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半導(dǎo)體輔材用多晶硅中碳、氮雜質(zhì)的分離去除技術(shù)
伴隨著我國半導(dǎo)體行業(yè)的迅速崛起，硅電極作為光刻設(shè)備上承載硅基圓的重要輔材，其需求日趨增加。同時，基圓尺寸的不斷增加使得硅電極逐漸由單晶硅電極轉(zhuǎn)變?yōu)槎嗑Ч桦姌O，然而多晶硅制備過程中不可避免存在C、N雜質(zhì)的污染，導(dǎo)致其基體中存在大量彌散分布的SiC、Si3N4硬質(zhì)顆粒夾雜，嚴重影響了多晶硅電極的使用性能。
傳統(tǒng)制備技術(shù)下，設(shè)備熱場結(jié)構(gòu)單一，熔體流動性差，導(dǎo)致SiC、Si3N4雜質(zhì)循環(huán)溶解—析出，難以有效分離。本項目團隊前期利用電子束精煉技術(shù)去除硅中的蒸發(fā)性雜質(zhì)（P、 O、N）；利用電子束誘導(dǎo)實現(xiàn)多晶硅的定向凝固，進而分離硅中的金屬雜質(zhì)；基于電子束冷床效應(yīng)分離硅中的SiC、Si3N4硬質(zhì)顆粒，并揭示硬質(zhì)顆粒與硅基體間的位相關(guān)系；基于上述研究開發(fā)出了多晶硅電極的制備工藝，可應(yīng)用于刻蝕等半導(dǎo)體制造等領(lǐng)域。
本項目預(yù)期可以為半導(dǎo)體行業(yè)中硅電極生產(chǎn)制造企業(yè)提供穩(wěn)定的技術(shù)支持，具有很好的生產(chǎn)示范性，實現(xiàn)高新技術(shù)產(chǎn)業(yè)化。該技術(shù)能夠有效地降低生產(chǎn)過程中的能耗，是一種低成本、環(huán)境友好的生產(chǎn)方法，屬于節(jié)能、環(huán)保的綠色制造技術(shù)。該技術(shù)的大規(guī)模應(yīng)用和推廣，可大幅增加就業(yè)崗位，提高企業(yè)的市場競爭力，保護環(huán)境。
大連理工大學(xué)
2021-05-10
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短鏈有機酸(3-6 碳)發(fā)酵生產(chǎn)的關(guān)鍵技術(shù)與應(yīng)用
本項目針對篩選優(yōu)良生產(chǎn)性狀菌株、提高菌株生長性能、增強菌株有機酸合 成能力、提升菌株環(huán)境適應(yīng)性等四個制約有機酸發(fā)酵過程效能的技術(shù)瓶頸，發(fā)展和實踐了一整套提高短鏈有機酸發(fā)酵過程性能的的策略與方法。(1) 在菌株篩選方面，建立了基于微生物生理特性的理性定向篩選技術(shù)、基于有機酸生化特性的高通量定向選育技術(shù)。(2) 在營養(yǎng)供給方面，建立了基于全基因組序列的微生物營養(yǎng)需求解析技術(shù)、基于微生物營養(yǎng)需求的定向定量元素供給技術(shù)。(3) 在代謝流調(diào)控方面，建立了輔因子調(diào)控碳代謝流速度和流向的方法、微生物亞細胞代謝工程的碳流分區(qū)調(diào)控技術(shù)，發(fā)展了基于最優(yōu)合成途徑的碳代謝流流向及通量的調(diào)控方法、基于轉(zhuǎn)運子工程的代謝流傳輸調(diào)控方法、基于微生物生理特性的分階段過程控制技術(shù)。(4) 在環(huán)境適應(yīng)性方面，建立了脅迫與耐受響應(yīng)的有機酸發(fā)酵強化技術(shù)、發(fā)展了環(huán)境適應(yīng)性的全局調(diào)控因子擾動解析技術(shù)。
江南大學(xué)
2021-04-11
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廿二碳五烯酸乙醇胺在提高植物灰霉病抗性中的應(yīng)用
本發(fā)明公開了廿二碳五烯酸乙醇胺在提高植物灰霉病抗性中的應(yīng)用以及在制備提高植物灰霉病抗性的制劑中的應(yīng)用。本發(fā)明以廿二碳五烯酸乙醇胺為主要有效成分制備的制劑，通過誘導(dǎo)植物體內(nèi)的茉莉酸以及乙烯的信號路徑，可顯著增強植物對灰霉病的抗性，減少因灰霉病給植株帶來的經(jīng)濟損失。采用本發(fā)明制劑防治植物灰霉病簡單易行，成本較低，可顯著延遲和抑制灰葡萄孢病原菌在葉片上的生長及病害的擴散，大大提高了植株對灰霉病的抗性。
浙江大學(xué)
2021-04-13
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一種櫻桃殼碳負載的鈀催化劑及其制備方法與應(yīng)用
本發(fā)明屬于催化劑技術(shù)領(lǐng)域，具體涉及一種具有高活性的櫻桃核碳負載的鈀催化劑及其制備方法與應(yīng)用。所述催化劑中櫻桃核碳為成型顆粒狀，作為載體硬骨架；鈀負載于碳層表面，其在催化劑中的重量含量為0.05～2％。本發(fā)明以櫻桃核作為前驅(qū)體，經(jīng)過高溫碳化，然后經(jīng)過氫氧化鉀活化并在活化過程中進行原位氮原子摻雜，從而獲得大比表面、表面氮原子修飾的多孔櫻桃核硬碳材料，作為載體時能更好的分散催化劑，展現(xiàn)出更為優(yōu)異的催化性能，同時具有更為優(yōu)異的機械強度，可減緩碳載體反應(yīng)過程中破碎等問題，提高催化劑壽命，在對苯二甲酸加氫精制反應(yīng)中有替代商業(yè)活性炭的潛在工業(yè)應(yīng)用價值。采用創(chuàng)新性的制造工藝將廢棄櫻桃殼轉(zhuǎn)變成高硬度、氮摻雜的、高比表面積的成型多孔活性碳顆粒，在催化加氫反應(yīng)中作為催化劑的載體展現(xiàn)出優(yōu)異的性能?？勺鳛槲讲牧霞按呋瘎┹d體得以廣泛應(yīng)用。
青島大學(xué)
2021-04-13
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鋁碳耐火材料用有機/無機雜化改性酚醛樹脂及其制備方法
小試階段/n本成果屬于耐火材料用改性酚醛樹脂技術(shù)領(lǐng)域。具體涉及一種鋁碳耐火材料用有機/無機雜化改性酚醛樹脂及其制備方法。目前鋁碳耐火材料廣泛采用酚醛樹脂作為結(jié)合劑，酚醛樹脂與焦油瀝青結(jié)合劑相比，具有熱硬性、干燥強度大和環(huán)境污染小的優(yōu)點，但由于酚醛樹脂為有機高分子化合物，支鏈少，對無機材料的潤濕程度較低，固化后形成的網(wǎng)絡(luò)結(jié)構(gòu)不夠致密，使得以酚醛樹脂結(jié)合的鋁碳耐火材料存在常溫強度不足的問題，在中溫階段由于酚醛樹脂的裂解導(dǎo)致結(jié)合強度較低。本成果旨在克服現(xiàn)有技術(shù)缺陷，目的是提供一種生產(chǎn)工藝簡單、生產(chǎn)成本較低
武漢科技大學(xué)
2021-01-12
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一種用于含碳固體燃料的催化氣化處理裝置及其應(yīng)用
本發(fā)明公開了一種用于含碳固體燃料的催化氣化處理裝置及其應(yīng)用，該裝置包括物料混合組件、預(yù)熱移動床反應(yīng)器、流化床氣化爐、第一氣固分離器、第二氣固分離器和洗滌塔，其中，該預(yù)熱移動床反應(yīng)器包括內(nèi)殼體和外殼體；流化床氣化爐與預(yù)熱移動床反應(yīng)器相連；第一氣固分離器分別與流化床氣化爐和預(yù)熱移動床反應(yīng)器連接；第二氣固分離器與預(yù)熱移動床反應(yīng)器相連；洗滌塔通過氣體冷卻器與第二氣固分離器相連。本發(fā)明的裝置將含碳固體燃料(如石油焦)與催化劑在進入流化床氣化爐之前提前熱處理，使得石油焦與催化物質(zhì)反應(yīng)生成中間復(fù)合物，從而在流化床氣化爐中有氣流強烈擾動時石油焦與催化物質(zhì)不易分離得到良好的催化效果。
華中科技大學(xué)
2021-04-13
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一種由二氧化碳轉(zhuǎn)化制備固體碳的方法
本發(fā)明涉及一種以二氧化碳為碳源制備固體碳的方法，屬于環(huán)境治理領(lǐng)域。本發(fā)明提供一種由二氧化碳轉(zhuǎn)化制備固體碳的方法，包括如下步驟：a、催化體系中通入惰性氣體并升溫至400～700℃，停止通入惰性氣體，切換為通入還原性氣體，還原反應(yīng)0.1～2小時；b、還原反應(yīng)完成后再通入惰性氣體并升溫至400～750℃，然后進口切換為通入二氧化碳和氫氣，反應(yīng)0.1～10小時生成固體碳；其中，氫氣和二氧化碳的體積比為1～6︰1；c、反應(yīng)結(jié)束后切換為惰性氣體，冷卻至30-40℃，收集固體碳；所述催化體系為NiO/Al2O3基催化劑，催化劑中Ni含量為5～80wt％。本發(fā)明以二氧化碳為原料進行催化活化和轉(zhuǎn)化固碳，得到了具有工業(yè)價值的固體碳。
四川大學(xué)
2016-10-27
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燃料電池鉑碳和鉑基合金催化劑的批量化制備技術(shù)
本團隊采用獨特的從“0 到 1”的原創(chuàng)水相體系制備技術(shù)路線，實現(xiàn)鉑載量從 30-60%不同系列鉑碳催化劑的小規(guī)模批量制備。以典型的50%鉑碳催化劑為例，催化劑粒徑 2.5nm，均勻分布，BET 面 積 260m2/g，電化學(xué)活性面積 80 m2/g，初始質(zhì)量活性 0.25 A/[email protected]；按照 DOE 測試標準，3 萬圈循環(huán)，電化學(xué)活性面積衰減30%，質(zhì)量活性衰減 35%。小規(guī)模量產(chǎn)的鉑碳催化劑一致性偏差小于5%，且制備過程環(huán)保、成本低、性價比優(yōu)良。以此鉑碳催化劑制備的膜電極功率密度大于 1.1W/[email protected]。 鉑基合金催化劑包括鉑鎳碳和鉑鈷碳，催化劑中活性組分含量大于45%，平均粒徑 3.6nm，BET面積305 m2/g，電化學(xué)活性面積 65 m2/g，初始質(zhì)量活性 0.55 A/[email protected]；按照DOE測試標準，3萬圈循環(huán)，電化學(xué)活性面積衰減30%，質(zhì)量活性衰減30%。
華南理工大學(xué)
2023-05-08
一種碳對電極鈣鈦礦太陽能電池及其制備方法
本發(fā)明公開了一種碳對電極鈣鈦礦太陽能電池，該電池包括光 陽極、對電極和空穴傳輸層，對電極為碳布，該碳布依次經(jīng)過 NiO 前 驅(qū)體混合溶液浸漬處理以及反應(yīng)處理，從而使該碳布上均勻濃密的附 著由 NiO 納米片構(gòu)成的空穴傳輸層；所述碳布嵌入在光陽極中的 TiO2 多孔層內(nèi)。還提供了制備碳對電極鈣鈦礦太陽能電池的方法，包括空穴傳輸層制備步驟，在前驅(qū)體混合溶液中對碳布執(zhí)行浸漬處理，接著 執(zhí)行反應(yīng)處理，將粘附有所述前驅(qū)體混合溶液的碳布置入高壓反應(yīng)釜 中反應(yīng)；然后取出碳布進行清洗和干燥；最后執(zhí)行退火處理，獲得附
華中科技大學(xué)
2021-04-14
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天津大學(xué)領(lǐng)銜研制出新型有序大孔石墨烯碳質(zhì)框架材料
有序納米多孔功能材料，例如微孔的沸石和介孔的二氧化硅分子篩、金屬-有機框架材料（MOFs）和共價有機框架材料（COFs），由于其發(fā)達的孔道結(jié)構(gòu)、較大的比表面積、較小的材料密度等優(yōu)異的物理化學(xué)特性，在吸附、分離、傳感器、離子交換、負載催化、藥物輸送、電磁防護、環(huán)境治理、電化學(xué)能量存儲和轉(zhuǎn)化等諸多領(lǐng)域都有著廣泛應(yīng)用。
天津大學(xué)
2023-02-21