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本專利公開了一種精密單向分度定位裝置，針對(duì)機(jī)械制造行業(yè)對(duì)圓周分布結(jié)構(gòu)要素進(jìn)行分度加工所采用的各種傳統(tǒng)裝置所存在的工藝性差，精度低、工藝復(fù)雜和成本高等問題，設(shè)計(jì)了一種基于單向棘輪和棘爪組合的精密單向分度定位裝置，主要由棘輪軸、傳動(dòng)組、棘爪、檢測(cè)組等組成。通過(guò)對(duì)棘爪結(jié)構(gòu)的優(yōu)化設(shè)計(jì)，有效提高分度精度，且分度回轉(zhuǎn)與定位鎖緊采用同一傳動(dòng)組，有效簡(jiǎn)化結(jié)構(gòu)，降低成本。采用本專利技術(shù)可以經(jīng)濟(jì)的實(shí)現(xiàn)單向精確分度，滿足輕載精密分度加工的要求。

針對(duì)極紫外光刻機(jī)物鏡的溫管和溫控技術(shù)難題，設(shè)計(jì)和開發(fā)了針對(duì)極紫外光刻機(jī)的具有自主知識(shí)產(chǎn)權(quán)的超精密溫控裝置，目前已應(yīng)用在半導(dǎo)體制造業(yè)及光刻機(jī)生產(chǎn)廠商、高檔數(shù)控行業(yè)和民用航天上，涉及企事業(yè)單位共30余家。研制了不同控溫精度和控溫功率的系列產(chǎn)品，采用主動(dòng)溫度控制方法，解決了單點(diǎn)溫度控制穩(wěn)定性和多通道溫度控制均勻性的問題；設(shè)計(jì)了具有功能模塊化的溫控層次結(jié)構(gòu)，解決了超精密溫控中系統(tǒng)內(nèi)外的擾動(dòng)和時(shí)滯問題，控溫速度快；研制了大功率串聯(lián)半導(dǎo)體制冷模塊，結(jié)合模糊PID控制算法，提高了收斂速度、控制精度和抗擾動(dòng)能力。項(xiàng)

本項(xiàng)目創(chuàng)新性提出利用七臺(tái)電缸作為模壓機(jī)構(gòu)的伺服驅(qū)動(dòng)元件，相比國(guó)外氣缸驅(qū)動(dòng)的玻璃模壓成形設(shè)備，更有利于對(duì)模壓速度、模壓位置與成形壓力的精密控制。設(shè)備使用的工業(yè)控制系統(tǒng)，比可編程邏輯控制器更利于對(duì)模壓成形過(guò)程進(jìn)行工藝調(diào)試、條件優(yōu)化以及對(duì)工藝數(shù)據(jù)的導(dǎo)入導(dǎo)出。此外，設(shè)備還對(duì)加熱模塊進(jìn)行了進(jìn)一步優(yōu)化，有更寬的溫度調(diào)控范圍。 課題組通過(guò)技術(shù)攻關(guān)，在模具材料制備、微納模具超精密加工與微納光學(xué)器件超精密模壓成形方面，已經(jīng)形成了具完全自主知識(shí)產(chǎn)權(quán)的玻璃模壓加工工藝。基于開發(fā)的全電機(jī)伺服驅(qū)動(dòng)精密模壓成形機(jī)，可實(shí)現(xiàn)在可見光玻璃和紅外玻璃材料上加工自由曲面透鏡、非球面透鏡、微溝槽、微柱面鏡陣列、微棱鏡陣列、微透鏡陣列等光學(xué)器件。對(duì)于國(guó)內(nèi)微納光學(xué)器件制造意義重大。

本課題組創(chuàng)新性提出利用七臺(tái)電缸作為模壓機(jī)構(gòu)的伺服驅(qū)動(dòng)元件，相比國(guó)外氣缸驅(qū)動(dòng)的玻璃模壓成形設(shè)備，更有利于對(duì)模壓速度、模壓位置與成形壓力的精密控制。設(shè)備使用的工業(yè)控制系統(tǒng)，比可編程邏輯控制器更利于對(duì)模壓成形過(guò)程進(jìn)行工藝調(diào)試、條件優(yōu)化以及對(duì)工藝數(shù)據(jù)的導(dǎo)入導(dǎo)出。此外，設(shè)備還對(duì)加熱模塊進(jìn)行了進(jìn)一步優(yōu)化，有更寬的溫度調(diào)控范圍。 課題組通過(guò)技術(shù)攻關(guān)，在模具材料制備、微納模具超精密加工與微納光學(xué)器件超精密模壓成形方面，已經(jīng)形成了具完全自主知識(shí)產(chǎn)權(quán)的玻璃模壓加工工藝。基于開發(fā)的全電機(jī)伺服驅(qū)動(dòng)精密模壓成形機(jī)，可實(shí)現(xiàn)在可見光玻璃和紅外玻璃材料上加工自由曲面透鏡、非球面透鏡、微溝槽、微柱面鏡陣列、微棱鏡陣列、微透鏡陣列等光學(xué)器件。對(duì)于國(guó)內(nèi)微納光學(xué)器件制造意義重大。

本項(xiàng)目旨在研制船舶制造精密測(cè)量系統(tǒng)，結(jié)合高精度全站儀提升我國(guó)船舶制造精度控制水平，主要研究?jī)?nèi)容包括以下三個(gè)部分： (1) 針對(duì)船舶分段不規(guī)則擺放、構(gòu)件外型復(fù)雜、尺寸大、內(nèi)側(cè)構(gòu)件不易測(cè)量等實(shí)際情況，建立適用于測(cè)量大型船舶分段和構(gòu)件的數(shù)學(xué)模型； (2) 通過(guò)嵌入式精密測(cè)量系統(tǒng)與高精度全站儀的集成應(yīng)用，實(shí)現(xiàn)船舶分段和構(gòu)件三維坐標(biāo)數(shù)據(jù)的采集，為船舶制造提供船舶的三維計(jì)算與分析結(jié)果； (3) 建立船舶制造數(shù)據(jù)庫(kù)、誤差分析模型和精度控制方案，存儲(chǔ)設(shè)計(jì)數(shù)據(jù)、實(shí)測(cè)數(shù)據(jù)和分

產(chǎn)品詳細(xì)介紹多軸精密運(yùn)動(dòng)平臺(tái)：采用直接驅(qū)動(dòng)電機(jī)，無(wú)絲杠傳動(dòng)，全伺服驅(qū)動(dòng)。微光柵編碼器作為信號(hào)反饋機(jī)制，有多種結(jié)構(gòu)形式，重復(fù)定位精度1微米到10微米，行程可定制。　　支承系統(tǒng)可選空氣軸承、滾珠導(dǎo)軌、滾柱軸承等。速度快，最大速度5米／秒（300米／分），加速度大，最大加速度1G到10G可選。　　主要應(yīng)用領(lǐng)域：精密運(yùn)動(dòng)設(shè)備、精密測(cè)試測(cè)量、電子設(shè)備、數(shù)控機(jī)床、MEMS、醫(yī)療設(shè)備等。

產(chǎn)品詳細(xì)介紹產(chǎn)品概述：    用于實(shí)驗(yàn)過(guò)程中線路板的裁板。 技術(shù)參數(shù)：                                      1．特鋼長(zhǎng)壽命刀刃，省力杠桿式設(shè)計(jì)，輕松切割各種厚板材。 2．流線型的外觀程符合人體工程學(xué)的設(shè)計(jì)。 3．配置水平對(duì)位功能，可以方便的切割固定形狀的PCB板。 4．最大切割長(zhǎng)度340 mm，最大厚度3 mm，。 5．具有對(duì)位和固定標(biāo)尺，精度更高，使用更方便。 6．固定透明保護(hù)罩，既保證不會(huì)誤傷手指，以可以觀查切板質(zhì)量。  

國(guó)內(nèi)外大科學(xué)工程研究中如激光聚變，空間光學(xué)，天文望遠(yuǎn)鏡等，都對(duì)大口徑光學(xué)元件提出了較大的需求和較高的要求，而國(guó)內(nèi)大口徑光學(xué)加工制造能力還遠(yuǎn)落后于美國(guó)，歐洲等國(guó)家。隨著國(guó)內(nèi)對(duì)大口徑光學(xué)元件的需求越來(lái)越大，精度越來(lái)越高，口徑越來(lái)越大，孔徑也不斷增大，適用于大尺寸、非球面、高效、精密的柔性加工技術(shù)已成為制約其發(fā)展和亟待解決的關(guān)鍵問題。利用智能化自動(dòng)化技術(shù)生產(chǎn)取代傳統(tǒng)手工低效率研磨已經(jīng)成為必然趨勢(shì)。為適應(yīng)大口徑光學(xué)元件的加工，結(jié)合現(xiàn)有成熟工業(yè)機(jī)器人技術(shù)條件，先進(jìn)制造裝備及控制實(shí)驗(yàn)室開展了多工具柔性磨拋復(fù)合加工技術(shù)的研究，利用工業(yè)機(jī)器人模擬手工研磨鏡面加工技術(shù)，通過(guò)在末端關(guān)節(jié)安裝的專門研發(fā)磨拋工具頭對(duì)各型大口徑平面及曲面類光學(xué)元件進(jìn)行高效率研磨加工，還能根據(jù)光學(xué)元件面形檢測(cè)得出的誤差結(jié)果，專門開發(fā)了自主知識(shí)產(chǎn)權(quán)的軟件能智能化地在光學(xué)表面相應(yīng)的區(qū)域自動(dòng)選擇修正工具，并自動(dòng)通過(guò)高效疊代算法得出合適的磨拋材料去除函數(shù)，并生成高精度光學(xué)表面加工程序，有效地控制加工大口徑光學(xué)元件過(guò)程中產(chǎn)生的各種誤差，特別是能有效克服“蹋邊問題”，該成套技術(shù)不僅能大大提高大口徑光學(xué)元件的拋光效率和加工精度，另外與采用精密數(shù)控機(jī)床加工相比還能有效降低企業(yè)設(shè)備采購(gòu)與維護(hù)成本。 應(yīng)用領(lǐng)域： 核聚變、空間光學(xué)、天文光學(xué)望遠(yuǎn)鏡、光學(xué)鏡頭等涉及光學(xué)元件制造行業(yè) 技術(shù)指標(biāo)： ？ 實(shí)現(xiàn)直徑1米的大口徑光學(xué)元件磨拋加工； ？ 直徑500mm的平面反射鏡有效口徑范圍面形精度達(dá)到PV=0.387λ、rms=0.063λ。

國(guó)內(nèi)外大科學(xué)工程研究中如激光聚變，空間光學(xué)，天文望遠(yuǎn)鏡等，都對(duì)大口徑光學(xué)元件提出了較大的需求和較高的要求，而國(guó)內(nèi)大口徑光學(xué)加工制造能力還遠(yuǎn)落后于美國(guó)，歐洲等國(guó)家。隨著國(guó)內(nèi)對(duì)大口徑光學(xué)元件的需求越來(lái)越大，精度越來(lái)越高，口徑越來(lái)越大，孔徑也不斷增大，適用于大尺寸、非球面、高效、精密的柔性加工技術(shù)已成為制約其發(fā)展和亟待解決的關(guān)鍵問題。利用智能化自動(dòng)化技術(shù)生產(chǎn)取代傳統(tǒng)手工低效率研磨已經(jīng)成為必然趨勢(shì)。為適應(yīng)大口徑光學(xué)元件的加工，結(jié)合現(xiàn)有成熟工業(yè)機(jī)器人技術(shù)條件，先進(jìn)制造裝備及控制實(shí)驗(yàn)室開展了多工具柔性磨拋復(fù)合加工技術(shù)的研究，利用工業(yè)機(jī)器人模擬手工研磨鏡面加工技術(shù)，通過(guò)在末端關(guān)節(jié)安裝的專門研發(fā)磨拋工具頭對(duì)各型大口徑平面及曲面類光學(xué)元件進(jìn)行高效率研磨加工，還能根據(jù)光學(xué)元件面形檢測(cè)得出的誤差結(jié)果，專門開發(fā)了自主知識(shí)產(chǎn)權(quán)的軟件能智能化地在光學(xué)表面相應(yīng)的區(qū)域自動(dòng)選擇修正工具，并自動(dòng)通過(guò)高效疊代算法得出合適的磨拋材料去除函數(shù)，并生成高精度光學(xué)表面加工程序，有效地控制加工大口徑光學(xué)元件過(guò)程中產(chǎn)生的各種誤差，特別是能有效克服“蹋邊問題”，該成套技術(shù)不僅能大大提高大口徑光學(xué)元件的拋光效率和加工精度，另外與采用精密數(shù)

成果簡(jiǎn)介： 國(guó)內(nèi)外大科學(xué)工程研究中如激光聚變，空間光學(xué)，天文望遠(yuǎn)鏡等，都對(duì)大口徑光學(xué)元件提出了較大的需求和較高的要求，而國(guó)內(nèi)大口徑光學(xué)加工制造能力還遠(yuǎn)落后于美國(guó)，歐洲等國(guó)家。隨著國(guó)內(nèi)對(duì)大口徑光學(xué)元件的需求越來(lái)越大，精度越來(lái)越高，口徑越來(lái)越大，孔徑也不斷增大，適用于大尺寸、非球面、高效、精密的柔性加工技術(shù)已成為制約其發(fā)展和亟待解決的關(guān)鍵問題。利用智能化自動(dòng)化技術(shù)生產(chǎn)取代傳統(tǒng)手工低效率研磨已經(jīng)成為必然趨勢(shì)。為適應(yīng)大口徑光學(xué)元件的加工，結(jié)合現(xiàn)有成熟工業(yè)機(jī)器人技術(shù)條件，先進(jìn)制造裝備及控制實(shí)驗(yàn)室開展了多工具柔性磨拋復(fù)合加工技術(shù)的研究，利用工業(yè)機(jī)器人模擬手工研磨鏡面加工技術(shù)，通過(guò)在末端關(guān)節(jié)安裝的專門研發(fā)磨拋工具頭對(duì)各型大口徑平面及曲面類光學(xué)元件進(jìn)行高效率研磨加工，還能根據(jù)光學(xué)元件面形檢測(cè)得出的誤差結(jié)果，專門開發(fā)了自主知識(shí)產(chǎn)權(quán)的軟件能智能化地在光學(xué)表面相應(yīng)的區(qū)域自動(dòng)選擇修正工具，并自動(dòng)通過(guò)高效疊代算法得出合適的磨拋材料去除函數(shù)，并生成高精度光學(xué)表面加工程序，有效地控制加工大口徑光學(xué)元件過(guò)程中產(chǎn)生的各種誤差，特別是能有效克服“蹋邊問題”，該成套技術(shù)不僅能大大提高大口徑光學(xué)元件的拋光效率和加工精度，另外與采用精密數(shù)控機(jī)床加工相比還能有效降低企業(yè)設(shè)備采購(gòu)與維護(hù)成本。 應(yīng)用領(lǐng)域： 核聚變、空間光學(xué)、天文光學(xué)望遠(yuǎn)鏡、光學(xué)鏡頭等涉及光學(xué)元件制造行業(yè) 技術(shù)指標(biāo)： 實(shí)現(xiàn)直徑1米的大口徑光學(xué)元件磨拋加工； 直徑500mm的平面反射鏡有效口徑范圍面形精度達(dá)到PV=0.387λ、rms=0.063λ。