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本發(fā)明公開(kāi)了一種加工硅通孔互連結(jié)構(gòu)的工藝方法，步驟為：①在基板上刻蝕盲孔；②在基板上沉積一層圖案化介電質(zhì)層；③刻蝕圖案化介電質(zhì)層，刻蝕掉盲孔底部的介電材料，保留盲孔側(cè)壁的介電材料，在基板上形成介電質(zhì)孔；④在介電質(zhì)孔上沉積一層導(dǎo)電材料，形成導(dǎo)電孔；⑤在導(dǎo)電層上再沉積一層圖案化介電質(zhì)層，填充導(dǎo)電孔；⑥刻蝕板背面，暴露出導(dǎo)電層，在導(dǎo)電層上形成焊料微凸點(diǎn)。圖案化介電質(zhì)層的材料優(yōu)選聚對(duì)二甲苯。本發(fā)明簡(jiǎn)化了工藝步驟，減少工藝時(shí)間并降低了費(fèi)用；使用二層圖案化介電質(zhì)層，降低了寄生電容，提升了互連電性能，適用于高速和

本發(fā)明公開(kāi)了一種銑削加工顫振主動(dòng)控制系統(tǒng)，包括位移檢測(cè)單元、信號(hào)采集單元、中央控制單元、音圈電機(jī)驅(qū)動(dòng)器和音圈電機(jī)，其中位移檢測(cè)單元用于對(duì)工件由于顫振產(chǎn)生的位移執(zhí)行感測(cè)，并獲得檢測(cè)電壓信號(hào)；信號(hào)采集單元用于采集檢測(cè)電壓信號(hào)并輸送給中央控制單元；中央控制單元根據(jù)所接收的信號(hào)相應(yīng)計(jì)算控制電壓信號(hào)；音圈電機(jī)驅(qū)動(dòng)器將控制電壓信號(hào)轉(zhuǎn)換為電流信號(hào)并予以功率放大，然后輸出至音圈電機(jī)使其驅(qū)動(dòng)，由此實(shí)現(xiàn)銑削加工顫振主動(dòng)控制過(guò)程。本發(fā)明還公開(kāi)了相應(yīng)的控制方法。通過(guò)本發(fā)明，能夠以響應(yīng)快、輸出力大、便于操控的方式執(zhí)行顫振主動(dòng)

本發(fā)明公開(kāi)了一種基于廣義區(qū)間的切削加工顫振辨識(shí)方法，包括：獲取切削加工中的切削數(shù)據(jù)形成切削加工信號(hào)數(shù)據(jù)集；對(duì)切削加工信號(hào)數(shù)據(jù)集進(jìn)行區(qū)間化處理獲得廣義區(qū)間化的數(shù)據(jù)集，并提取其廣義區(qū)間特征量集；建立初始的廣義神經(jīng)網(wǎng)絡(luò)模型，并對(duì)切削加工狀態(tài)進(jìn)行編碼，形成廣義神經(jīng)網(wǎng)絡(luò)輸出的理想目標(biāo)，訓(xùn)練廣義神經(jīng)網(wǎng)絡(luò)，獲取優(yōu)化的廣義神經(jīng)網(wǎng)絡(luò)模型；將待識(shí)別的切削加工數(shù)據(jù)集的廣義區(qū)間特征量集代入優(yōu)化的廣義神經(jīng)網(wǎng)絡(luò)模型中，計(jì)算模型輸出結(jié)果，并對(duì)輸出結(jié)果中的區(qū)間最大值對(duì)應(yīng)狀態(tài)即為辨識(shí)的切削加工狀態(tài)。本發(fā)明的方法可以對(duì)切削加工顫振進(jìn)行

本發(fā)明公開(kāi)了一種數(shù)控機(jī)床銑削加工刀具破損監(jiān)測(cè)方法，該方法通過(guò)獲取機(jī)床主軸電機(jī)電流信號(hào)，預(yù)處理后經(jīng)過(guò)奇異譜分析與特征值提取過(guò)程，建立刀具破損監(jiān)測(cè)模型，實(shí)現(xiàn)對(duì)刀具破損狀態(tài)的監(jiān)測(cè)，達(dá)到通過(guò)電流信號(hào)預(yù)測(cè)刀具破損的目的。本發(fā)明采用電流信號(hào)作為監(jiān)測(cè)信號(hào)，具有信號(hào)獲取容易，傳感器成本低，安裝方便等特點(diǎn)，奇異譜分解可以有效提取信號(hào)中與刀具狀態(tài)相關(guān)的成分，并且奇異譜是基于信號(hào)內(nèi)部結(jié)構(gòu)的分解方法，計(jì)算速度快，節(jié)省時(shí)間；特征值是基于統(tǒng)計(jì)方法方差進(jìn)行提取，可以有效反應(yīng)刀具破損狀態(tài)，并且也具有計(jì)算速度快的特點(diǎn)；支持向量機(jī)在小

本發(fā)明公開(kāi)了一種電弧增材與銑削復(fù)合加工的方法，包括:(1) 將需要加工零件的 STL 三維模型進(jìn)行分層切片及路徑規(guī)劃，生成相應(yīng) 的 G 代碼，然后導(dǎo)入至電弧增材和銑削加工復(fù)合裝置中進(jìn)行加工;(2) 控制焊槍的開(kāi)關(guān)，氬氣的開(kāi)關(guān)以及復(fù)合裝置的運(yùn)動(dòng)，來(lái)進(jìn)行電弧增材 制造;(3)當(dāng)使用焊槍堆積達(dá)到需要銑削加工的閾值時(shí)，暫停電弧增材 加工，同時(shí) G 代碼控制焊槍相對(duì)于銑刀抬高，成形件移動(dòng)至銑刀下方 進(jìn)行輪廓和頂面的銑削加工;(4)

本發(fā)明公開(kāi)了一種微型皮拉尼計(jì)與體硅器件集成加工的方法。集成加工的方法包括：在硅基片正面制備體硅器件所需的絕緣層及電路引線；在硅基片的背面或正面沉積一層絕緣隔熱材料，刻蝕去除其四周部分得到絕緣隔熱層；在絕緣隔熱層上制備加熱體和電極；在沒(méi)有加熱體的一面制備圖形化的光刻膠掩膜；在有加熱體的一面沉積金屬膜；將金屬膜粘貼在表面有氧化層的硅托片上；對(duì)有光刻膠掩膜的一面進(jìn)行感應(yīng)耦合等離子體干法刻蝕，刻穿硅基片；去除光刻膠掩膜和金屬膜，得到集成結(jié)構(gòu)。本發(fā)明能有效提高皮拉尼計(jì)的制備與其它工藝的兼容性，解決皮拉尼計(jì)與體

項(xiàng)目組在國(guó)家科技重大專項(xiàng)和國(guó)家自然科學(xué)基金的支持下，提出了以加工動(dòng)態(tài)特征為載體進(jìn)行加工全過(guò)程工藝知識(shí)建模的技術(shù)思路，攻克了加工動(dòng)態(tài)特征驅(qū)動(dòng)的自動(dòng)數(shù)控編程和加工變形精確控制技術(shù)，為復(fù)雜結(jié)構(gòu)件從計(jì)算機(jī)輔助加工到智能數(shù)控加工的跨越提供了理論和技術(shù)支撐。 一、項(xiàng)目分類 關(guān)鍵核心技術(shù)突破 二、成果簡(jiǎn)介 飛機(jī)復(fù)雜結(jié)構(gòu)件的數(shù)控加工能力是衡量一個(gè)國(guó)家航空制造水平的重要標(biāo)志。新一代飛機(jī)結(jié)構(gòu)件更復(fù)雜、精度要求更高、制造周期要求更短，對(duì)五軸聯(lián)動(dòng)數(shù)控加工技術(shù)提出了更高的要求。項(xiàng)目組在國(guó)家科技重大專項(xiàng)和國(guó)家自然科學(xué)基金的支持下，提出了以加工動(dòng)態(tài)特征為載體進(jìn)行加工全過(guò)程工藝知識(shí)建模的技術(shù)思路，攻克了加工動(dòng)態(tài)特征驅(qū)動(dòng)的自動(dòng)數(shù)控編程和加工變形精確控制技術(shù)，為復(fù)雜結(jié)構(gòu)件從計(jì)算機(jī)輔助加工到智能數(shù)控加工的跨越提供了理論和技術(shù)支撐。成果在多家航空航天企業(yè)推廣應(yīng)用，完成了多個(gè)軍機(jī)和C919、ARJ21 等民機(jī)型號(hào)多件復(fù)雜結(jié)構(gòu)件的研制生產(chǎn)，被工信部、發(fā)改委和國(guó)防科工局作為航空領(lǐng)域國(guó)產(chǎn)高檔數(shù)控機(jī)床應(yīng)用示范工程三大關(guān)鍵共性技術(shù)之一，向全國(guó)軍工制造行業(yè)推廣。 三、創(chuàng)新點(diǎn) 1.揭示了加工過(guò)程中間狀態(tài)幾何參數(shù)、工藝參數(shù)、監(jiān)測(cè)檢測(cè)量等動(dòng)態(tài)信息的動(dòng)態(tài)迭代規(guī)律和傳遞規(guī)律，突破了基于加工動(dòng)態(tài)特征的加工全過(guò)程工藝知識(shí)建模技術(shù)，實(shí)現(xiàn)了復(fù)雜結(jié)構(gòu)件工藝知識(shí)積累由以零件為載體到以加工動(dòng)態(tài)特征為載體的模式轉(zhuǎn)變。 2.提出了基于特征識(shí)別的加工特征自動(dòng)排序、加工驅(qū)動(dòng)幾何自動(dòng)創(chuàng)建、工藝參數(shù)自動(dòng)迭代方法，構(gòu)建了加工特征切削參數(shù)優(yōu)化模型，實(shí)現(xiàn)了復(fù)雜結(jié)構(gòu)件的快速編程和高效加工。 3.提出加工過(guò)程中自適應(yīng)釋放和消除工件變形的加工模式，研制出能監(jiān)測(cè)工件變形的浮動(dòng)裝夾工藝裝備，突破了基于加工動(dòng)態(tài)特征的裝夾/加工/監(jiān)測(cè)/檢測(cè)自適應(yīng)協(xié)同控制技術(shù)，實(shí)現(xiàn)了加工變形精確控制。 四、主要技術(shù)指標(biāo) 1.特征自動(dòng)識(shí)別率大于95%； 2.刀軌自動(dòng)生成率大于95%； 3.數(shù)控編程效率提高3倍以上； 4.加工效率提高30%以上； 5.大型復(fù)雜結(jié)構(gòu)件加工變形控制在0.05mm/m以內(nèi)。 五、知識(shí)產(chǎn)權(quán)及獲獎(jiǎng) 加工動(dòng)態(tài)特征驅(qū)動(dòng)的智能數(shù)控編程與加工技術(shù)，研究成果2016年獲“國(guó)家技術(shù)發(fā)明二等獎(jiǎng)”、2015年獲“中國(guó)機(jī)械工業(yè)科學(xué)技術(shù)一等獎(jiǎng)”。目前已擁有授權(quán)國(guó)家發(fā)明專利60余項(xiàng)。 六、成果圖片   圖1 成果總體技術(shù)   圖2 加工過(guò)程零件面型檢測(cè)

本成果針對(duì)國(guó)外對(duì)五軸數(shù)控機(jī)床相關(guān)技術(shù)的封鎖，軟件系統(tǒng)成本昂貴、成本高等特點(diǎn)，以及國(guó)內(nèi)該領(lǐng)域的空白，在國(guó)家04專項(xiàng)的支持下，采用自主研制的五軸數(shù)控機(jī)床基于拓?fù)淅碚摻⒌耐ㄓ眠\(yùn)動(dòng)學(xué)模型、求解算法和仿真方法，基于自主知識(shí)產(chǎn)權(quán)，開(kāi)發(fā)出我國(guó)自己的五軸數(shù)控機(jī)床通用后置處理系統(tǒng)、代碼驗(yàn)證仿真系統(tǒng)、幾何誤差建模/測(cè)量/辨識(shí)與補(bǔ)償系統(tǒng)，該項(xiàng)成果已經(jīng)獲得3項(xiàng)發(fā)明專利，3項(xiàng)軟件著作權(quán)，目前已經(jīng)開(kāi)發(fā)出五軸數(shù)控機(jī)床通用后置處理系統(tǒng)及加工仿真系統(tǒng)，正在進(jìn)行產(chǎn)業(yè)化推進(jìn)，項(xiàng)目整體已經(jīng)達(dá)到國(guó)內(nèi)領(lǐng)先、國(guó)際先進(jìn)水平，有望實(shí)現(xiàn)產(chǎn)業(yè)化。

一、成果簡(jiǎn)介 根據(jù)奶牛不同生長(zhǎng)發(fā)育階段的營(yíng)養(yǎng)需求，以優(yōu)質(zhì)飼草為主要原料，通過(guò)攪拌機(jī)制成全混合日糧(TMR)，然后采用特定的設(shè)備高密度壓縮成型并進(jìn)行一段時(shí)間的密封貯藏，經(jīng)過(guò)乳酸發(fā)酵而調(diào)制成的全價(jià)發(fā)酵飼料。該發(fā)酵TMR原料以干重計(jì)：牧草30~40%、飼料作物青貯25~30%、蛋白飼料5~10%、能量飼料15~20%、糖蜜1~2%、食品加工副產(chǎn)品5~10%、礦物質(zhì)和維生素等添加劑3~5%。發(fā)酵4周以后可以開(kāi)封直接飼喂。混合飼料經(jīng)發(fā)酵后能夠明顯改善飼料的品質(zhì)

可以量產(chǎn)/n利用重組育種和優(yōu)勢(shì)育種相結(jié)合的方法，選育了兩個(gè)無(wú)刺百皮黃瓜雜種一代新品種"華黃瓜3號(hào)"和"華黃瓜4號(hào)"。具有早熟、優(yōu)質(zhì)、豐產(chǎn)、抗病等特點(diǎn)。與對(duì)照品種相比，早熟5天以上；產(chǎn)量高8.7-14％；瓜條直，無(wú)瓜把，瓜皮白色，質(zhì)脆味甜；較抗霜霉病和白粉病。兩品種已通過(guò)了湖北省農(nóng)作物品種審定委員會(huì)審定，并在生產(chǎn)中大面積推廣，取得了較大的經(jīng)濟(jì)效益和社會(huì)效益。利用秋水仙素誘導(dǎo)加倍的方法選育出一個(gè)四倍體菠菜新品系，該品系平均株高14.5厘米，株型寬闊，葉柄短，平均葉柄長(zhǎng)5.63厘米（對(duì)照為9.68厘米），