一種基于超材料結(jié)構(gòu)的濕度傳感器
本發(fā)明公開了一種基于超材料結(jié)構(gòu)的濕度傳感器,包括基板、輸入微帶信號線、輸出微帶信號線、叉指結(jié)構(gòu)、開路短截線電感、微帶線地線、聚酰亞胺層,該濕度傳感器是在基板上放置由叉指結(jié)構(gòu)和開路短截線電感構(gòu)成的超材料結(jié)構(gòu),當(dāng)空氣中的濕度發(fā)生變化時,叉指結(jié)構(gòu)上涂覆的濕度敏感材料聚酰亞胺層能夠吸收空氣中的水汽分子,其介電常數(shù)發(fā)生變化,導(dǎo)致由叉指電容和開路短截線電感構(gòu)成的超材料結(jié)構(gòu)產(chǎn)生相應(yīng)的相移輸出,通過檢測超材料結(jié)構(gòu)的相移,實(shí)現(xiàn)濕度的測量,本發(fā)明靈敏度高,測量誤差小,同時還具有結(jié)構(gòu)簡單、成本低、統(tǒng)計(jì)小、功耗低、工藝兼容等優(yōu)勢。
東南大學(xué)
2021-04-11