非致冷高功率半導體泵浦激光器封裝關鍵技術及應用
本項目屬光、機、電、材一體化技術領域,具有多學科綜合的特點。半導體激光器具有效率高、體積小、重量輕、結構簡單、能將電能直接轉換為激光能、功率轉換效率高、便于直接調制、省電等優點,因此應用領域日益擴大。半導體激光技術已成為一種具有巨大吸引力的新興技術并在工業中得到了廣泛的應用。高功率半導體泵浦激光器是半導體激光技術中最具發展潛力的領域之一。 半導體激光器最大的缺點是激光性能受溫度影響大,光束的發散角較大。封裝成本占半導體激光器組件成本的一半,封裝技術不僅直接影響泵浦激光器組件的可靠性,而且直接關系到泵浦激光器芯片的性能能否充分發揮。本項目對非致冷高功率980nm泵浦激光器的封裝技術進行了研究,整個封裝技術涉及光學、電學、熱學、機械等,精度達微米數量級。通過采用激光器芯片的倒裝貼片技術,小型化、全金屬化無膠封裝技術,最終滿足了光纖放大器對泵浦激光器小體積、高功率、低成本、高可靠性的要求。光耦合則采用透鏡光纖直接耦合,最大限度地減小耦合系統的元件數和相關損耗,提高了光路可靠性和易操作性。采用雙光纖光柵波長鎖定技術,提高了非致冷高功率980nm泵浦激光器的邊模抑制比和波長穩定性。項目組通過采用這些技術,最終解決了一系列非致冷高功率980nm泵浦激光器封裝關鍵技術。 經國家光學儀器質量監督檢測中心測試,非致冷高功率980nm泵浦激光器主要技術指標如下: 1. 管殼尺寸:12.7(mm)×7.4(mm)×5.2 (mm) 2. 工作溫度:0-70℃ 3. 中心波長:980nm 4. 譜 寬:1nm 5. 閾值電流:24mA 6. 輸出功率:240mW 7. 功 耗:小于1W 本項目的研究成果,通過與相關企業開展產學研合作,經過近五年的技術研發和不斷改進,非致冷高功率980nm泵浦激光器封裝關鍵技術研究成果已成功應用于相關產品的批量生產,為企業創造了較好的經濟效益。在社會效益方面,填補了我國非致冷高功率半導體泵浦激光器方面的不足,對行業技術進步和產業結構優化升級起到了積極的推動作用。 耦合封裝是對精度要求非常高的一系列工藝過程,這注定它很難實現自動化技術。因此,小型化泵浦激光器封裝技術的研究成果,特別適合在中國這樣人力成本低且技術基礎好的環境。通過對小型化980nm泵浦激光器封裝技術的研究,實現了封裝技術的源頭性創新,有助于向其他半導體泵浦激光器和光電器件的耦合封裝拓展。該技術在光電子器件的應用方面具有廣闊的市場潛力和廣泛的推廣應用前景,將成為形成光電子器件封裝技術產業的重要技術支撐。
上海理工大學
2021-04-11