鼓勵學生參加職業技能或職業資格認證的培訓和考核，使高素質、高技能的培養目標得到有力的保障。學院還組織專業教師通過“廠校崗位替換”、“訪問實踐鍛煉”和“互助培訓”等方式，讓教師輪流到企業考察、實踐，幫助他們熟悉了解一線的實際工作情況，使專業理論與實踐經驗等到較好的結合。與此同時，學校還克服困難，優先為合作單位開展員工培訓、技術咨詢和推薦優秀畢業生，努力為校企合作創造“雙贏”環境，建立長效機制。 目前，學院擁有近百家較為穩定的校外實習實訓與就業基地，其中包括昆山宏圖三胞、蘇州名碩電腦、仁寶電子科技有限公司、好孩子集團、上海同仁堂藥業有限公司、中鐵十局集團、天合建設集團有限公司、無錫旅游協會、易買得購物中心、蘇州金鷹裝飾工程有限公司等著名企業，也有眾多的中小企業，其中較完備的校外實習就業基地有47個。其中昆山天合建設集團還在我院土木建筑工程系設置了“天合集團獎教學金”，對在教學與學習中突出的教師和學生給予獎勵，鼓勵他們在為建筑業培養人才中創新創優。 雙贏的校企合作、產學結合，使學校、企業、學生三方找到了共同的目標、利益及動力，在為學生實習實訓提供保障的同時，也為畢業生就業開辟了“綠色通道”。近5年來，硅湖職業技術學院的畢業生一次性就業率始終高于96%，2008年達到99?07%！在社會上、特別是學生家長中形成了“到硅湖學院讀書，在長三角就業創業”的美譽和共識，成為硅湖職業技術學院一張漂亮的名片。 在2008年5月召開的“硅湖職業技術學院校企合作與實習實訓基地建設座談會”上，易買得購物中心、無錫萬達物流公司、好孩子集團、上海同濟堂藥業有限公司、南京索達軟件有限公司、林達策劃印務公司、昆山天合建筑集團等企業的老總和人力資源總監都異口同聲地說：硅湖學院通過校企合作“讓企業提前介入學校的教育教學，把企業需求、學校辦學和學生的職業生涯規劃三者緊密結合，無疑有助于將人才培養與企業需求真正做到對接，大大縮短了學生就業后與企業的磨合期，顯著提高了學生的就業競爭力”。 ? 強化責任，珍愛榮譽 硅湖職業技術學院在學生工作中，堅持以人為本，注重學生的全面發展，學習和借鑒國內外管理的先進模式，以“國家、責任、榮譽”為綱，突出學生優良品格的塑造。 學院針對學生入學起點偏低的現實，精心構建了“賞識激勵，擠壓成才”的育人模式，要求教師對學生傾注愛心，堅定信心，充滿耐心，以“硅湖學生好、人人有潛能、個個能成才”為信念，以愛動其心，以嚴導其行，為每一個學生提供一個最佳的發展空間，成為一個具有健全人格、良好心理素質和健康體魄的合格人才。 學院鼓勵學生自主建立各種專業和文體社團，組織開展豐富多彩的校園文化活動和社會實踐活動，一年一度的“硅湖之春”文化藝術節和“硅湖之夜”系列講座受到廣大學生的歡迎；“大學生實踐創新訓練活動”、“生存挑戰”和“學生技能大賽”成為學生熱捧的品牌項目，成為學生展示才能的最佳平臺。 學院還建立了學生服務中心，全天候地為學生提供咨詢、服務和管理，獲得了學生家長的好評。一位身有殘疾的母親在第二十四個教師節特地給學院院長寄來一封信，她動情地說“作為母親，我唯一的愿望就是希望女兒成人成才成功。當看到她終于實現了自己的理想和愿望，順利地走向工作崗位。我很高興，這是硅湖老師教育培養的結果！” 十年深耕，桃李芬芳。硅湖學子特有的務實心態、誠信為人、敬業精神以及良好的專業技能，贏得了用人單位的青睞和好評。易買得華東區人事部高級經理盛璐說：“我們是流通性企業，需要大量的人力資源。硅湖學院的學生肯學習、能吃苦，在培訓中，他們明顯比其他高校的同學上手快，我們歡迎這樣的學生，將他們作為易買得的儲備干部來培養”。昆山好孩子集團總裁宋鄭還先生對硅湖的畢業生贊賞有加：“硅湖培養的技術應用型人才，對于我們這樣的企業來說是非常需要的。這些學生留得住、用得上。他們的從業態度、敬業精神和創新能力讓我們滿意！” 四、尾聲 “桃李不言，下自成蹊”。硅湖職業技術學院，歷經十年的艱苦耕耘，向各行各業輸送了8000余名優秀的硅湖畢業生，他們扎根基層，能干實干，受到社會各界和用人單位的普遍好評。硅湖職業技術學院富有特色的辦學經驗，曾多次被《光明日報》、《瞭望周刊》、中央電視臺一套與新聞頻道等權威媒體采訪報道。學院先后被授予“全國自律與誠信建設先進單位”、“江蘇省職業教育先進單位”和“江蘇省百強民間組織先進單位”等光榮稱號。 如今的硅湖校園，自然風光令人陶醉，人文氣息沁人心扉。到處鋪著松軟翠綠的地毯，引來一群群白鷺，悠閑徜徉其間。氣勢恢弘的、外形宛如巨型飛碟的教學主樓，把一屆又一屆莘莘學子帶入知識的殿堂；古色古香的庭院式小樓，是專家、教授們安適的住所。校園里花木相映，小橋流水，自然品質和人文精粹和諧統一，如詩如畫。 一排排信息櫥窗前，名家的學術講座，精彩的文藝演出，激烈的體育比賽，豐富的專業技能比武，歷屆“硅湖之春”文化活動的特寫鏡頭，還有那一幅幅中外合作辦學的彩照，一份份創業有成的畢業生事跡簡介，生動展現了硅湖職業技術學院的豐碩成果和勃勃生機，描繪出硅湖文化絢麗多彩的畫卷。 我們堅信，經過硅湖人的不懈努力，硅湖職業技術學院的明天一定能綻放出更加璀璨的花朵，硅湖職業技術學院的未來一定會更加美好！

主要生產藥用玻管、中性硼硅玻璃安瓿/小瓶、低硼硅玻璃安瓿/小瓶、低硼硅管制口服液體瓶等產品。現擁有14條國際先進的拉管生產線，70余臺國際先進的制瓶機，年產各類安瓿/管制瓶32億支，藥用玻管（精品7.0）30000噸。

本發明公開了一種用于多晶硅鑄錠爐的隔熱塊，設置在多晶硅鑄錠爐的坩堝底部外周，用于坩堝加熱或冷卻多晶硅過程中的隔熱保溫，該隔熱塊為中空方形筒體結構，筒體筒壁為中空夾層結構，其中內壁用于包覆設置在坩堝底部的熱交換塊外周壁面，且該內壁與所述熱交換塊外周壁面具有間隙，所述外壁用于與設置在坩堝外圍的豎直隔熱板固定接觸，所述坩堝中心線、熱交換塊中心線以及隔熱塊中心線重合，且所述隔熱塊頂部低于熱交換塊頂部。本發明還公開了具有

首次使用炔烴作為卡賓前體完成了一例不對稱Si-H鍵插入反應，高效構筑了一類新型手性有機硅化合物。該反應使用手性羧酸雙銠催化劑，首先促進羰基-烯-炔底物發生分子內環化現場生成雙芳基金屬卡賓，該金屬卡賓中間體進而對硅烷的Si-H鍵發生高對映選擇性的插入反應，給出相應的手性有機硅化合物。該反應的條件溫和，底物適用范圍廣，大部分產物的ee值都能達到90%以上。所得的手性烯丙基硅產物能夠進一步轉化，例如發生烯丙基乙酰化反應，對映選擇性能夠得到很好的保持，因此在有機合成中具有一定的應用潛力。動力學實驗表明，反應對雙銠催化劑、硅烷展現出一級動力學效應，對底物則表現出零級動力學特征，說明銠卡賓對Si-H鍵的插入步驟是反應的決速步，這與動力學同位素實驗的結果（KIE=1.5）相一致。本研究表明炔烴作為卡賓前體同樣可以發生高對映選擇性的Si-H鍵插入反應，結合炔烴化學在從簡單原料構筑復雜產物上的優勢，為結構多樣性有機硅化合物的合成提供了新的方向。

傳統的CCD、CMOS硅基成像器件都不能響應紫外波段的光信號，這是因為紫外波段的光波在多晶硅中穿透深度很小（<2nm）。但是近年來隨著紫外探測技術的日趨發展，人們越來越需要對紫外波段進行更深的探測分析與認識。紫外探測技術是繼激光探測技術和紅外探測技術之后發展起來的又一軍民兩用光電探測技術。幾十年來，紫外探測技術已經逐漸應用于光譜分析、軍事、空間天文、環境監測、工業生產、醫用生物學等諸多領域，對現代科研、國防和人民生活都產生了深遠的影響。特別是在先進光譜儀器方面，國內急迫需要響應波段拓展到紫外的硅基成像器件。硅基成像器件如CCD、CMOS是應用最廣泛的光電探測器件。當前最先進的光譜儀器大都采用了CCD或CMOS作為探測器件，這是因為CCD、CMOS具有靈敏度強、噪聲低、成像質量好等優點。但由于紫外波段的光波在多晶硅中穿透深度很小（<2nm），CCD、CMOS等在紫外波段響應都很弱。成像器件的這種紫外弱響應限制了其在先進光譜儀器及其他領域紫外波段探測的使用。 在技術發達國家,寬光譜響應范圍、高分辨率、高靈敏度探測器CCD已經廣泛應用于高檔光譜儀器中。上世紀中葉美國Varian公司開發的Varian700 ICP-AES所使用的寬光譜CCD檢測器分辨率達0.01nm,光波長在600nm和300nm時QE分別達到了84%和50%；美國熱電公司開發的CAP600 系列ICP所用探測器光譜響應范圍更是達到165～1000nm，在200nm時的分辨率達到0.005nm.法國Johinyvon的全譜直讀ICP，其所用的CCD探測器像素分辨率達0.0035nm,紫外響應拓展到120nm的遠紫外波段。德國斯派克分析儀器公司的全譜直讀電感耦合等離子體發射光譜儀一維色散和22個CCD檢測器設計，其光譜響應范圍為120－800nm。德國耶拿JENA 連續光源原子吸收光譜儀contrAA采用高分辨率的中階梯光柵和紫外高靈敏度的一維CCD探測器，分辨率達0.002nm,光譜響應范圍為189—900 nm。總而言之，發達國家在寬光譜響應和高分辨率高靈敏度探測器件的研制領域已取得相當的成就。主要技術指標和創新點（1）  我們在國內首次提出紫外增強的硅基成像器件，并在不改變傳統硅基成像探測器件的結構的基礎上，利用鍍膜的方法增強成像探測器件CCD、CMOS的紫外響應，使其光譜響應范圍拓寬到190—1100nm，實現對190nm以上紫外光的探測。（2）  提高成像探測器的紫外波段靈敏度，達到0.1V/lex.s。（3）  增強成像探測器件的紫外響應的同時，盡量不削弱探測器件對可見波段的響應。（4）  選用適合的無機材料，克服有機材料使用壽命短的缺陷。 紫外探測技術已經逐漸應用于光譜分析、軍事、空間天文、環境監測、工業生產、醫用生物學等諸多領域，對現代科研、國防和人民生活都產生了深遠的影響。特別是在先進光譜儀器方面，國內急迫需要響應波段拓展到紫外的硅基成像器件，該設計與傳統CCD、CMOS結合，能滿足寬光譜光譜儀器所需的紫外響應探測器的需要。能提高光譜儀器光譜響應范圍，在科學實驗和物質分析和檢測中具有很廣的市場前景。 該設計樣品能取代傳統CCD、CMOS，應用于大型寬光譜光譜儀器上，作為光譜儀的探測器件。將傳統光譜儀器的光譜檢測范圍拓寬到190—1100nm. 實現紫外探測和紫外分析。具有較強的市場推廣應用價值。

北京大學物理學院“極端光學創新研究團隊”王劍威研究員和龔旗煌院士領導的課題組，與英國、丹麥、奧地利和澳大利亞的學者合作，實現了硅基集成光量子芯片上的多體量子糾纏和芯片-芯片間的量子隱形傳態功能，為芯片上光量子信息處理和計算模擬的應用，奠定了堅實的基礎。相關研究成果于近日發表在國際頂級物理期刊Nature Physics(https://www.nature.com/articles/s41567-019-0727-x)。 集成光量子芯片技術，結合了量子物理、量子信息和集成光子學等前沿學科，通過半導體微納加工制造高性能且大規模集成的光量子器件，實現對光量子信息的高效處理、計算和傳輸等功能。其中，利用硅基平面光波導集成技術的光量子芯片具有諸多獨特優勢，包括集成度高、穩定性好、編程操控性優越和可單片集成核心光量子器件等，因此被認為是一種實現光量子信息應用的重要手段之一。 A. 硅基量子隱形傳態和多光子量子糾纏芯片的示意圖，左上角為集成量子光源的電子顯微鏡圖；B. 量子隱形傳態的量子線路圖；C. 量子糾纏互換的量子線路圖；D. GHZ糾纏制備的量子線路圖 北京大學研究團隊與布里斯托爾大學、丹麥科技大學、奧地利科學院、赫瑞-瓦特大學和西澳大利亞大學科研人員密切合作，在硅基光量子芯片技術和應用方面取得了突破性進展。研究團隊發展了一種基于微環諧振腔的高性能集成量子光源，通過硅波導的強四波混頻非線性效應，實現了光子全同性優于90%、無需濾波后處理的50%觸發效率的單光子對源，達到了對4組微腔量子光源陣列的相干操控，片上雙光子量子糾纏源的保真度達到了92%。團隊實現了關鍵的可編程片上雙比特量子糾纏門，可以按照功能需要切換貝爾投影測量和量子比特焊接操作，通過量子態層析實驗確認了高保真的雙比特糾纏操作。 研究團隊在單一硅芯片上實現了高性能量子糾纏光源、可編程雙比特量子糾纏門，以及可編程單量子比特測量的全功能集成，進而實現了三種核心量子功能模塊——芯片上四光子真糾纏、量子糾纏互換、芯片-芯片間的高保真量子隱形傳態。通過對兩對糾纏光子對進行量子比特焊接操作，團隊實現并判定了四比特Greenberger-Horne-Zeilinger (GHZ) 真量子糾纏的存在；通過對兩對糾纏光子中各一個光子進行貝爾投影操作，實現了量子糾纏互換功能，使來自不同光子源的光子間產生了量子糾纏；利用兩個芯片間的量子態傳輸和量子糾纏分布技術，實現了兩個芯片間任意單量子比特的量子隱形傳態，達到了近90%的隱形傳態保真度。 團隊研制的硅基多光子量子芯片尺寸僅占幾平方毫米，比傳統實現方法小了約5-6個數量級，不僅達到了器件的微型化，同時具備了單片全功能集成、器件編程可控、系統性能優越等特點，其中量子隱形傳態保真度優于已報道的其它物理實現方法。多體量子糾纏體系的片上制備與量子調控技術，為片上量子物理基礎研究和片上光量子信息處理傳輸、量子計算模擬的應用提供了重要基礎。

本發明的首要目的是提供一種含硅含硼水性聚氨酯，本發明的另外一個目的是提供一種上述含硅含硼水性聚氨酯的制備方法，包括以下步驟：a、稱取大分子二元醇與TDI混合，在N2保護下升溫至70～90°C，反應1～3h，然后先加入DMPA反應1～2h，再加入BDO反應1～3h，降溫至60～70°C，接著滴加氨基封端的硅氧烷反應0.5～1.5h，降溫至30～50°C，得硅氧烷封端的聚氨酯；b、將硅氧烷封端的聚氨酯置于1500～2000rpm的轉速條件下,先加入TEA進行乳化、中和20～30min，再加入硼酸繼續乳化

環氧樹脂作為一種運用廣泛的高分子材料，主要優點有：①耐濕性、耐堿性、耐酸性和耐溶劑性好；②固化收縮率低；③介電絕緣性、力學性能優良；④與多種基材的粘接性能優異。但是，環氧樹脂耐熱阻燃性能差，極大限制了它在高性能化方向的應用。本項目采用磷、硅、氮三者協同阻燃體系改性環氧樹脂，不僅使環氧樹脂的阻燃性能達到不燃物標準，同時各元素比重都較低，相對降低由于某一種元素含量過高造成對環氧固化體系基體性能的過多影響。

 基于硅材料和CMOS工藝制備光電子器件及其集成技術，可實現低成本、批量化生產，并具有和微電子單片集成的潛力，是目前國際光電子前沿研究領域。該技術不僅可以用于片上光互連，也可為骨干網、光接入網和數據中心提供高性能、低成本收發模塊。  在國家973計劃項目《超高速低功耗光子信息處理集成芯片與技術基礎研究》的支持下，針對硅基材料不具備線性電光效應、而利用自由載流子等離子色散效應實現電光調節效率低、功耗高等科學難題，提出了一系列解決思路和具有創新性的器件結構，形成了硅基光電子集成器件設計方法和基于CMOS工藝的制備工藝流程，成功制備了一系列硅基光電子集成芯片。  該技術不僅為我國硅基光電子集成技術的發展和華為等知名電信設備企業新一代產品提供了有力的技術支撐，也引起了國際同行的密切關注。美國光學學會《Optics & Photonics News》曾出版專題報道“Integrated Photonics in China”，對本項目的部分工作進行了介紹。2014年底，Nature Photonics將本項目首次在硅基上研制成功的大容量可編程光緩存芯片作為Research Highlight加以報道。