本發明的硅基縫隙耦合式的間接式毫米波信號檢測器是由共面波導、縫隙耦合結構、移相器、單刀雙擲開關、Wilkinson功分器、Wilkinson功合器以及間接式熱電式功率傳感器所構成,整個結構基于高阻Si襯底制作,其上有四個縫隙耦合結構,上方的兩個縫隙耦合結構實現信號的頻率測量,下方的兩個縫隙耦合結構實現信號的相位測量,在前后縫隙之間有一個移相器;Wilkinson功分器和Wilkinson功合器主要是由共面波導、非對稱共面帶線和電阻組成;間接式熱電式功率傳感器由共面波導、兩個電阻以及熱電堆所構成,熱電
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