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多晶硅鑄錠爐的隔熱塊及包括該隔熱塊的多晶硅鑄錠爐
2021-04-14 00:00:00
云上高博會
http://www.a00n.com
關鍵詞：
多晶硅鑄錠爐
所屬領域:
項目成果/簡介:
本發明公開了一種用于多晶硅鑄錠爐的隔熱塊，設置在多晶硅
鑄錠爐的坩堝底部外周，用于坩堝加熱或冷卻多晶硅過程中的隔熱保
溫，該隔熱塊為中空方形筒體結構，筒體筒壁為中空夾層結構，其中
內壁用于包覆設置在坩堝底部的熱交換塊外周壁面，且該內壁與所述
熱交換塊外周壁面具有間隙，所述外壁用于與設置在坩堝外圍的豎直
隔熱板固定接觸，所述坩堝中心線、熱交換塊中心線以及隔熱塊中心
線重合，且所述隔熱塊頂部低于熱交換塊頂部。本發明還公開了具有
項目階段:
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