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本發(fā)明提出這樣一種陽(yáng)極鍵合工藝方法：將 MEMS 陀螺儀器件層沉積到臨時(shí)高分子襯底上，完成金屬電極沉積和 MEMS 結(jié)構(gòu)刻蝕之后，將臨時(shí)高分子襯底用化學(xué)機(jī)械拋光的方法去除。去除之后，將玻璃基體和玻璃蓋帽分別緊貼 MEMS 結(jié)構(gòu)的兩側(cè)，加電加熱后一次完成雙面陽(yáng)極鍵合。這種工藝方法與傳統(tǒng)的兩次陽(yáng)極鍵合分兩步進(jìn)行相比，更加節(jié)省成本，而且避免了第二次陽(yáng)極鍵合對(duì)第一次陽(yáng)極鍵合強(qiáng)度削弱這個(gè)固有缺點(diǎn)，使得產(chǎn)品可靠性提高。

本發(fā)明公開了一種用于高密度芯片的倒裝鍵合平臺(tái)，包括基座、芯片剝離和翻轉(zhuǎn)單元、XY 向運(yùn)動(dòng)單元、多自由度鍵合頭和貼裝臺(tái)單元，其中芯片剝離和翻轉(zhuǎn)單元用于將晶圓盤上的芯片分別執(zhí)行剝離和翻轉(zhuǎn)，并將其送至待拾取位置；多自由度鍵合頭以懸臂形式安裝在 XY 向運(yùn)動(dòng)單元的支撐導(dǎo)軌上，并具有主動(dòng)調(diào)平和對(duì)準(zhǔn)功能；貼裝臺(tái)單元用于吸附基板并與鍵合頭相配合，由此實(shí)現(xiàn)芯片與基板之間的相互定位。此外，為了保證各單元高精度的運(yùn)動(dòng)或配合，該倒裝鍵合平臺(tái)中還配置有多套視覺定位系統(tǒng)。通過本發(fā)明，能夠達(dá)到微米級(jí)的對(duì)準(zhǔn)精度，平行調(diào)整精度優(yōu)于

產(chǎn)品詳細(xì)介紹型號(hào)：HD-I7035E背光類型：LED    顯示比例：16:9    物理解析度：1920*1080    圖像制式/聲音制式：PAL/DK，I    一體化電腦結(jié)構(gòu)：插拔式電腦結(jié)構(gòu)（英特爾協(xié)議標(biāo)準(zhǔn)）    一體化電腦結(jié)構(gòu)輸入接口占用：觸控USB*1，HDMI*1    工作電壓：AC 100-240V，50/60Hz    觸摸：  觸摸面材質(zhì)：普通鋼化玻璃/防眩鋼化玻璃            感應(yīng)方式：紅外觸摸感應(yīng)            技術(shù)特性：HID免驅(qū)            觸摸點(diǎn)數(shù)：六點(diǎn)觸控        書寫方式：手指或書寫筆            通訊接口：USB    安裝方式：壁掛/支架    凈重：75KG產(chǎn)品特點(diǎn)：教學(xué)應(yīng)用● 插拔式電腦模塊----謹(jǐn)遵國(guó)際標(biāo)準(zhǔn)規(guī)范，計(jì)算機(jī)采用Intel 標(biāo)準(zhǔn)架構(gòu)的插拔式電腦模塊，支持快捷維護(hù)及系統(tǒng)升級(jí)● 前置接口和按鍵----保證教師快速、方便接入教學(xué)電腦以及外部U盤，大幅壓縮電子教學(xué)的前期準(zhǔn)備時(shí)間，并以最簡(jiǎn)潔高效的方式實(shí)現(xiàn)對(duì)大屏產(chǎn)品的操作、控制● 全新雙系統(tǒng)應(yīng)用----全新系統(tǒng)體驗(yàn)~Windows操作系統(tǒng)和安卓系統(tǒng)一主一備的雙系統(tǒng)設(shè)計(jì)特點(diǎn)，使得教師在不開啟教學(xué)專用計(jì)算機(jī)，或者此計(jì)算機(jī)突發(fā)故障時(shí)，仍舊保證不中斷教學(xué)過程，實(shí)現(xiàn)對(duì)教學(xué)課件的圈點(diǎn)、批注；同時(shí)，支持海量開源教育應(yīng)用● 雙側(cè)快捷鍵----緊密結(jié)合鴻合教學(xué)應(yīng)用軟件，交互大屏產(chǎn)品雙側(cè)各15個(gè)快捷按鍵，實(shí)現(xiàn)“軟件硬件化”功能；幫助教師在最短時(shí)間內(nèi)掌握產(chǎn)品系統(tǒng)功能的基本應(yīng)用● 前置大功率揚(yáng)聲器● 強(qiáng)大的鴻合教育云平臺(tái)和鴻合備授課系統(tǒng)安全可靠● 智能溫控散熱系統(tǒng)----企業(yè)責(zé)任心的直觀體現(xiàn)！提供實(shí)用、有效的功能設(shè)計(jì)，長(zhǎng)效、實(shí)時(shí)地監(jiān)控設(shè)備運(yùn)行溫度，在臨界點(diǎn)進(jìn)行預(yù)判斷后，智能選擇開啟告警、斷電等程序，此實(shí)用功能的設(shè)計(jì)，大幅提升產(chǎn)品使用安全，保障教師及學(xué)生們的生命安全節(jié)能環(huán)保● 智能光感控制----自動(dòng)感應(yīng)環(huán)境照度及亮度，智能調(diào)節(jié)屏體亮度至教師、學(xué)生最適宜觀看的亮度※一體化電腦為選配件。

產(chǎn)品詳細(xì)介紹型號(hào)：HD-I8035E背光類型：LED    顯示比例：16:9    物理解析度：1920*1080    圖像制式/聲音制式：PAL/DK，I    一體化電腦結(jié)構(gòu)：插拔式電腦結(jié)構(gòu)（英特爾協(xié)議標(biāo)準(zhǔn)）    一體化電腦結(jié)構(gòu)輸入接口占用：觸控USB*1，HDMI*1    工作電壓：AC 100-240V，50/60Hz    觸摸：  觸摸面材質(zhì)：普通鋼化玻璃/防眩鋼化玻璃            感應(yīng)方式：紅外觸摸感應(yīng)            技術(shù)特性：HID免驅(qū)            觸摸點(diǎn)數(shù)：十點(diǎn)觸控        書寫方式：手指或書寫筆            通訊接口：USB    安裝方式：壁掛/支架    凈重：95KG產(chǎn)品特點(diǎn)：教學(xué)應(yīng)用● 插拔式電腦模塊----謹(jǐn)遵國(guó)際標(biāo)準(zhǔn)規(guī)范，計(jì)算機(jī)采用Intel 標(biāo)準(zhǔn)架構(gòu)的插拔式電腦模塊，支持快捷維護(hù)及系統(tǒng)升級(jí)● 前置接口和按鍵----保證教師快速、方便接入教學(xué)電腦以及外部U盤，大幅壓縮電子教學(xué)的前期準(zhǔn)備時(shí)間，并以最簡(jiǎn)潔高效的方式實(shí)現(xiàn)對(duì)大屏產(chǎn)品的操作、控制● 全新雙系統(tǒng)應(yīng)用----全新系統(tǒng)體驗(yàn)~Windows操作系統(tǒng)和安卓系統(tǒng)一主一備的雙系統(tǒng)設(shè)計(jì)特點(diǎn)，使得教師在不開啟教學(xué)專用計(jì)算機(jī)，或者此計(jì)算機(jī)突發(fā)故障時(shí)，仍舊保證不中斷教學(xué)過程，實(shí)現(xiàn)對(duì)教學(xué)課件的圈點(diǎn)、批注；同時(shí)，支持海量開源教育應(yīng)用● 雙側(cè)快捷鍵----緊密結(jié)合鴻合教學(xué)應(yīng)用軟件，交互大屏產(chǎn)品雙側(cè)各15個(gè)快捷按鍵，實(shí)現(xiàn)“軟件硬件化”功能；幫助教師在最短時(shí)間內(nèi)掌握產(chǎn)品系統(tǒng)功能的基本應(yīng)用● 前置大功率揚(yáng)聲器● 強(qiáng)大的鴻合教育云平臺(tái)和鴻合備授課系統(tǒng)安全可靠● 智能溫控散熱系統(tǒng)----企業(yè)責(zé)任心的直觀體現(xiàn)！提供實(shí)用、有效的功能設(shè)計(jì)，長(zhǎng)效、實(shí)時(shí)地監(jiān)控設(shè)備運(yùn)行溫度，在臨界點(diǎn)進(jìn)行預(yù)判斷后，智能選擇開啟告警、斷電等程序，此實(shí)用功能的設(shè)計(jì)，大幅提升產(chǎn)品使用安全，保障教師及學(xué)生們的生命安全節(jié)能環(huán)保● 智能光感控制----自動(dòng)感應(yīng)環(huán)境照度及亮度，智能調(diào)節(jié)屏體亮度至教師、學(xué)生最適宜觀看的亮度※一體化電腦為選配件。

納米氮化硼材料兼具氮化硼和納米材料的雙重優(yōu)勢(shì)，廣泛應(yīng)用于航空航天、高端電子散熱材料、吸附劑、水凈化、化妝品等領(lǐng)域。項(xiàng)目團(tuán)隊(duì)開發(fā)出一種能夠?qū)崿F(xiàn)形貌和尺寸均一且具有超大比表面積多孔氮化硼納米纖維的規(guī)模化制備技術(shù)，目前市場(chǎng)尚未實(shí)現(xiàn)規(guī)模化生產(chǎn)。該技術(shù)合成工藝簡(jiǎn)單可控、成本低、過程綠色環(huán)保，處于國(guó)際領(lǐng)先地位。 1 產(chǎn)品的應(yīng)用領(lǐng)域 圖2 高性能氮化硼納米纖維粉體 圖3 氮化硼納米纖維粉體微觀形貌

本技術(shù)以 (甲基) 丙烯酸甲酯和二甲基乙醇胺為主要原料，在催化劑存在下，通過反應(yīng)精 餾獲得高轉(zhuǎn)化率高純度的產(chǎn)品。同現(xiàn)有工藝相比，本技術(shù)采用反應(yīng)精餾技術(shù)，具有原料消耗 低，產(chǎn)品純度高等優(yōu)點(diǎn)，具有較強(qiáng)的技術(shù)優(yōu)勢(shì)。 對(duì)于年產(chǎn)5000噸 (甲基) 丙烯酸二甲氨基乙酯生產(chǎn)線，設(shè)備投資約1000萬元。主要設(shè)備包 括：反應(yīng)精餾塔、泵、貯罐、精制塔等。

1. 產(chǎn)品的技術(shù)指標(biāo)、參數(shù)(a) 產(chǎn)品外觀： 淡黃色透明液體

丙烯酸酯類膠粘劑是廣泛應(yīng)用于各行各業(yè)的一種粘合劑。   本項(xiàng)目制備的高粘度丙烯酸酯類膠粘劑采用特殊的聚合方法，膠液粘度

成果簡(jiǎn)介：本技術(shù)是北京理工大學(xué)承擔(dān)的國(guó)家“十五”科技攻關(guān)計(jì)劃課題“農(nóng)藥水分散粒劑（WDG）的共性技術(shù)開發(fā)”的一部分，研究成果如下：（1）已 完成丙烯酸系共聚物鹽分散劑的合成及工藝條件的優(yōu)化工作，并與北京廣源 益農(nóng)化學(xué)責(zé)任有限公司合作完成了產(chǎn)品的中試生產(chǎn)，并將在國(guó)家“十一五” 攻關(guān)計(jì)劃的支持下進(jìn)行產(chǎn)業(yè)化開發(fā)。其中丙烯酸共聚物鹽分散劑在合成工藝 上有創(chuàng)新，并填補(bǔ)了我國(guó)在相應(yīng)的農(nóng)藥 WDG 專用高分子分散劑的空白，產(chǎn)品 性能達(dá)到國(guó)外類似產(chǎn)品的水平。（2）采用合成的丙烯酸共聚物鹽分散劑，并 結(jié)合國(guó)產(chǎn)的其它