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本發(fā)明公開(kāi)了一種基于SOI封裝的六軸微慣性器件，包括單片集成的六軸微慣性器件、玻璃襯底、金屬電極、金屬引線、SOI蓋帽和SOI密封墻；六軸微慣性器件通過(guò)陽(yáng)極鍵合工藝鍵合在玻璃襯底上；金屬電極為一個(gè)以上，均勻設(shè)置在玻璃襯底一側(cè)，金屬電極通過(guò)金屬引線與六軸微慣性器件相接，SOI蓋帽設(shè)在玻璃襯底正上方，SOI密封腔設(shè)在SOI蓋帽和SOI密封墻之間，形成空腔結(jié)構(gòu)；每個(gè)金屬電極正上方的SOI蓋帽上設(shè)有梯形電極孔，梯形電極孔正下方的SOI密封墻上設(shè)有垂直貫通；梯形電極孔、垂直貫通與金屬電極一一對(duì)應(yīng)。本發(fā)明具有全解耦、質(zhì)量小、結(jié)構(gòu)精巧、成本低和便于批量生產(chǎn)等優(yōu)點(diǎn)，在單個(gè)器件內(nèi)同時(shí)實(shí)現(xiàn)了對(duì)三軸的加速度和角速度的檢測(cè)，應(yīng)用范圍廣，有著良好的市場(chǎng)前景。

一、 項(xiàng)目簡(jiǎn)介采用流態(tài)化技術(shù)處理氣體（液體）/顆粒（粉體）物料，具有氣（液）固接觸效率高，傳質(zhì)傳熱性能好等優(yōu)點(diǎn)，在石油、煤、無(wú)機(jī)/有機(jī)化工、制藥、環(huán)保、水處理等領(lǐng)域得到了廣泛的研究和應(yīng)用。根據(jù)被處理物料的加工時(shí)間、氣（液）固比等處理?xiàng)l件不同，可分別采取鼓泡床、湍動(dòng)床、循環(huán)流化床等操作形式。對(duì)于一種特定的物料體系，在采用流態(tài)化技術(shù)全面投入工業(yè)應(yīng)用之前，需要對(duì)物料性質(zhì)（包括粒度分布、骨架密度、堆積密度、休止角、介質(zhì)粘度、熔點(diǎn)、沸點(diǎn)等）進(jìn)行全面分析，然后根據(jù)物料加工過(guò)程工藝特點(diǎn)確定合適的裝置結(jié)構(gòu)，再對(duì)物料的基礎(chǔ)流態(tài)化特性（包括起始流化速度、起始鼓泡速度、起始湍動(dòng)速度、噎塞速度等）及操作工況（進(jìn)料量、操作速度、物料循環(huán)量）下設(shè)備壓降、密度、溫度、停留時(shí)間、混合與分級(jí)、傳質(zhì)傳熱效率、分離效率等進(jìn)行綜合實(shí)驗(yàn)測(cè)試，以此為依據(jù)進(jìn)行工業(yè)規(guī)模的裝置設(shè)計(jì)及指導(dǎo)工業(yè)操作。本項(xiàng)目可以針對(duì)物料處理體系及加工工藝特點(diǎn)，研發(fā)合理的流態(tài)化裝備，并對(duì)其物料物性、流體力學(xué)特性、裝置結(jié)構(gòu)性能等進(jìn)行綜合實(shí)驗(yàn)測(cè)試，根據(jù)測(cè)試結(jié)果為新裝備的工業(yè)設(shè)計(jì)和操控、新技術(shù)的工業(yè)應(yīng)用提供基礎(chǔ)參數(shù)和指導(dǎo)，也可為原有設(shè)備改造提供可靠依據(jù)。二、 項(xiàng)目技術(shù)成熟程度項(xiàng)目組對(duì)FCC催化劑、煤粉、石油焦、半焦、石英砂、樹(shù)脂、剛玉球、含鹽廢水等不同特性物料的流態(tài)化性能及相關(guān)流態(tài)化裝備性能進(jìn)行過(guò)系統(tǒng)的實(shí)驗(yàn)測(cè)試，物料粒度范圍從30μm~5mm不等，流態(tài)化裝備涉及鼓泡床、湍動(dòng)床、快速床、移動(dòng)床、噴動(dòng)床及各種裝備上相關(guān)的分布裝置、分離裝置等，介質(zhì)涉及氣-固、氣-液、液-固、氣-液-固體系，相關(guān)實(shí)驗(yàn)結(jié)果為新技術(shù)的實(shí)施推廣提供了大量基礎(chǔ)數(shù)據(jù)。三、 技術(shù)指標(biāo)（包括鑒定、知識(shí)產(chǎn)權(quán)專(zhuān)利、獲獎(jiǎng)等情況）在大量實(shí)驗(yàn)研究并借鑒已有實(shí)施項(xiàng)目經(jīng)驗(yàn)的基礎(chǔ)上，本項(xiàng)目已形成如下成果：鑒定項(xiàng)目：[1] 外循環(huán)多相流化床換熱器的顆粒循環(huán)和分布研究. 河北省教育廳，鑒定時(shí)間：2011.01，證書(shū)編號(hào)：20110367，成果水平：國(guó)際先進(jìn).[2] 液固三相流化床蒸發(fā)器總體優(yōu)化及應(yīng)用研究. 河北省科技廳，鑒定時(shí)間：2011.01，證書(shū)編號(hào)：20110265，成果水平：國(guó)際先進(jìn).[3] 高效半干法煙氣脫硫劑制備工藝研究. 河北省科技廳，鑒定時(shí)間：2011.01，證書(shū)編號(hào)：20110266，成果水平：國(guó)際先進(jìn).[4] 鍋爐煙氣噴動(dòng)床脫硫除塵工藝及設(shè)備研究. 河北省科技廳，鑒定時(shí)間：2011.06，證書(shū)編號(hào)：20111588，成果水平：國(guó)際先進(jìn).[5] 帶導(dǎo)流管的多噴嘴矩形噴動(dòng)床煙氣脫硫設(shè)備研究. 河北省科技廳，鑒定時(shí)間：2011.06，證書(shū)編號(hào)：20111589，成果水平：國(guó)際先進(jìn).[6] 新型高效立體傳質(zhì)并流塔板的研究開(kāi)發(fā). 河北省科技廳，鑒定時(shí)間：2011.10，證書(shū)編號(hào)：20112669，成果水平：國(guó)際先進(jìn).專(zhuān)利技術(shù)：[1] 一種克服換熱設(shè)備水平管路顆粒沉積的構(gòu)件和方法，中國(guó)發(fā)明專(zhuān)利，專(zhuān)利號(hào)：ZL 200910245134.9.（已獲授權(quán)）[2] 一種多功能集成設(shè)備精制介酸的方法，中國(guó)發(fā)明專(zhuān)利，專(zhuān)利號(hào)：ZL 200910245133.4. （已獲授權(quán)）[3] 一種降低耦合反應(yīng)器提升管出口返混的氣固分布器. 中國(guó)發(fā)明專(zhuān)利，申請(qǐng)?zhí)枺?01210405627.6. （已公開(kāi)）[4] 一種降低串聯(lián)組合流化床提升管出口返混的氣固分布器. 中國(guó)發(fā)明專(zhuān)利，申請(qǐng)?zhí)枺?01210405649.2. （已公開(kāi)）[5] 多孔球狀反應(yīng)裝置及操作方法. 中國(guó)發(fā)明專(zhuān)利，申請(qǐng)?zhí)枺?012101155697.4，申請(qǐng)日：2012.04.19. （已公開(kāi)）[6] 一種煙氣同時(shí)脫硫脫硝綜合實(shí)驗(yàn)裝置及其操作方法. 中國(guó)發(fā)明專(zhuān)利，申請(qǐng)?zhí)枺?01210115569.3. （已公開(kāi)）[7] 多室雙管程蒸發(fā)器，中國(guó)實(shí)用新型專(zhuān)利，專(zhuān)利號(hào)：ZL 201020609305.X. （已獲授權(quán)）[8] 多孔球狀反應(yīng)裝置. 中國(guó)實(shí)用新型專(zhuān)利，專(zhuān)利號(hào)：ZL 201220167080.6. （已獲授權(quán)）[9] 一種煙氣同時(shí)脫硫脫硝綜合實(shí)驗(yàn)裝置. 中國(guó)實(shí)用新型專(zhuān)利，專(zhuān)利號(hào)：ZL 201220167161.6. （已獲授權(quán)）[10] 一種提升管與床層耦合反應(yīng)器的分布器. 中國(guó)實(shí)用新型專(zhuān)利，申請(qǐng)?zhí)枺?01220542989.5. （待授權(quán)）[11] 一種串聯(lián)組合流化床提升管出口的分布器. 中國(guó)實(shí)用新型專(zhuān)利，申請(qǐng)?zhí)枺?01220543000.2. （待授權(quán)）項(xiàng)目獲獎(jiǎng)：[1] 組合型顆粒分布裝置的顆粒分布性能與結(jié)構(gòu)優(yōu)化. 河北省科技進(jìn)步獎(jiǎng)三等獎(jiǎng)（證書(shū)編號(hào)：2008JB3122-3），2009年3月.四、 市場(chǎng)前景（應(yīng)用領(lǐng)域、市場(chǎng)分析等）本項(xiàng)目可廣泛應(yīng)用于石油、煤、無(wú)機(jī)/有機(jī)化工、制藥、環(huán)保、水處理等領(lǐng)域，在滿足高效節(jié)能、低碳環(huán)保的前提下，可為企業(yè)新技術(shù)開(kāi)發(fā)、舊有裝置改造提供實(shí)驗(yàn)測(cè)試及技術(shù)支持，進(jìn)而提高企業(yè)的技術(shù)裝備水平和經(jīng)濟(jì)效益。五、 規(guī)模與投資需求（資金需求、場(chǎng)地規(guī)模、人員等需求）規(guī)模與投資需求依據(jù)企業(yè)要求而不同。（1）從裝備選型與性能測(cè)試角度，需要研究設(shè)計(jì)新型裝備，并針對(duì)具體物料進(jìn)行相關(guān)性能測(cè)試，本項(xiàng)目組可提供場(chǎng)地和人員，企業(yè)投資約為5~30萬(wàn)元；（2）從舊有裝置改造角度，需要對(duì)裝置現(xiàn)存問(wèn)題進(jìn)行分析，研究設(shè)計(jì)合理的裝置結(jié)構(gòu)，并對(duì)其性能進(jìn)行測(cè)試，再結(jié)合后續(xù)加工、安裝，本項(xiàng)目組可提供場(chǎng)地和研究設(shè)計(jì)人員，并輔助聯(lián)系加工單位，企業(yè)投資約為50~300萬(wàn)元；從直接利用本項(xiàng)目相關(guān)技術(shù)成果角度，本項(xiàng)目組可提供研究設(shè)計(jì)人員，并輔助聯(lián)系加工單位，企業(yè)需提供場(chǎng)地和操作人員5~10人，投資約為100~500萬(wàn)元。（內(nèi)容字體為宋體、四號(hào)字）六、 生產(chǎn)設(shè)備裝備性能測(cè)試設(shè)備，項(xiàng)目組可進(jìn)行開(kāi)發(fā)設(shè)計(jì)；生產(chǎn)設(shè)備依據(jù)各具體物料體系及加工過(guò)程特點(diǎn)而定，主要以流態(tài)化操作設(shè)備為主，并輔以風(fēng)機(jī)、泵、測(cè)量及控制儀表等。七、 效益分析實(shí)施本項(xiàng)目的效益體現(xiàn)在如下幾個(gè)方面：（1）可以提高企業(yè)的技術(shù)創(chuàng)新能力及裝備操作水平；（2）可以提升企業(yè)的裝備運(yùn)行周期與生產(chǎn)效率，提高企業(yè)的經(jīng)濟(jì)效益；（3）可以降低企業(yè)的廢氣、廢液、廢渣排放水平，具備顯著的環(huán)保效益。八、 合作方式（1）項(xiàng)目組獨(dú)立承擔(dān)；（2）與企業(yè)合作研發(fā)。九、 項(xiàng)目具體聯(lián)系人及聯(lián)系方式（包括電子郵箱）王德武：天津紅橋區(qū)河光榮道8號(hào)北工業(yè)大學(xué)化工學(xué)院300信箱，022-60204482，13752711488，[email protected]；張少峰：天津紅橋區(qū)河光榮道8號(hào)北工業(yè)大學(xué)化工學(xué)院300信箱，022-60204596，13132081566，[email protected]。

本發(fā)明公開(kāi)一種面向微型軸承內(nèi)圓精加工的軸向超聲振動(dòng)高速磨削裝置。它包括：底座、絲杠支承、絲杠、工件磨削區(qū)、砂輪、砂輪夾具、高速電主軸、彈性支承塊、主軸限位板、變幅桿、固定架、超聲換能器、工作臺(tái)、伺服電機(jī)、水平導(dǎo)軌、垂直導(dǎo)軌、水平滑臺(tái)和直線電機(jī)。其工藝特征是：高速電主軸驅(qū)動(dòng)砂輪進(jìn)行高速旋轉(zhuǎn)，由伺服電機(jī)驅(qū)動(dòng)實(shí)現(xiàn)砂輪的快速軸向定位，通過(guò)施加超聲振動(dòng)實(shí)現(xiàn)砂輪的軸向微進(jìn)給運(yùn)動(dòng)，由直線電機(jī)控制砂輪的精密徑向進(jìn)給運(yùn)動(dòng)。該裝置可提高磨削效率，改善加工表面的粗糙度及殘余應(yīng)力的分布情況，從而保證加工零件的整體質(zhì)量。

本發(fā)明涉及一種超高強(qiáng)度鋼軸類(lèi)零件的加工方法。該方法通過(guò)在一臺(tái)高速外圓磨床上裝夾超高強(qiáng)度鋼軸類(lèi)零件，經(jīng)過(guò)裝置設(shè)置和零件裝夾、粗磨、半精磨和精磨四個(gè)工藝流程，在粗磨、半精磨、精磨工藝流程開(kāi)始之前和之后對(duì)零件進(jìn)行強(qiáng)冷降溫，并在上述三個(gè)工藝流程過(guò)程中對(duì)磨削區(qū)域自上而下噴射高壓氣、液混合流體。本發(fā)明具有磨削力小，磨削效率高；提高了材料的脆性，并改善了材料的加工性能；減少了磨削熱的產(chǎn)生和溫升，減少了加工表面燒傷與硬化；無(wú)需二次裝夾，減小裝夾誤差，提高加工精度和加工效率。

成果簡(jiǎn)介：JRCODE-CCOS1200 精密數(shù)控研拋機(jī)是中心自主研發(fā)的 7 軸 5 聯(lián)動(dòng) 大型光學(xué)非球面精密數(shù)控研磨拋光機(jī)床。機(jī)床主體為龍門(mén)式結(jié)構(gòu)，運(yùn)動(dòng)部件 采用精密導(dǎo)軌結(jié)合高精度光柵反饋，運(yùn)用 8 軸控制器實(shí)現(xiàn)任意軸組合插補(bǔ)， 集成在線輪廓測(cè)量系統(tǒng)。工藝系統(tǒng)開(kāi)放，具有多軌跡選擇、多格式數(shù)據(jù)兼容、變參量操控與優(yōu)化功能。 技術(shù)領(lǐng)域：先進(jìn)光學(xué)加工制造 現(xiàn)狀特點(diǎn)：

本發(fā)明公開(kāi)了一種火車(chē)車(chē)軸鍛造毛坯車(chē)削加工基準(zhǔn)定位方法及 其系統(tǒng)。本發(fā)明火車(chē)車(chē)軸鍛造毛坯車(chē)削加工基準(zhǔn)定位方法包括定位基 準(zhǔn)孔位置的確定步驟：(a)采用線輪廓傳感器測(cè)量獲取車(chē)軸毛坯斷面的 輪廓數(shù)據(jù)；(b)根據(jù)所獲取的輪廓數(shù)據(jù)擬合出車(chē)軸毛坯的三維輪廓，從 而得出其中心軸線，所述中心軸線在所述車(chē)軸毛坯斷面的位置即為定 位基準(zhǔn)孔位置。本發(fā)明避免了由于火車(chē)車(chē)軸鍛造毛坯車(chē)削加工定位基 準(zhǔn)不準(zhǔn)確而導(dǎo)致的廢品率，提高了車(chē)軸加工的合格率

本發(fā)明公開(kāi)了一種氧化鋁陶瓷的刻蝕加工方法及裝置，該方法 使?jié)崈舻难趸X陶瓷整體位于水中，水表面到氧化鋁陶瓷材料表面距 離為 2mm～12mm，利用紫外脈沖激光對(duì)氧化鋁陶瓷進(jìn)行掃描刻蝕加 工，刻蝕加工后的氧化鋁陶瓷表面無(wú)發(fā)黑變質(zhì)層和重凝層。裝置包括 紫外激光器、掃描振鏡，二維加工平臺(tái)，以及用于裝水和待加工的氧 化鋁陶瓷的容器。本發(fā)明巧妙的引入“水”的因素，在一定厚度或一 定流速的水下對(duì)氧化鋁陶瓷進(jìn)行激光刻蝕的冷卻和排渣

本發(fā)明公開(kāi)了一種薄壁零件的銑削變形在線測(cè)量與補(bǔ)償加工方 法，包括:(1)建立薄壁零件的三維模型，獲得數(shù)控代碼;(2)在三維模 型中提取測(cè)量的點(diǎn)位;(3)基于模型進(jìn)行測(cè)量路徑規(guī)劃;(4)對(duì)工件毛坯 進(jìn)行粗加工和半精加工;(5)進(jìn)行在機(jī)測(cè)量，獲取所有規(guī)劃的測(cè)量點(diǎn)位 的坐標(biāo)值;(6)將獲得的測(cè)量點(diǎn)位的坐標(biāo)值與薄壁零件三維模型上對(duì)應(yīng) 點(diǎn)進(jìn)行對(duì)比，計(jì)算出實(shí)際加工工件的每個(gè)點(diǎn)位的坐標(biāo)與三維模型上對(duì) 應(yīng)點(diǎn)的偏差;(7)根據(jù)加工偏差施以補(bǔ)償系數(shù)優(yōu)化加工軌跡據(jù)此進(jìn)行精 加工，得到最終的加工變形偏差及補(bǔ)償值。本發(fā)明的方

成果簡(jiǎn)介： 葉片與葉盤(pán)是航空發(fā)動(dòng)機(jī)、重型燃機(jī)等的關(guān)鍵核心零件，其葉片復(fù)雜型面的高效高精度先進(jìn)加工技術(shù)是保證航發(fā)及燃機(jī)正常穩(wěn)定運(yùn)行的決定因素。為打破航發(fā)及重型燃機(jī)關(guān)鍵零部件高效高精加工技術(shù)國(guó)際封鎖和壟斷，在國(guó)家自然科學(xué)基金支持下，課題組針對(duì)葉片、葉盤(pán)的工藝特點(diǎn)，研究數(shù)字化設(shè)智能加工－測(cè)量一體化集成技術(shù)，自主開(kāi)發(fā)了集成雙模式靈巧測(cè)量－誤差動(dòng)態(tài)補(bǔ)償－復(fù)雜曲面CAM編程－力位動(dòng)態(tài)解耦－多軸聯(lián)動(dòng)控制的關(guān)鍵核心技術(shù)，開(kāi)發(fā)出系列的自動(dòng)化柔性復(fù)合磨削及拋光加工閉環(huán)智能制造裝備，可實(shí)現(xiàn)一次裝夾完成葉片及葉盤(pán)相應(yīng)葉尖、型面、進(jìn)/排氣邊、葉根圓角和凸臺(tái)過(guò)渡區(qū)部位的復(fù)合磨拋集成加工，可極大提高航空發(fā)動(dòng)機(jī)葉片及其葉盤(pán)、重型燃機(jī)整體葉盤(pán)及葉片、汽輪機(jī)葉片等的加工精度及效率，推進(jìn)我國(guó)航空及能源動(dòng)力產(chǎn)業(yè)的技術(shù)提升與發(fā)展。 應(yīng)用領(lǐng)域： 航空發(fā)動(dòng)機(jī)、重型燃機(jī)、汽輪機(jī)、鼓風(fēng)機(jī)等透平機(jī)械葉片制造行業(yè) 技術(shù)指標(biāo)： 實(shí)現(xiàn)各型葉片型面的粗磨及精磨過(guò)程，表面粗糙度≤Ra 0.2μm； 葉片型面輪廓度：距排氣緣3mm范圍內(nèi)在±0.03mm內(nèi)，其余區(qū)域在±0.05mm以內(nèi)。

本項(xiàng)目面對(duì)行業(yè)世界性技術(shù)難題，解決大腸桿菌包涵體產(chǎn)物妨礙重組蛋白質(zhì)藥物生產(chǎn)的問(wèn)題；建立我國(guó)自主知識(shí)產(chǎn)權(quán)的基因工程表達(dá)載體和體系。本項(xiàng)目通過(guò)深入了解蛋白質(zhì)折疊過(guò)程、建立了微生物可溶性表達(dá)及后加工技術(shù)體系，通過(guò)多環(huán)節(jié)調(diào)控蛋白質(zhì)折疊的策略，有效解決大腸桿菌包涵體難題，高效率低成本生產(chǎn)重組蛋白質(zhì)藥物。在生產(chǎn)環(huán)節(jié)發(fā)明了多種基因工程高效表達(dá)和不同層次助溶新技術(shù)及其整合；在制備環(huán)節(jié)發(fā)明了基因工程表達(dá)產(chǎn)物分離純化及后加工新技術(shù)及其集成。本項(xiàng)目獲8件發(fā)明專(zhuān)利授權(quán)、含1件美國(guó)專(zhuān)利，專(zhuān)利全部獲得實(shí)施許可。本項(xiàng)目技術(shù)在美