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一種熱場協調控制的提拉法晶體生長爐

2021-04-14 00:00:00
云上高博會 http://www.a00n.com
關鍵詞: 晶體生長爐
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所屬領域:
新能源與節能環保
項目成果/簡介:

本發明公開了一種熱場協調控制的提拉法晶體生長爐,包括絕

熱外殼及設置在絕熱外殼內的生長室,生長室設置有坩堝,絕熱外殼

的外部設置有用于對坩堝進行加熱的主電磁感應線圈,主電磁感應線

圈的下方設置有副電磁感應線圈,主電磁感應線圈和副電磁感應線圈

之間存在間距,有多根底部進氣管和多根中部進氣管平行伸入絕熱外

殼內,絕熱外殼的頂部設置有氣流出口,氣流出口作為籽晶桿移動通

道,絕熱外殼內設置有用于削弱輻射傳熱的可伸縮遮熱板和用于調整

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