本專利技術(shù)已在多種領(lǐng)域進(jìn)行實(shí)施運(yùn)用，取得了良好的成效，具體包括：1、制造業(yè)領(lǐng)域中，為解決我國(guó)“35項(xiàng)卡脖子技術(shù)”之一高端刀具涂層的制備，發(fā)明人基于參評(píng)專利技術(shù)成功研制出新一代原子自組裝梯度納米涂層刀具產(chǎn)品，打破了切削刀具市場(chǎng)長(zhǎng)期被瑞典山高、山特等西方公司壟斷的局面，利用拼合靶結(jié)合薄膜組分預(yù)測(cè)技術(shù)，可以大幅加快高端刀具涂層的研發(fā)生產(chǎn)工作，涂層成分精確可控，有利于穩(wěn)定的進(jìn)行大規(guī)模刀具涂層的生產(chǎn)工作。經(jīng)項(xiàng)目組自實(shí)施驗(yàn)證，利用本發(fā)明專利制備的納米梯度薄膜，與國(guó)外行業(yè)龍頭公司的產(chǎn)品相比，其各項(xiàng)性能指標(biāo)均達(dá)到國(guó)際一流水平，具備極強(qiáng)的競(jìng)爭(zhēng)力。

2、半導(dǎo)體領(lǐng)域中，武漢拓材科技有限公司引進(jìn)本發(fā)明專利技術(shù)，在半導(dǎo)體原料干鍋表面鍍覆碳化硅涂層材料，用于第二代半導(dǎo)體高純?cè)牧洗_、錮、銬等塊體與粉末的提純生產(chǎn)，解決了行業(yè)內(nèi)石墨増蝸壽命低且容易在提純過(guò)程中掉粉等難題。打破了美國(guó)對(duì)我們高端管道提原材料的壟斷局面，己實(shí)現(xiàn)了對(duì)國(guó)內(nèi)外芯片廠家穩(wěn)定供貨。湖北晶星科技股份有限公司引進(jìn)了本參評(píng)專利技術(shù)，在集成電路高純電子氣體生產(chǎn)中的管路內(nèi)壁表面鍍覆碳化硅涂層材料，極大地增加了管路內(nèi)壁的機(jī)械強(qiáng)度和耐蝕性，使管路能夠長(zhǎng)時(shí)間承受管內(nèi)高純電子鹵化物氣體的沖刷和腐蝕，大幅度提升了電子氣體四氯化硅、TEOS等產(chǎn)品的產(chǎn)能，取得了顯著的經(jīng)濟(jì)效益，為半導(dǎo)體行業(yè)的制造賦能。

3、技術(shù)通用性：本發(fā)明專利已在靶丸材料制備、刀具涂層研發(fā)、半導(dǎo)體材料提純等技術(shù)領(lǐng)域成功應(yīng)用。本發(fā)明專利還可應(yīng)用于碳化硼、硼碳氮等薄膜的制備，在多種材料制備中進(jìn)行運(yùn)用，如超導(dǎo)材料制備、生物材料制備、鐵電和鐵磁材料等多方面領(lǐng)域；在諸多產(chǎn)品上得到應(yīng)用，如光學(xué)薄膜、集成電路薄膜、液晶顯示器、光盤(pán)和磁盤(pán)等。

一、經(jīng)濟(jì)效益

發(fā)明人積極推動(dòng)本發(fā)明專利及相關(guān)專利應(yīng)用于高新技術(shù)企業(yè)的研發(fā)、生產(chǎn)之中，與武漢拓材、漢創(chuàng)新材、廣東匯成和湖北晶星等科技企業(yè)進(jìn)行的深度合作。“

半導(dǎo)體原料増垠表面碳化硅涂層技術(shù)，助力武漢拓材科技有限公司成為了中國(guó)高端精細(xì)功能材料的引領(lǐng)者。產(chǎn)品廣泛應(yīng)用于新一代化合物半導(dǎo)體芯片制備。2021年銷售額有望突破3億元，新增50個(gè)就業(yè)崗位。

“集成電路高純電子氣體生產(chǎn)中管路表面碳化硅涂層優(yōu)化關(guān)鍵技術(shù)”助力湖北晶星科技股份有限公司研發(fā)了一套純度達(dá)9N以上的高純TE0S（芯片制造中關(guān)鍵原材料）的生產(chǎn)工藝，成功替代了美國(guó)進(jìn)口材料。2021年銷售額有望突破2億元，新增30個(gè)就業(yè)崗位。

“納米梯度涂層物理氣相沉積技術(shù)”助力漢創(chuàng)新材涂層（武漢）有限公司實(shí)現(xiàn)精密刀具涂層裝備-工藝-材料全面取代進(jìn)口，打破壟斷，整套技術(shù)體系繞開(kāi)國(guó)外專利體系壁壘。2021年起，涂層產(chǎn)品己占領(lǐng)華中市場(chǎng)（湖北、河南），正在向華東地區(qū)輻射。3年內(nèi)增銷售額有望突破2億元，60個(gè)就業(yè)崗位。

“原子自組裝物理氣相沉積技術(shù)與裝備”助力廣東匯成真空科技股份有限公司實(shí)現(xiàn)高端涂層（薄膜）裝備國(guó)產(chǎn)化，公司己成為華南地區(qū)真空鍍膜裝備龍頭企業(yè)，2021年有望實(shí)現(xiàn)IP0,銷售額有望突破10億元。

二、社會(huì)效益

專利技術(shù)對(duì)促進(jìn)科技進(jìn)步、保障國(guó)家安全起著重要作用：

1、專利技術(shù)對(duì)多元薄膜制備生產(chǎn)帶來(lái)了顯著效果，國(guó)防領(lǐng)域中，成功應(yīng)用于中國(guó)工程物理研究院激光聚變研究中心的激光慣性約束聚變靶丸的制備，生產(chǎn)出具有特定成分和厚度的多層微球殼，為激光慣性約束聚變研究中高增益燃料靶丸的制備提供了高品質(zhì)的新型靶丸材料和合理的工藝路線，對(duì)于核爆模擬、效應(yīng)試驗(yàn)等軍事前沿領(lǐng)域的研究具有重要的意義，對(duì)保障國(guó)家和公共安全起到了重大作用。

2、半導(dǎo)體領(lǐng)域中，武漢拓材科技有限公司使用該專利技術(shù)，在半導(dǎo)體原料増垠表面沉積多元涂層，用于第二代半導(dǎo)體高純?cè)牧洗_、錮、銬等塊體與粉體的提純生產(chǎn)。解決了行業(yè)內(nèi)石墨用蝸壽命短且容易在提純過(guò)程中掉粉等難題。湖北晶星科技股份有限公司使用參評(píng)專利技術(shù)，用于集成電路高純電子氣體生產(chǎn)中管路表面碳化硅沉積，使四氯化硅、TEOS等產(chǎn)品的產(chǎn)能增加23%；參評(píng)專利技術(shù)促進(jìn)了中國(guó)半導(dǎo)體行業(yè)的技術(shù)進(jìn)步，打破了美國(guó)對(duì)我們高端半導(dǎo)體原材料的壟斷局面，已實(shí)現(xiàn)了對(duì)國(guó)內(nèi)外芯片廠家穩(wěn)定供貨。3.制造業(yè)領(lǐng)域中，該專利技術(shù)可用于超硬涂層的制造中，精密加工刀具與成型模具是現(xiàn)代工業(yè)“戰(zhàn)場(chǎng)”中的“矛”與“盾”，而超硬涂層是給它們穿上“鎧甲”，可顯著提高加工效率和加工精度，延長(zhǎng)使用壽命，降低加工成本，但切削刀具市場(chǎng)長(zhǎng)期被瑞典山高、山特等公司壟斷，利用拼合靶結(jié)合薄膜組分預(yù)測(cè)技術(shù)，可以大幅加快高端刀具涂層的研發(fā)工作，涂層成分精確可控，有利于穩(wěn)定的進(jìn)行大規(guī)模刀具涂層的生產(chǎn)工作。專利技術(shù)可廣泛用于其它多種功能薄膜的制備中，包含光學(xué)薄膜、超導(dǎo)薄膜、鐵性薄膜、防護(hù)薄膜等，具有廣闊的發(fā)展前景。