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本發(fā)明公開了一種深硅刻蝕方法，包括如下步驟：（1）在硅片表面制備圖形化的光刻膠掩膜；（2）對(duì)硅片進(jìn)行深感應(yīng)耦合等離子體干法刻蝕，包括多個(gè)刻蝕階段，每個(gè)刻蝕階段均在感應(yīng)耦合等離子體機(jī)內(nèi)，通過(guò)鈍化、轟擊和刻蝕三個(gè)步驟交替循環(huán)加工完成，隨著刻蝕深度的增加，各刻蝕階段中轟擊步驟的轟擊強(qiáng)度逐漸增強(qiáng)。本發(fā)明有效解決了現(xiàn)有技術(shù)中側(cè)壁垂直度及粗糙度難以控制以及大刻蝕深度難以實(shí)現(xiàn)的問(wèn)題，在提高刻蝕效率的同時(shí)，提高了對(duì)光刻膠的選擇比，刻蝕槽側(cè)壁垂直度高，粗糙度小，刻蝕深度大。

主要生產(chǎn)藥用玻管、中性硼硅玻璃安瓿/小瓶、低硼硅玻璃安瓿/小瓶、低硼硅管制口服液體瓶等產(chǎn)品。現(xiàn)擁有14條國(guó)際先進(jìn)的拉管生產(chǎn)線，70余臺(tái)國(guó)際先進(jìn)的制瓶機(jī)，年產(chǎn)各類安瓿/管制瓶32億支，藥用玻管（精品7.0）30000噸。

一、前言 在中國(guó)長(zhǎng)三角的核心地區(qū)，矗立著一座舉世矚目的新興城市——江蘇省蘇州昆山市。這是一方沃土，文化底蘊(yùn)豐厚，孕育了百戲之祖昆曲、水鄉(xiāng)明珠周莊、奇石之王昆石，還有名聞遐邇的陽(yáng)澄湖大閘蟹！ 她更是一方熱土，歷代英才輩出，創(chuàng)立圓周率的祖沖之、“富可敵國(guó)”的沈萬(wàn)三、“國(guó)家興亡，匹夫有責(zé)”的顧炎武、創(chuàng)著《治家格言》的朱柏廬以及當(dāng)代著名作曲家丁善德、航天英雄費(fèi)俊龍，他們的成就與光輝令昆山人引以自豪和驕傲。 解放后，特別是改革開放三十年來(lái)，昆山更是以其超凡的膽略、博大的胸懷和無(wú)盡的活力，深深地吸引了包括世界500強(qiáng)企業(yè)在內(nèi)的各國(guó)投資商、開發(fā)者和臺(tái)資企業(yè)四千余家，國(guó)民生產(chǎn)總值超過(guò)了中等發(fā)達(dá)國(guó)家水平，位列全國(guó)百?gòu)?qiáng)縣市之首，成為長(zhǎng)三角區(qū)域經(jīng)濟(jì)發(fā)達(dá)、商業(yè)繁榮、科技進(jìn)步、社會(huì)安定，最具競(jìng)爭(zhēng)力的新型城市。 大開放、大發(fā)展、大跨越,呼喚著大教育。上世紀(jì)九十年代，以美籍華人學(xué)者梁順才博士為董事長(zhǎng)的蘇州茵夢(mèng)湖集團(tuán)以其遠(yuǎn)見和慧眼，看到了區(qū)域經(jīng)濟(jì)和社會(huì)發(fā)展必定帶來(lái)對(duì)人才，特別是高素質(zhì)高技能應(yīng)用型、創(chuàng)業(yè)型人才的迫切需求，毅然決定投資辦學(xué)。1998年11月15日，在江蘇省和蘇州市人民政府的大力支持下，硅湖職業(yè)技術(shù)學(xué)院隆重奠基，成為昆山歷史上第一所高等院校。 “硅湖”二字由學(xué)院創(chuàng)始人梁順才先生親自選定，借“硅谷”人才涌動(dòng)而成“硅湖”之意，寄自強(qiáng)不息、教育報(bào)國(guó)之弘愿。 二、綜述篇 硅湖職業(yè)技術(shù)學(xué)院位于昆山市花橋國(guó)際商務(wù)城，背靠蘇州，緊鄰上海，為長(zhǎng)三角的核心地區(qū)，發(fā)展?jié)摿薮蟆Ｔ萍K滬的眾多先進(jìn)制造業(yè)和現(xiàn)代服務(wù)業(yè)企業(yè)，為學(xué)院的快速發(fā)展和學(xué)生良好就業(yè)創(chuàng)造了得天獨(dú)厚的區(qū)域優(yōu)勢(shì)。 學(xué)院根據(jù)市場(chǎng)需求，設(shè)立了機(jī)械與汽車工程系、土木建筑工程系、信息工程系、生物醫(yī)藥系、藝術(shù)設(shè)計(jì)系、工商管理系、外語(yǔ)系和基礎(chǔ)部、國(guó)際合作部、繼續(xù)教育部等十個(gè)系部，43個(gè)專業(yè)（含專業(yè)方向），覆蓋工程、經(jīng)管、生物、語(yǔ)言、設(shè)計(jì)五大門類，全日制在校生近7000人。 現(xiàn)有專任教師 344名，其中有享受國(guó)務(wù)院特殊津貼和省內(nèi)有突出貢獻(xiàn)的中青年專家2名,有高級(jí)職稱者59名，碩士以上研究生93名，雙師型教師117名；有來(lái)自加、日、韓等國(guó)的外籍教師6名；還有來(lái)自知名高校、企業(yè)的理論高、實(shí)踐豐富的兼職教師53人。 學(xué)院用地面積403畝；各類建筑15萬(wàn)平方米，建有教學(xué)樓、實(shí)驗(yàn)樓、圖書館、實(shí)訓(xùn)基地、學(xué)生公寓、餐廳、多功能文體娛樂(lè)中心和生活服務(wù)中心及田徑、球類運(yùn)動(dòng)場(chǎng)。教學(xué)實(shí)驗(yàn)儀器設(shè)備齊全，各類設(shè)施滿足教學(xué)、學(xué)習(xí)和生活需要。學(xué)院擁有先進(jìn)的汽車拆裝中心、數(shù)控機(jī)電實(shí)訓(xùn)中心建筑、會(huì)計(jì)模擬、股市模擬等58個(gè)專業(yè)實(shí)訓(xùn)中心和實(shí)驗(yàn)室,并與近百家企業(yè)合作，建有74個(gè)完備的校外實(shí)習(xí)、實(shí)訓(xùn)基地為學(xué)生理論聯(lián)系實(shí)際、鍛煉實(shí)踐能力提供了良好的條件。 覆蓋全校的千兆以太網(wǎng)構(gòu)建了教學(xué)、學(xué)習(xí)、交流和信息查詢的便捷通道，方正數(shù)字化校園信息平臺(tái)，為全面推行學(xué)分制提供管理支撐。 三、辦學(xué)篇 辦學(xué)十年來(lái)，硅湖職業(yè)技術(shù)學(xué)院謹(jǐn)遵“責(zé)任、榮譽(yù)”的硅湖校訓(xùn)，堅(jiān)持走“產(chǎn)學(xué)研一體化”的辦學(xué)之路，將“社會(huì)需求就是辦學(xué)方向，企業(yè)滿意就是質(zhì)量標(biāo)準(zhǔn)，適應(yīng)經(jīng)濟(jì)就是學(xué)校發(fā)展”作為辦學(xué)方針，致力于創(chuàng)建具有硅湖特色的高職教育體系，努力培養(yǎng)適應(yīng)現(xiàn)代經(jīng)濟(jì)社會(huì)發(fā)展需要的應(yīng)用型、創(chuàng)業(yè)型人才。 ? 就業(yè)主導(dǎo)，服務(wù)需求 十年來(lái)，學(xué)院堅(jiān)持以就業(yè)為導(dǎo)向，提出了“立足昆山，面向長(zhǎng)三角，為地方經(jīng)濟(jì)建設(shè)培養(yǎng)既能動(dòng)腦又能動(dòng)手的高技能人才”的辦學(xué)目標(biāo)以及“誠(chéng)實(shí)守信，文化夠用，技能過(guò)硬，證書多樣”的人才培養(yǎng)要求，堅(jiān)持定期進(jìn)行人才需求市場(chǎng)調(diào)研和畢業(yè)生的跟蹤調(diào)查，根據(jù)市場(chǎng)變化及時(shí)調(diào)整和開發(fā)新專業(yè)，做到“專業(yè)開發(fā)與市場(chǎng)同步，專業(yè)改造與知識(shí)更新同步，專業(yè)設(shè)置與區(qū)域經(jīng)濟(jì)發(fā)展同步”，先后增設(shè)了機(jī)電一體化技術(shù)、電氣自動(dòng)化、生物技術(shù)（中藥加工與鑒定）、物流管理、旅游管理等十多個(gè)市場(chǎng)急需、就業(yè)前景看好的專業(yè)或?qū)I(yè)方向。 學(xué)院各專業(yè)都組建了“專業(yè)建設(shè)委員會(huì)”，邀請(qǐng)相關(guān)企業(yè)的技術(shù)骨干和客座教授共同參與專業(yè)教學(xué)計(jì)劃、課程大綱和技能訓(xùn)練指南的制訂。在教學(xué)過(guò)程中，學(xué)院始終把提高就業(yè)競(jìng)爭(zhēng)力作為立足點(diǎn)，努力提高培養(yǎng)質(zhì)量，強(qiáng)調(diào)“基礎(chǔ)能力與專業(yè)能力并重、創(chuàng)新教育與實(shí)踐教育并重和學(xué)歷證書與技能證書并重”三大原則，重點(diǎn)抓住英語(yǔ)、計(jì)算機(jī)、職業(yè)技能三大環(huán)節(jié)不放松，并將畢業(yè)設(shè)計(jì)（論文）、各類實(shí)習(xí)、軍事訓(xùn)練與學(xué)習(xí)、社會(huì)實(shí)踐、公益勞動(dòng)等實(shí)踐教學(xué)環(huán)節(jié)以及素質(zhì)教育考核都納入學(xué)分考核體系，力求在全面提高學(xué)生綜合素質(zhì)的基礎(chǔ)上，培養(yǎng)個(gè)性化、多樣化的創(chuàng)新型人才。辦學(xué)十年來(lái)，取得了一大批優(yōu)秀的教學(xué)成果，其中04屆藝術(shù)設(shè)計(jì)系畢業(yè)生顧旭東的“虛擬辦公空間設(shè)計(jì)”和05屆土木建筑工程系畢業(yè)生柳寒陽(yáng)“蘇州市馨泓小學(xué)校區(qū)建筑設(shè)計(jì)”，分別獲得江蘇省普通高等學(xué)校本專科畢業(yè)設(shè)計(jì)（論文）三等獎(jiǎng)和一等獎(jiǎng)；07屆藝術(shù)設(shè)計(jì)系畢業(yè)生蔣浙峰同學(xué)的畢業(yè)設(shè)計(jì)《以慈溪市明峰醫(yī)院為例淺析醫(yī)院裝飾設(shè)計(jì)》，又在2007江蘇省普通高校本專科畢業(yè)設(shè)計(jì)（論文）評(píng)優(yōu)與抽檢中被評(píng)為二等獎(jiǎng)。2007年10月，我院1081名學(xué)生報(bào)名參加省計(jì)算機(jī)等級(jí)考試，合格率為87.7%，其中優(yōu)秀率為21.46%，遠(yuǎn)高于全省69.72%的合格率和4.87%的優(yōu)秀率,居全省100多所參考學(xué)校的第11位。2008年5月，我院參加江蘇省計(jì)算機(jī)等級(jí)考試的學(xué)生達(dá)1204人，一次通過(guò)率達(dá)到91.29%，超過(guò)全省平均合格率72.26%近20個(gè)百分點(diǎn)，綜合排名列全省本專科高校第四名，實(shí)現(xiàn)了歷史性的突破。 ? 全面推行完全學(xué)分制 為培養(yǎng)真正適應(yīng)市場(chǎng)需求又有鮮明個(gè)性的應(yīng)用型、創(chuàng)業(yè)型人才，硅湖職業(yè)技術(shù)學(xué)院在學(xué)院董事會(huì)的大力推動(dòng)下，學(xué)院自2007級(jí)起試行學(xué)分制改革，成為江蘇省教育廳首批批準(zhǔn)推行學(xué)分制的20所高校中唯一的一所民辦高校。史寶鳳董事長(zhǎng)鮮明地提出“如果我們連學(xué)生自主選課都不讓，又談何培養(yǎng)應(yīng)用型、創(chuàng)業(yè)型人才？！” 學(xué)校根據(jù)高職教育的培養(yǎng)目標(biāo)和特點(diǎn)，將課程體系建設(shè)放在突出的位置，在保證主修專業(yè)培養(yǎng)質(zhì)量的前提下，全面整合和挖掘?qū)I(yè)內(nèi)外的課程資源以及校內(nèi)外的教學(xué)資源，構(gòu)建“以能力為本位，以職業(yè)實(shí)踐為主線，以項(xiàng)目課程為主體”的多樣化的模塊課程體系，嘗試部分專業(yè)課程進(jìn)行“訂單式”改革，并配置了目前國(guó)內(nèi)最先進(jìn)的教學(xué)管理軟件“正方高校現(xiàn)代教學(xué)管理信息系統(tǒng)”，建立了與學(xué)分制相適應(yīng)的全新教學(xué)和學(xué)生管理體制和運(yùn)行機(jī)制。現(xiàn)在，在硅湖職業(yè)技術(shù)學(xué)院，學(xué)生可以在完成主修專業(yè)核心課程的前提下，經(jīng)導(dǎo)師指導(dǎo)自主進(jìn)行跨類、跨系、跨專業(yè)選學(xué)學(xué)分課程。在校企合作中，凡涉及跨系跨類跨專業(yè)的項(xiàng)目，其專業(yè)核心課程設(shè)置及學(xué)分也可由相關(guān)專業(yè)與合作企業(yè)共同商定，以保證學(xué)分制的實(shí)施真正有利于推動(dòng)產(chǎn)學(xué)研結(jié)合、有利于教學(xué)模式的創(chuàng)新和辦學(xué)效益的提高，大大提高了學(xué)生的學(xué)習(xí)主動(dòng)性和積極性，同時(shí)也為教師的自我提高、事業(yè)發(fā)展和增加收入拓展了空間。 ? 產(chǎn)學(xué)結(jié)合育人才 硅湖職業(yè)技術(shù)學(xué)院建校伊始，學(xué)院董事會(huì)就將“產(chǎn)學(xué)研一體化”作為學(xué)校立校之本、強(qiáng)校之路，要求學(xué)院從“專業(yè)開拓、人才規(guī)格、教學(xué)計(jì)劃、課程內(nèi)容、隊(duì)伍建設(shè)和考核評(píng)價(jià)”等六個(gè)方面與企業(yè)全面合作，力求做到：專業(yè)設(shè)置與市場(chǎng)需求相接軌，培養(yǎng)規(guī)格與企業(yè)需求相吻合，教學(xué)內(nèi)容與企業(yè)技術(shù)改造和科技進(jìn)步相銜接，實(shí)現(xiàn)學(xué)校育人與企業(yè)用人的結(jié)合。 經(jīng)過(guò)十年的探索，學(xué)院在實(shí)踐中創(chuàng)建了“工學(xué)交替”、“訂單培養(yǎng)”、“跟班實(shí)習(xí)”、“頂崗實(shí)習(xí)”和“校企雙元培養(yǎng)”等多種形式的校企合作培養(yǎng)模式，并通過(guò)采取有力措施，鼓勵(lì)學(xué)生參加職業(yè)技能或職業(yè)資格認(rèn)證的培訓(xùn)和考核，使高素質(zhì)、高技能的培養(yǎng)目標(biāo)得到有力的保障。學(xué)院還組織專業(yè)教師通過(guò)“廠校崗位替換”、“訪問(wèn)實(shí)踐鍛煉”和“互助培訓(xùn)”等方式，讓教師輪流到企業(yè)考察、實(shí)踐，幫助他們熟悉了解一線的實(shí)際工作情況，使專業(yè)理論與實(shí)踐經(jīng)驗(yàn)等到較好的結(jié)合。與此同時(shí)，學(xué)校還克服困難，優(yōu)先為合作單位開展員工培訓(xùn)、技術(shù)咨詢和推薦優(yōu)秀畢業(yè)生，努力為校企合作創(chuàng)造“雙贏”環(huán)境，建立長(zhǎng)效機(jī)制。 目前，學(xué)院擁有近百家較為穩(wěn)定的校外實(shí)習(xí)實(shí)訓(xùn)與就業(yè)基地，其中包括昆山宏圖三胞、蘇州名碩電腦、仁寶電子科技有限公司、好孩子集團(tuán)、上海同仁堂藥業(yè)有限公司、中鐵十局集團(tuán)、天合建設(shè)集團(tuán)有限公司、無(wú)錫旅游協(xié)會(huì)、易買得購(gòu)物中心、蘇州金鷹裝飾工程有限公司等著名企業(yè)，也有眾多的中小企業(yè)，其中較完備的校外實(shí)習(xí)就業(yè)基地有47個(gè)。其中昆山天合建設(shè)集團(tuán)還在我院土木建筑工程系設(shè)置了“天合集團(tuán)獎(jiǎng)教學(xué)金”，對(duì)在教學(xué)與學(xué)習(xí)中突出的教師和學(xué)生給予獎(jiǎng)勵(lì)，鼓勵(lì)他們?cè)跒榻ㄖI(yè)培養(yǎng)人才中創(chuàng)新創(chuàng)優(yōu)。 雙贏的校企合作、產(chǎn)學(xué)結(jié)合，使學(xué)校、企業(yè)、學(xué)生三方找到了共同的目標(biāo)、利益及動(dòng)力，在為學(xué)生實(shí)習(xí)實(shí)訓(xùn)提供保障的同時(shí)，也為畢業(yè)生就業(yè)開辟了“綠色通道”。近5年來(lái)，硅湖職業(yè)技術(shù)學(xué)院的畢業(yè)生一次性就業(yè)率始終高于96%，2008年達(dá)到99?07%！在社會(huì)上、特別是學(xué)生家長(zhǎng)中形成了“到硅湖學(xué)院讀書，在長(zhǎng)三角就業(yè)創(chuàng)業(yè)”的美譽(yù)和共識(shí)，成為硅湖職業(yè)技術(shù)學(xué)院一張漂亮的名片。 在2008年5月召開的“硅湖職業(yè)技術(shù)學(xué)院校企合作與實(shí)習(xí)實(shí)訓(xùn)基地建設(shè)座談會(huì)”上，易買得購(gòu)物中心、無(wú)錫萬(wàn)達(dá)物流公司、好孩子集團(tuán)、上海同濟(jì)堂藥業(yè)有限公司、南京索達(dá)軟件有限公司、林達(dá)策劃印務(wù)公司、昆山天合建筑集團(tuán)等企業(yè)的老總和人力資源總監(jiān)都異口同聲地說(shuō)：硅湖學(xué)院通過(guò)校企合作“讓企業(yè)提前介入學(xué)校的教育教學(xué)，把企業(yè)需求、學(xué)校辦學(xué)和學(xué)生的職業(yè)生涯規(guī)劃三者緊密結(jié)合，無(wú)疑有助于將人才培養(yǎng)與企業(yè)需求真正做到對(duì)接，大大縮短了學(xué)生就業(yè)后與企業(yè)的磨合期，顯著提高了學(xué)生的就業(yè)競(jìng)爭(zhēng)力”。 ? 強(qiáng)化責(zé)任，珍愛榮譽(yù) 硅湖職業(yè)技術(shù)學(xué)院在學(xué)生工作中，堅(jiān)持以人為本，注重學(xué)生的全面發(fā)展，學(xué)習(xí)和借鑒國(guó)內(nèi)外管理的先進(jìn)模式，以“國(guó)家、責(zé)任、榮譽(yù)”為綱，突出學(xué)生優(yōu)良品格的塑造。 學(xué)院針對(duì)學(xué)生入學(xué)起點(diǎn)偏低的現(xiàn)實(shí)，精心構(gòu)建了“賞識(shí)激勵(lì)，擠壓成才”的育人模式，要求教師對(duì)學(xué)生傾注愛心，堅(jiān)定信心，充滿耐心，以“硅湖學(xué)生好、人人有潛能、個(gè)個(gè)能成才”為信念，以愛動(dòng)其心，以嚴(yán)導(dǎo)其行，為每一個(gè)學(xué)生提供一個(gè)最佳的發(fā)展空間，成為一個(gè)具有健全人格、良好心理素質(zhì)和健康體魄的合格人才。 學(xué)院鼓勵(lì)學(xué)生自主建立各種專業(yè)和文體社團(tuán)，組織開展豐富多彩的校園文化活動(dòng)和社會(huì)實(shí)踐活動(dòng)，一年一度的“硅湖之春”文化藝術(shù)節(jié)和“硅湖之夜”系列講座受到廣大學(xué)生的歡迎；“大學(xué)生實(shí)踐創(chuàng)新訓(xùn)練活動(dòng)”、“生存挑戰(zhàn)”和“學(xué)生技能大賽”成為學(xué)生熱捧的品牌項(xiàng)目，成為學(xué)生展示才能的最佳平臺(tái)。 學(xué)院還建立了學(xué)生服務(wù)中心，全天候地為學(xué)生提供咨詢、服務(wù)和管理，獲得了學(xué)生家長(zhǎng)的好評(píng)。一位身有殘疾的母親在第二十四個(gè)教師節(jié)特地給學(xué)院院長(zhǎng)寄來(lái)一封信，她動(dòng)情地說(shuō)“作為母親，我唯一的愿望就是希望女兒成人成才成功。當(dāng)看到她終于實(shí)現(xiàn)了自己的理想和愿望，順利地走向工作崗位。我很高興，這是硅湖老師教育培養(yǎng)的結(jié)果！” 十年深耕，桃李芬芳。硅湖學(xué)子特有的務(wù)實(shí)心態(tài)、誠(chéng)信為人、敬業(yè)精神以及良好的專業(yè)技能，贏得了用人單位的青睞和好評(píng)。易買得華東區(qū)人事部高級(jí)經(jīng)理盛璐說(shuō)：“我們是流通性企業(yè)，需要大量的人力資源。硅湖學(xué)院的學(xué)生肯學(xué)習(xí)、能吃苦，在培訓(xùn)中，他們明顯比其他高校的同學(xué)上手快，我們歡迎這樣的學(xué)生，將他們作為易買得的儲(chǔ)備干部來(lái)培養(yǎng)”。昆山好孩子集團(tuán)總裁宋鄭還先生對(duì)硅湖的畢業(yè)生贊賞有加：“硅湖培養(yǎng)的技術(shù)應(yīng)用型人才，對(duì)于我們這樣的企業(yè)來(lái)說(shuō)是非常需要的。這些學(xué)生留得住、用得上。他們的從業(yè)態(tài)度、敬業(yè)精神和創(chuàng)新能力讓我們滿意！” 四、尾聲 “桃李不言，下自成蹊”。硅湖職業(yè)技術(shù)學(xué)院，歷經(jīng)十年的艱苦耕耘，向各行各業(yè)輸送了8000余名優(yōu)秀的硅湖畢業(yè)生，他們?cè)鶎樱芨蓪?shí)干，受到社會(huì)各界和用人單位的普遍好評(píng)。硅湖職業(yè)技術(shù)學(xué)院富有特色的辦學(xué)經(jīng)驗(yàn)，曾多次被《光明日?qǐng)?bào)》、《瞭望周刊》、中央電視臺(tái)一套與新聞?lì)l道等權(quán)威媒體采訪報(bào)道。學(xué)院先后被授予“全國(guó)自律與誠(chéng)信建設(shè)先進(jìn)單位”、“江蘇省職業(yè)教育先進(jìn)單位”和“江蘇省百?gòu)?qiáng)民間組織先進(jìn)單位”等光榮稱號(hào)。 如今的硅湖校園，自然風(fēng)光令人陶醉，人文氣息沁人心扉。到處鋪著松軟翠綠的地毯，引來(lái)一群群白鷺，悠閑徜徉其間。氣勢(shì)恢弘的、外形宛如巨型飛碟的教學(xué)主樓，把一屆又一屆莘莘學(xué)子帶入知識(shí)的殿堂；古色古香的庭院式小樓，是專家、教授們安適的住所。校園里花木相映，小橋流水，自然品質(zhì)和人文精粹和諧統(tǒng)一，如詩(shī)如畫。 一排排信息櫥窗前，名家的學(xué)術(shù)講座，精彩的文藝演出，激烈的體育比賽，豐富的專業(yè)技能比武，歷屆“硅湖之春”文化活動(dòng)的特寫鏡頭，還有那一幅幅中外合作辦學(xué)的彩照，一份份創(chuàng)業(yè)有成的畢業(yè)生事跡簡(jiǎn)介，生動(dòng)展現(xiàn)了硅湖職業(yè)技術(shù)學(xué)院的豐碩成果和勃勃生機(jī)，描繪出硅湖文化絢麗多彩的畫卷。 我們堅(jiān)信，經(jīng)過(guò)硅湖人的不懈努力，硅湖職業(yè)技術(shù)學(xué)院的明天一定能綻放出更加璀璨的花朵，硅湖職業(yè)技術(shù)學(xué)院的未來(lái)一定會(huì)更加美好！

本發(fā)明公開了一種用于多晶硅鑄錠爐的隔熱塊，設(shè)置在多晶硅鑄錠爐的坩堝底部外周，用于坩堝加熱或冷卻多晶硅過(guò)程中的隔熱保溫，該隔熱塊為中空方形筒體結(jié)構(gòu)，筒體筒壁為中空夾層結(jié)構(gòu)，其中內(nèi)壁用于包覆設(shè)置在坩堝底部的熱交換塊外周壁面，且該內(nèi)壁與所述熱交換塊外周壁面具有間隙，所述外壁用于與設(shè)置在坩堝外圍的豎直隔熱板固定接觸，所述坩堝中心線、熱交換塊中心線以及隔熱塊中心線重合，且所述隔熱塊頂部低于熱交換塊頂部。本發(fā)明還公開了具有

首次使用炔烴作為卡賓前體完成了一例不對(duì)稱Si-H鍵插入反應(yīng)，高效構(gòu)筑了一類新型手性有機(jī)硅化合物。該反應(yīng)使用手性羧酸雙銠催化劑，首先促進(jìn)羰基-烯-炔底物發(fā)生分子內(nèi)環(huán)化現(xiàn)場(chǎng)生成雙芳基金屬卡賓，該金屬卡賓中間體進(jìn)而對(duì)硅烷的Si-H鍵發(fā)生高對(duì)映選擇性的插入反應(yīng)，給出相應(yīng)的手性有機(jī)硅化合物。該反應(yīng)的條件溫和，底物適用范圍廣，大部分產(chǎn)物的ee值都能達(dá)到90%以上。所得的手性烯丙基硅產(chǎn)物能夠進(jìn)一步轉(zhuǎn)化，例如發(fā)生烯丙基乙酰化反應(yīng)，對(duì)映選擇性能夠得到很好的保持，因此在有機(jī)合成中具有一定的應(yīng)用潛力。動(dòng)力學(xué)實(shí)驗(yàn)表明，反應(yīng)對(duì)雙銠催化劑、硅烷展現(xiàn)出一級(jí)動(dòng)力學(xué)效應(yīng)，對(duì)底物則表現(xiàn)出零級(jí)動(dòng)力學(xué)特征，說(shuō)明銠卡賓對(duì)Si-H鍵的插入步驟是反應(yīng)的決速步，這與動(dòng)力學(xué)同位素實(shí)驗(yàn)的結(jié)果（KIE=1.5）相一致。本研究表明炔烴作為卡賓前體同樣可以發(fā)生高對(duì)映選擇性的Si-H鍵插入反應(yīng)，結(jié)合炔烴化學(xué)在從簡(jiǎn)單原料構(gòu)筑復(fù)雜產(chǎn)物上的優(yōu)勢(shì)，為結(jié)構(gòu)多樣性有機(jī)硅化合物的合成提供了新的方向。

傳統(tǒng)的CCD、CMOS硅基成像器件都不能響應(yīng)紫外波段的光信號(hào)，這是因?yàn)樽贤獠ǘ蔚墓獠ㄔ诙嗑Ч柚写┩干疃群苄。?lt;2nm）。但是近年來(lái)隨著紫外探測(cè)技術(shù)的日趨發(fā)展，人們?cè)絹?lái)越需要對(duì)紫外波段進(jìn)行更深的探測(cè)分析與認(rèn)識(shí)。紫外探測(cè)技術(shù)是繼激光探測(cè)技術(shù)和紅外探測(cè)技術(shù)之后發(fā)展起來(lái)的又一軍民兩用光電探測(cè)技術(shù)。幾十年來(lái)，紫外探測(cè)技術(shù)已經(jīng)逐漸應(yīng)用于光譜分析、軍事、空間天文、環(huán)境監(jiān)測(cè)、工業(yè)生產(chǎn)、醫(yī)用生物學(xué)等諸多領(lǐng)域，對(duì)現(xiàn)代科研、國(guó)防和人民生活都產(chǎn)生了深遠(yuǎn)的影響。特別是在先進(jìn)光譜儀器方面，國(guó)內(nèi)急迫需要響應(yīng)波段拓展到紫外的硅基成像器件。硅基成像器件如CCD、CMOS是應(yīng)用最廣泛的光電探測(cè)器件。當(dāng)前最先進(jìn)的光譜儀器大都采用了CCD或CMOS作為探測(cè)器件，這是因?yàn)镃CD、CMOS具有靈敏度強(qiáng)、噪聲低、成像質(zhì)量好等優(yōu)點(diǎn)。但由于紫外波段的光波在多晶硅中穿透深度很小（<2nm），CCD、CMOS等在紫外波段響應(yīng)都很弱。成像器件的這種紫外弱響應(yīng)限制了其在先進(jìn)光譜儀器及其他領(lǐng)域紫外波段探測(cè)的使用。 在技術(shù)發(fā)達(dá)國(guó)家,寬光譜響應(yīng)范圍、高分辨率、高靈敏度探測(cè)器CCD已經(jīng)廣泛應(yīng)用于高檔光譜儀器中。上世紀(jì)中葉美國(guó)Varian公司開發(fā)的Varian700 ICP-AES所使用的寬光譜CCD檢測(cè)器分辨率達(dá)0.01nm,光波長(zhǎng)在600nm和300nm時(shí)QE分別達(dá)到了84%和50%；美國(guó)熱電公司開發(fā)的CAP600 系列ICP所用探測(cè)器光譜響應(yīng)范圍更是達(dá)到165～1000nm，在200nm時(shí)的分辨率達(dá)到0.005nm.法國(guó)Johinyvon的全譜直讀ICP，其所用的CCD探測(cè)器像素分辨率達(dá)0.0035nm,紫外響應(yīng)拓展到120nm的遠(yuǎn)紫外波段。德國(guó)斯派克分析儀器公司的全譜直讀電感耦合等離子體發(fā)射光譜儀一維色散和22個(gè)CCD檢測(cè)器設(shè)計(jì)，其光譜響應(yīng)范圍為120－800nm。德國(guó)耶拿JENA 連續(xù)光源原子吸收光譜儀contrAA采用高分辨率的中階梯光柵和紫外高靈敏度的一維CCD探測(cè)器，分辨率達(dá)0.002nm,光譜響應(yīng)范圍為189—900 nm。總而言之，發(fā)達(dá)國(guó)家在寬光譜響應(yīng)和高分辨率高靈敏度探測(cè)器件的研制領(lǐng)域已取得相當(dāng)?shù)某删汀Ｖ饕夹g(shù)指標(biāo)和創(chuàng)新點(diǎn)（1）  我們?cè)趪?guó)內(nèi)首次提出紫外增強(qiáng)的硅基成像器件，并在不改變傳統(tǒng)硅基成像探測(cè)器件的結(jié)構(gòu)的基礎(chǔ)上，利用鍍膜的方法增強(qiáng)成像探測(cè)器件CCD、CMOS的紫外響應(yīng)，使其光譜響應(yīng)范圍拓寬到190—1100nm，實(shí)現(xiàn)對(duì)190nm以上紫外光的探測(cè)。（2）  提高成像探測(cè)器的紫外波段靈敏度，達(dá)到0.1V/lex.s。（3）  增強(qiáng)成像探測(cè)器件的紫外響應(yīng)的同時(shí)，盡量不削弱探測(cè)器件對(duì)可見波段的響應(yīng)。（4）  選用適合的無(wú)機(jī)材料，克服有機(jī)材料使用壽命短的缺陷。 紫外探測(cè)技術(shù)已經(jīng)逐漸應(yīng)用于光譜分析、軍事、空間天文、環(huán)境監(jiān)測(cè)、工業(yè)生產(chǎn)、醫(yī)用生物學(xué)等諸多領(lǐng)域，對(duì)現(xiàn)代科研、國(guó)防和人民生活都產(chǎn)生了深遠(yuǎn)的影響。特別是在先進(jìn)光譜儀器方面，國(guó)內(nèi)急迫需要響應(yīng)波段拓展到紫外的硅基成像器件，該設(shè)計(jì)與傳統(tǒng)CCD、CMOS結(jié)合，能滿足寬光譜光譜儀器所需的紫外響應(yīng)探測(cè)器的需要。能提高光譜儀器光譜響應(yīng)范圍，在科學(xué)實(shí)驗(yàn)和物質(zhì)分析和檢測(cè)中具有很廣的市場(chǎng)前景。 該設(shè)計(jì)樣品能取代傳統(tǒng)CCD、CMOS，應(yīng)用于大型寬光譜光譜儀器上，作為光譜儀的探測(cè)器件。將傳統(tǒng)光譜儀器的光譜檢測(cè)范圍拓寬到190—1100nm. 實(shí)現(xiàn)紫外探測(cè)和紫外分析。具有較強(qiáng)的市場(chǎng)推廣應(yīng)用價(jià)值。

北京大學(xué)物理學(xué)院“極端光學(xué)創(chuàng)新研究團(tuán)隊(duì)”王劍威研究員和龔旗煌院士領(lǐng)導(dǎo)的課題組，與英國(guó)、丹麥、奧地利和澳大利亞的學(xué)者合作，實(shí)現(xiàn)了硅基集成光量子芯片上的多體量子糾纏和芯片-芯片間的量子隱形傳態(tài)功能，為芯片上光量子信息處理和計(jì)算模擬的應(yīng)用，奠定了堅(jiān)實(shí)的基礎(chǔ)。相關(guān)研究成果于近日發(fā)表在國(guó)際頂級(jí)物理期刊Nature Physics(https://www.nature.com/articles/s41567-019-0727-x)。 集成光量子芯片技術(shù)，結(jié)合了量子物理、量子信息和集成光子學(xué)等前沿學(xué)科，通過(guò)半導(dǎo)體微納加工制造高性能且大規(guī)模集成的光量子器件，實(shí)現(xiàn)對(duì)光量子信息的高效處理、計(jì)算和傳輸?shù)裙δ堋Ｆ渲校霉杌矫婀獠▽?dǎo)集成技術(shù)的光量子芯片具有諸多獨(dú)特優(yōu)勢(shì)，包括集成度高、穩(wěn)定性好、編程操控性優(yōu)越和可單片集成核心光量子器件等，因此被認(rèn)為是一種實(shí)現(xiàn)光量子信息應(yīng)用的重要手段之一。 A. 硅基量子隱形傳態(tài)和多光子量子糾纏芯片的示意圖，左上角為集成量子光源的電子顯微鏡圖；B. 量子隱形傳態(tài)的量子線路圖；C. 量子糾纏互換的量子線路圖；D. GHZ糾纏制備的量子線路圖 北京大學(xué)研究團(tuán)隊(duì)與布里斯托爾大學(xué)、丹麥科技大學(xué)、奧地利科學(xué)院、赫瑞-瓦特大學(xué)和西澳大利亞大學(xué)科研人員密切合作，在硅基光量子芯片技術(shù)和應(yīng)用方面取得了突破性進(jìn)展。研究團(tuán)隊(duì)發(fā)展了一種基于微環(huán)諧振腔的高性能集成量子光源，通過(guò)硅波導(dǎo)的強(qiáng)四波混頻非線性效應(yīng)，實(shí)現(xiàn)了光子全同性優(yōu)于90%、無(wú)需濾波后處理的50%觸發(fā)效率的單光子對(duì)源，達(dá)到了對(duì)4組微腔量子光源陣列的相干操控，片上雙光子量子糾纏源的保真度達(dá)到了92%。團(tuán)隊(duì)實(shí)現(xiàn)了關(guān)鍵的可編程片上雙比特量子糾纏門，可以按照功能需要切換貝爾投影測(cè)量和量子比特焊接操作，通過(guò)量子態(tài)層析實(shí)驗(yàn)確認(rèn)了高保真的雙比特糾纏操作。 研究團(tuán)隊(duì)在單一硅芯片上實(shí)現(xiàn)了高性能量子糾纏光源、可編程雙比特量子糾纏門，以及可編程單量子比特測(cè)量的全功能集成，進(jìn)而實(shí)現(xiàn)了三種核心量子功能模塊——芯片上四光子真糾纏、量子糾纏互換、芯片-芯片間的高保真量子隱形傳態(tài)。通過(guò)對(duì)兩對(duì)糾纏光子對(duì)進(jìn)行量子比特焊接操作，團(tuán)隊(duì)實(shí)現(xiàn)并判定了四比特Greenberger-Horne-Zeilinger (GHZ) 真量子糾纏的存在；通過(guò)對(duì)兩對(duì)糾纏光子中各一個(gè)光子進(jìn)行貝爾投影操作，實(shí)現(xiàn)了量子糾纏互換功能，使來(lái)自不同光子源的光子間產(chǎn)生了量子糾纏；利用兩個(gè)芯片間的量子態(tài)傳輸和量子糾纏分布技術(shù)，實(shí)現(xiàn)了兩個(gè)芯片間任意單量子比特的量子隱形傳態(tài)，達(dá)到了近90%的隱形傳態(tài)保真度。 團(tuán)隊(duì)研制的硅基多光子量子芯片尺寸僅占幾平方毫米，比傳統(tǒng)實(shí)現(xiàn)方法小了約5-6個(gè)數(shù)量級(jí)，不僅達(dá)到了器件的微型化，同時(shí)具備了單片全功能集成、器件編程可控、系統(tǒng)性能優(yōu)越等特點(diǎn)，其中量子隱形傳態(tài)保真度優(yōu)于已報(bào)道的其它物理實(shí)現(xiàn)方法。多體量子糾纏體系的片上制備與量子調(diào)控技術(shù)，為片上量子物理基礎(chǔ)研究和片上光量子信息處理傳輸、量子計(jì)算模擬的應(yīng)用提供了重要基礎(chǔ)。

本發(fā)明的首要目的是提供一種含硅含硼水性聚氨酯，本發(fā)明的另外一個(gè)目的是提供一種上述含硅含硼水性聚氨酯的制備方法，包括以下步驟：a、稱取大分子二元醇與TDI混合，在N2保護(hù)下升溫至70～90°C，反應(yīng)1～3h，然后先加入DMPA反應(yīng)1～2h，再加入BDO反應(yīng)1～3h，降溫至60～70°C，接著滴加氨基封端的硅氧烷反應(yīng)0.5～1.5h，降溫至30～50°C，得硅氧烷封端的聚氨酯；b、將硅氧烷封端的聚氨酯置于1500～2000rpm的轉(zhuǎn)速條件下,先加入TEA進(jìn)行乳化、中和20～30min，再加入硼酸繼續(xù)乳化

環(huán)氧樹脂作為一種運(yùn)用廣泛的高分子材料，主要優(yōu)點(diǎn)有：①耐濕性、耐堿性、耐酸性和耐溶劑性好；②固化收縮率低；③介電絕緣性、力學(xué)性能優(yōu)良；④與多種基材的粘接性能優(yōu)異。但是，環(huán)氧樹脂耐熱阻燃性能差，極大限制了它在高性能化方向的應(yīng)用。本項(xiàng)目采用磷、硅、氮三者協(xié)同阻燃體系改性環(huán)氧樹脂，不僅使環(huán)氧樹脂的阻燃性能達(dá)到不燃物標(biāo)準(zhǔn)，同時(shí)各元素比重都較低，相對(duì)降低由于某一種元素含量過(guò)高造成對(duì)環(huán)氧固化體系基體性能的過(guò)多影響。

 基于硅材料和CMOS工藝制備光電子器件及其集成技術(shù)，可實(shí)現(xiàn)低成本、批量化生產(chǎn)，并具有和微電子單片集成的潛力，是目前國(guó)際光電子前沿研究領(lǐng)域。該技術(shù)不僅可以用于片上光互連，也可為骨干網(wǎng)、光接入網(wǎng)和數(shù)據(jù)中心提供高性能、低成本收發(fā)模塊。  在國(guó)家973計(jì)劃項(xiàng)目《超高速低功耗光子信息處理集成芯片與技術(shù)基礎(chǔ)研究》的支持下，針對(duì)硅基材料不具備線性電光效應(yīng)、而利用自由載流子等離子色散效應(yīng)實(shí)現(xiàn)電光調(diào)節(jié)效率低、功耗高等科學(xué)難題，提出了一系列解決思路和具有創(chuàng)新性的器件結(jié)構(gòu)，形成了硅基光電子集成器件設(shè)計(jì)方法和基于CMOS工藝的制備工藝流程，成功制備了一系列硅基光電子集成芯片。  該技術(shù)不僅為我國(guó)硅基光電子集成技術(shù)的發(fā)展和華為等知名電信設(shè)備企業(yè)新一代產(chǎn)品提供了有力的技術(shù)支撐，也引起了國(guó)際同行的密切關(guān)注。美國(guó)光學(xué)學(xué)會(huì)《Optics & Photonics News》曾出版專題報(bào)道“Integrated Photonics in China”，對(duì)本項(xiàng)目的部分工作進(jìn)行了介紹。2014年底，Nature Photonics將本項(xiàng)目首次在硅基上研制成功的大容量可編程光緩存芯片作為Research Highlight加以報(bào)道。