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半導體設(shè)備超潔凈流控系統(tǒng)及其受制約流控零部件
浙江大學聚焦超潔凈流控系統(tǒng)基礎(chǔ)研究、技術(shù)攻關(guān)和產(chǎn)品研發(fā)，攻克了影響光刻分辨率、良品率與產(chǎn)率的1mk級溫度測控、5ppt級金屬離子測控、20μm級氣泡測控、50nm級殘留液膜測控等關(guān)鍵核心技術(shù)
一、項目分類
關(guān)鍵核心技術(shù)突破
二、技術(shù)分析
如何通過超潔凈流控技術(shù)降低流控污染，減少曝光缺陷，提升曝光良率，是國產(chǎn)高端半導體制造裝備研制面臨的重大挑戰(zhàn)，直接關(guān)乎整機產(chǎn)品的產(chǎn)線應(yīng)用性能與市場競爭力。此外，作為各類半導體制造裝備的共性核心零部件，超潔凈流控部件市場被美國、日本等國壟斷，使我國半導體制造裝備產(chǎn)業(yè)面臨核心零部件“卡脖子”風險。浙江大學流體動力與機電系統(tǒng)國家重點實驗室啟爾團隊所承擔的高端半導體制造裝備核心分系統(tǒng)之一的超潔凈流控系統(tǒng)，自2004年以來在國家863計劃和國家02專項支持，聚焦超潔凈流控系統(tǒng)基礎(chǔ)研究、技術(shù)攻關(guān)和產(chǎn)品研發(fā)，攻克了影響光刻分辨率、良品率與產(chǎn)率的1mk級溫度測控、5ppt級金屬離子測控、20μm級氣泡測控、50nm級殘留液膜測控等關(guān)鍵核心技術(shù)，完成了超潔凈流控系統(tǒng)九大組件的研制和集成測試，為半導體制造設(shè)備掃描速度與產(chǎn)能的提高提供基礎(chǔ)理論與方法依據(jù)，同時自主研發(fā)的半導體機臺核心超潔凈流控零部件實現(xiàn)了產(chǎn)品化，突破了國外技術(shù)的封鎖，為我國半導體制造的發(fā)展與自主創(chuàng)新提供了基礎(chǔ)支撐。
浙江大學
2022-07-22
適用于具有功能梯度及拉脹屬性的超材料的拓撲優(yōu)化方法
本發(fā)明屬于超材料設(shè)計相關(guān)技術(shù)領(lǐng)域，其公開了一種適用于具 有功能梯度及拉脹屬性的超材料的拓撲優(yōu)化方法，其包括以下步驟: (1)采用加權(quán)法建立每層的、同時考慮微觀結(jié)構(gòu)拉脹屬性及宏觀結(jié)構(gòu)剛 度屬性的多目標優(yōu)化模型;(2)控制所述超材料結(jié)構(gòu)整體在一個方向上 的拉脹屬性及剛度屬性呈梯度形式分布;(3)計算每層設(shè)計域上的微觀 位移、宏觀位移、以及每層微結(jié)構(gòu)的等效彈性屬性;(4)基于計算獲得 的敏度，采用優(yōu)化準則法更新設(shè)計變量，進而判斷所述目標函數(shù)是否 收斂。上述拓撲優(yōu)化方法采用加權(quán)法建立同時考慮微觀結(jié)
華中科技大學
2021-04-14
一種超長金屬工件的3D打印設(shè)備及打印方法
本發(fā)明涉及一種超長金屬工件的3D打印設(shè)備及打印方法，屬于3D打印技術(shù)領(lǐng)域。超長金屬工件的3D打印設(shè)備的保護系統(tǒng)、冷卻系統(tǒng)分別與真空裝置相連；真空裝置內(nèi)設(shè)置機器人系統(tǒng)；送絲系統(tǒng)將打印金屬絲料送至真空裝置內(nèi)并供應(yīng)至機器人系統(tǒng)處；機器人系統(tǒng)與熱源系統(tǒng)配合將印金屬絲料進行熱熔成型；牽引系統(tǒng)將真空裝置內(nèi)打印完成的超長金屬工件牽引至真空裝置外側(cè)。本發(fā)明提供的超長金屬工件的3D打印設(shè)備及打印方實現(xiàn)傾斜角度的切片和3D打印，通過對已成形工件的水平步進牽引，進行連續(xù)3D打印；解決傳統(tǒng)金屬材料增材制造方法無法打印超長工件的問題。
東南大學
2021-04-11
基于3D打印的復雜結(jié)構(gòu)模具制作方法及成型方法
本發(fā)明公開了一種基于3D打印的復雜結(jié)構(gòu)模具制作方法和成型方法，包括：構(gòu)建目標模型和模具制作裝置，得到目標模型文件和模具制作裝置文件；將三維模型文件和模具制作裝置文件導入3D打印機，制作目標模型和模具制作裝置；在目標模型表面鋪設(shè)硅膠膜或明膠膜固化；在模具制作裝置內(nèi)表面和目標模型的薄膜表面涂覆隔斷材料層，在模具制作裝置中定位模型；澆注下模液，固化，得到下模；在下模上的分型面上涂覆隔斷材料層，澆鑄上模液，固化，去除目標模型得到復雜結(jié)構(gòu)型面特征的上下模模具。本發(fā)明基于成熟的三維打印技術(shù)，穩(wěn)定性、可控性好，結(jié)構(gòu)簡單、價格經(jīng)濟，加之可以脫機打印，使得生產(chǎn)更易于配置和優(yōu)化。
浙江大學
2021-04-11
一種氧化石墨烯3D打印墨水及其制備方法
本發(fā)明公開一種氧化石墨烯3D打印墨水及制備方法，其制備所用的原料由氧化石墨烯、交聯(lián)劑和溶劑組成，各原料用量，按氧化石墨烯：交聯(lián)劑中的金屬陽離子：溶劑為60mg：0.03?1mmol：40ml的比例計算。制備方法即首先用溶劑分別將氧化石墨烯、交聯(lián)劑超聲分散配制成溶液，然后將所得的氧化石墨烯溶液和交聯(lián)劑溶液混合進行化學交聯(lián)反應(yīng)，所得反應(yīng)液離心、去除上清液，即得氧化石墨烯3D打印墨水，當圓頻率為0.9rad/s時，測得其運動粘度可達2800?20800Pa*s。使用后所得的氧化石墨烯三維氣凝膠支架，在形變量為60%時，抗壓模量為0.42MPa?0.98MPa。
上海理工大學
2021-04-10
基于電子束的3D打印飛機發(fā)動機陶瓷葉片技術(shù)
1、成果簡介 用于以3D打印方式實現(xiàn)對高溫合金、高強合金、高強材料、陶瓷材料等的成型。 技術(shù)指標：1、零件尺寸：400mm2、應(yīng)用說明 主要應(yīng)用對象：飛機發(fā)動機陶瓷葉片、高溫合金、高強合金等領(lǐng)域。3、效益分析 高技術(shù)產(chǎn)品
北京航空航天大學
2021-04-13
一種模塊化便攜式生物3D打印機
本實用新型公開了一種模塊化便攜式生物3D打印機。包括基座、支撐結(jié)構(gòu)、用于掃描識別的掃描模塊、用于3D打印的打印模塊，基礎(chǔ)運動模塊以及基站模塊；所述的基座上設(shè)置有方孔；所述方孔用于安裝支撐結(jié)構(gòu)的支撐腳；所述的支撐結(jié)構(gòu)上設(shè)置有基礎(chǔ)運動模塊，所述的基礎(chǔ)運動模塊設(shè)有插槽，所述的掃描模塊和打印模塊上設(shè)有與所述插槽配合的統(tǒng)一插頭；基站模塊控制掃描模塊、打印模塊和基礎(chǔ)運動模塊的工作。通過將生物3D打印機打印過程的高度抽象與功能抽離，將不同的功能設(shè)計成不同的模塊，每個模塊只負責一項工作，大大提高了打印機的空間利用率，縮小了打印機的體積，為便攜式生物3D打印機設(shè)計提供了一種思路。
浙江大學
2021-04-13
基于多尺度可變形分層圖模型的復雜環(huán)境3D感知研究
此成果對復雜環(huán)境3D感知問題進行基礎(chǔ)性的研究探討，該領(lǐng)域一 直是面向智能車輛導航的一個重要研究課題，特別有利于航空、遙感 測繪等領(lǐng)域的發(fā)展，對推動學科交叉，激勵原始創(chuàng)新具有重要的現(xiàn)實 意義。由于曷能車輛視覺導航受光照、天氣、場景變化、幾何形變等因素的 影響，限制了動態(tài)復雜環(huán)境下智能車輛實時獲取準確3D數(shù)據(jù)的能力。 本成果重要的創(chuàng)新技術(shù)是提出基于可形變的分層圖模型來解決動態(tài)復 雜環(huán)境下的
南京工程學院
2021-01-12
一種便攜式可伸縮型3D打印機裝置
本發(fā)明公開了一種便攜式可伸縮型3D打印機裝置，包括便攜式水 平伸縮組件、垂直伸縮組件、打印機噴頭運動機構(gòu)組件、打印平臺調(diào) 平組件，本裝置整體是由垂直方向上的三根垂直支撐桿分別與三個上 支撐角件相連，并通過垂直直線軸承伸入到各自的垂直支撐桿套中去, 垂直直線軸承是經(jīng)過垂直直線軸承座固定在垂直支撐桿套的上端的， 而垂直支撐桿套的下端是與下支撐角件相連的，當在垂直方向上伸長 或縮短時，就可通過設(shè)置在垂直直線軸承座上的垂直鎖緊螺釘座與垂 直支撐桿鎖緊螺釘相
南京工程學院
2021-01-12
一種單噴頭多料源生物3D打印裝置及其方法
本發(fā)明公開了一種單噴頭多料源生物3D打印裝置及其方法，屬于組織工程和生物3D打印領(lǐng)域。包括電機固定座，電機，主動齒輪，固定轉(zhuǎn)軸，轉(zhuǎn)盤合件、噴頭體、單向連接閥，彈簧片和進料管連接頭等結(jié)構(gòu)，固定轉(zhuǎn)軸安裝固定，電機通過齒輪傳動帶動轉(zhuǎn)盤旋轉(zhuǎn)，轉(zhuǎn)盤上單向連接閥通過2個彈簧片夾持壓住，且單向連接閥與噴頭體有一高度差△h，當單向連接閥轉(zhuǎn)到噴頭體處時，噴頭體將單向連接閥頂起，并頂起鋼球?qū)婎^體與單向連接閥連通，彈簧片彈起將單向連接閥壓住，同時生物材料通過進料管連接頭進入，實現(xiàn)打印過程。通過轉(zhuǎn)盤旋轉(zhuǎn)可切換打印材料，實現(xiàn)單噴頭多種生物材料的打印。其優(yōu)點是：結(jié)構(gòu)簡單巧妙，降低成本，易于實現(xiàn)靈活控制，大大提高打印效率。
浙江大學
2021-04-13