一種低熱阻熱界面制備方法
本發(fā)明提出了一種低熱阻熱界面制備方法,首先在襯底上制備定向生長碳納米管(VACNT),然后對VACNT 進行改性和磁化,接著通過磁對準(zhǔn)提高 VACNT 與目標(biāo)襯底間的接觸幾率,最后利用鍵合技術(shù)實現(xiàn) VACNT 與目標(biāo)襯底間的鍵合。由于磁力和壓力的共同作用,VACNT 與目標(biāo)襯底間形成了保形接觸,從而有效降低了界面接觸熱阻。本發(fā)明解決了 VACNT 直接作為熱界面材料的難題,為納米封裝與互連、低熱阻封裝技術(shù)研發(fā)開辟了新思路,對促進光電集成技術(shù)發(fā)展和功率器件的研發(fā)具有推動作用
華中科技大學(xué)
2021-04-14