基于硅基微機械懸臂梁T型結(jié)直接加熱式毫米波信號檢測器
本發(fā)明的基于硅基微機械懸臂梁T型結(jié)直接加熱式毫米波信號檢測器,由懸臂梁耦合結(jié)構(gòu)、T型結(jié)、直接加熱式微波功率傳感器和開關(guān)構(gòu)成。懸臂梁耦合結(jié)構(gòu)包括兩組懸臂梁,每組懸臂梁由兩個對稱的懸臂梁構(gòu)成,兩個懸臂梁之間CPW傳輸線的電長度在所測信號頻率范圍內(nèi)的中心頻率35GHz處為λ/4。功率通過第一直接加熱式微波功率傳感器進行檢測;頻率檢測通過利用直接加熱式微波功率傳感器測量兩路在中心頻率處相位差為90度的耦合信號的合成功率實現(xiàn);相位檢測通過將兩路在中心頻率處相位差為90度的耦合信號,分別同兩路等分后的參考信號合
東南大學
2021-04-14