本發明公開一種面向微型軸承內圓精加工的軸向超聲振動高速磨削裝置。它包括:底座、絲杠支承、絲杠、工件磨削區、砂輪、砂輪夾具、高速電主軸、彈性支承塊、主軸限位板、變幅桿、固定架、超聲換能器、工作臺、伺服電機、水平導軌、垂直導軌、水平滑臺和直線電機。其工藝特征是:高速電主軸驅動砂輪進行高速旋轉,由伺服電機驅動實現砂輪的快速軸向定位,通過施加超聲振動實現砂輪的軸向微進給運動,由直線電機控制砂輪的精密徑向進給運動。該裝置可提高磨削效率,改善加工表面的粗糙度及殘余應力的分布情況,從而保證加工零件的整體質量。
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