一種兩自由度隔振與精密定位的復(fù)合主動隔振器
本發(fā)明公開了一種兩自由度隔振與精密定位的復(fù)合主動隔振器, 該隔振器包括基礎(chǔ)平臺(10)和負載平臺(30),該隔振器還包括隔振單 元,其設(shè)置在所述基礎(chǔ)平臺(10)和負載平臺(30)之間,所述隔振單元包括沿第一方向設(shè)置的空氣彈簧(20)和第一音圈電機(25a),所述隔振單 元還包括沿第二方向設(shè)置的可調(diào)剛度片彈簧和第二音圈電機(25b),該 隔振器還包括定位單元,其設(shè)置在所述隔振單元的外側(cè),所述定位單 元包括沿第一方向設(shè)置的比例壓力閥(26),所述定位單元還包括沿第二 方向的第二音圈電機(25b)。本發(fā)明
華中科技大學(xué)
2021-04-14