一種用于高密度芯片的倒裝鍵合平臺
本發明公開了一種用于高密度芯片的倒裝鍵合平臺,包括基座、芯片剝離和翻轉單元、XY 向運動單元、多自由度鍵合頭和貼裝臺單元,其中芯片剝離和翻轉單元用于將晶圓盤上的芯片分別執行剝離和翻轉,并將其送至待拾取位置;多自由度鍵合頭以懸臂形式安裝在 XY 向運動單元的支撐導軌上,并具有主動調平和對準功能;貼裝臺單元用于吸附基板并與鍵合頭相配合,由此實現芯片與基板之間的相互定位。此外,為了保證各單元高精度的運動或配合,該倒裝鍵合平臺中還配置有多套視覺定位系統。通過本發明,能夠達到微米級的對準精度,平行調整精度優于
華中科技大學
2021-04-14