一種基于超材料結(jié)構(gòu)的微波功率傳感器
本發(fā)明公開了一種基于超材料結(jié)構(gòu)的微波功率傳感器,包括基板、輸入微帶信號線、懸臂梁結(jié)構(gòu)輸入微帶信號線、懸臂梁結(jié)構(gòu)輸出微帶信號線、輸出微帶信號線、叉指結(jié)構(gòu)、開路短截線電感以及微帶線地線,該微波功率傳感器是在基板上放置由懸空的叉指結(jié)構(gòu)和開路短截線電感構(gòu)成的超材料結(jié)構(gòu),當(dāng)輸入的微波功率發(fā)生變化時(shí),微波功率對相互平行、懸空的叉指結(jié)構(gòu)的吸引,導(dǎo)致叉指結(jié)構(gòu)的位移,從而使得叉指電容和開路短截線電感構(gòu)成的超材料結(jié)構(gòu)產(chǎn)生相應(yīng)的相移輸出,通過檢測超材料結(jié)構(gòu)的相移,實(shí)現(xiàn)微波功率的測量,本發(fā)明靈敏度高,且為相移輸出,測量誤差小,同時(shí)還具有結(jié)構(gòu)簡單、成本低、體積小、功耗低、工藝兼容等優(yōu)勢。
東南大學(xué)
2021-04-11