一種熱場協(xié)調(diào)控制的提拉法晶體生長爐
本發(fā)明公開了一種熱場協(xié)調(diào)控制的提拉法晶體生長爐,包括絕熱外殼及設(shè)置在絕熱外殼內(nèi)的生長室,生長室設(shè)置有坩堝,絕熱外殼的外部設(shè)置有用于對坩堝進(jìn)行加熱的主電磁感應(yīng)線圈,主電磁感應(yīng)線圈的下方設(shè)置有副電磁感應(yīng)線圈,主電磁感應(yīng)線圈和副電磁感應(yīng)線圈之間存在間距,有多根底部進(jìn)氣管和多根中部進(jìn)氣管平行伸入絕熱外殼內(nèi),絕熱外殼的頂部設(shè)置有氣流出口,氣流出口作為籽晶桿移動(dòng)通道,絕熱外殼內(nèi)設(shè)置有用于削弱輻射傳熱的可伸縮遮熱板和用于調(diào)整
華中科技大學(xué)
2021-04-14