用于預測多元拼合靶材制備的薄膜成分的預測方法
一種用于預測多元拼合靶材制備的薄膜成分的預測方法
一、項目分類
顯著效益成果轉化
二、成果簡介
現有物理氣相沉積(PVD)制備多元薄膜材料采用合金靶材作為靶源,生產過程中,薄膜成分的調控范圍受安裝的合金靶材的成分比例的限制。如果預期獲得納微復雜結構的復合薄膜,按照常規技術路線需要上百塊成分連續變化的合金靶材,這顯然是無法實現的。同時,采用合金靶材制備某些多元薄膜時,需要特高純度的或極端成分比例的靶材作為靶源,這類特殊靶材以現有技術難以制造。
為此,本發明研發出一種用于預測多元拼合靶材制備的薄膜成分的預測方法,利用本發明技術有助于新材料的研發和促進半導體器件、切削刀具涂層等高新技術的發展。
武漢理工大學
2022-08-12