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半導(dǎo)體輔材用多晶硅中碳、氮雜質(zhì)的分離去除技術(shù)
伴隨著我國半導(dǎo)體行業(yè)的迅速崛起，硅電極作為光刻設(shè)備上承載硅基圓的重要輔材，其需求日趨增加。同時，基圓尺寸的不斷增加使得硅電極逐漸由單晶硅電極轉(zhuǎn)變?yōu)槎嗑Ч桦姌O，然而多晶硅制備過程中不可避免存在C、N雜質(zhì)的污染，導(dǎo)致其基體中存在大量彌散分布的SiC、Si3N4硬質(zhì)顆粒夾雜，嚴(yán)重影響了多晶硅電極的使用性能。
傳統(tǒng)制備技術(shù)下，設(shè)備熱場結(jié)構(gòu)單一，熔體流動性差，導(dǎo)致SiC、Si3N4雜質(zhì)循環(huán)溶解—析出，難以有效分離。本項目團隊前期利用電子束精煉技術(shù)去除硅中的蒸發(fā)性雜質(zhì)（P、 O、N）；利用電子束誘導(dǎo)實現(xiàn)多晶硅的定向凝固，進而分離硅中的金屬雜質(zhì)；基于電子束冷床效應(yīng)分離硅中的SiC、Si3N4硬質(zhì)顆粒，并揭示硬質(zhì)顆粒與硅基體間的位相關(guān)系；基于上述研究開發(fā)出了多晶硅電極的制備工藝，可應(yīng)用于刻蝕等半導(dǎo)體制造等領(lǐng)域。
本項目預(yù)期可以為半導(dǎo)體行業(yè)中硅電極生產(chǎn)制造企業(yè)提供穩(wěn)定的技術(shù)支持，具有很好的生產(chǎn)示范性，實現(xiàn)高新技術(shù)產(chǎn)業(yè)化。該技術(shù)能夠有效地降低生產(chǎn)過程中的能耗，是一種低成本、環(huán)境友好的生產(chǎn)方法，屬于節(jié)能、環(huán)保的綠色制造技術(shù)。該技術(shù)的大規(guī)模應(yīng)用和推廣，可大幅增加就業(yè)崗位，提高企業(yè)的市場競爭力，保護環(huán)境。
大連理工大學(xué)
2021-05-10
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短鏈有機酸(3-6 碳)發(fā)酵生產(chǎn)的關(guān)鍵技術(shù)與應(yīng)用
本項目針對篩選優(yōu)良生產(chǎn)性狀菌株、提高菌株生長性能、增強菌株有機酸合 成能力、提升菌株環(huán)境適應(yīng)性等四個制約有機酸發(fā)酵過程效能的技術(shù)瓶頸，發(fā)展和實踐了一整套提高短鏈有機酸發(fā)酵過程性能的的策略與方法。(1) 在菌株篩選方面，建立了基于微生物生理特性的理性定向篩選技術(shù)、基于有機酸生化特性的高通量定向選育技術(shù)。(2) 在營養(yǎng)供給方面，建立了基于全基因組序列的微生物營養(yǎng)需求解析技術(shù)、基于微生物營養(yǎng)需求的定向定量元素供給技術(shù)。(3) 在代謝流調(diào)控方面，建立了輔因子調(diào)控碳代謝流速度和流向的方法、微生物亞細胞代謝工程的碳流分區(qū)調(diào)控技術(shù)，發(fā)展了基于最優(yōu)合成途徑的碳代謝流流向及通量的調(diào)控方法、基于轉(zhuǎn)運子工程的代謝流傳輸調(diào)控方法、基于微生物生理特性的分階段過程控制技術(shù)。(4) 在環(huán)境適應(yīng)性方面，建立了脅迫與耐受響應(yīng)的有機酸發(fā)酵強化技術(shù)、發(fā)展了環(huán)境適應(yīng)性的全局調(diào)控因子擾動解析技術(shù)。
江南大學(xué)
2021-04-11
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廿二碳五烯酸乙醇胺在提高植物灰霉病抗性中的應(yīng)用
本發(fā)明公開了廿二碳五烯酸乙醇胺在提高植物灰霉病抗性中的應(yīng)用以及在制備提高植物灰霉病抗性的制劑中的應(yīng)用。本發(fā)明以廿二碳五烯酸乙醇胺為主要有效成分制備的制劑，通過誘導(dǎo)植物體內(nèi)的茉莉酸以及乙烯的信號路徑，可顯著增強植物對灰霉病的抗性，減少因灰霉病給植株帶來的經(jīng)濟損失。采用本發(fā)明制劑防治植物灰霉病簡單易行，成本較低，可顯著延遲和抑制灰葡萄孢病原菌在葉片上的生長及病害的擴散，大大提高了植株對灰霉病的抗性。
浙江大學(xué)
2021-04-13
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一種櫻桃殼碳負(fù)載的鈀催化劑及其制備方法與應(yīng)用
本發(fā)明屬于催化劑技術(shù)領(lǐng)域，具體涉及一種具有高活性的櫻桃核碳負(fù)載的鈀催化劑及其制備方法與應(yīng)用。所述催化劑中櫻桃核碳為成型顆粒狀，作為載體硬骨架；鈀負(fù)載于碳層表面，其在催化劑中的重量含量為0.05～2％。本發(fā)明以櫻桃核作為前驅(qū)體，經(jīng)過高溫碳化，然后經(jīng)過氫氧化鉀活化并在活化過程中進行原位氮原子摻雜，從而獲得大比表面、表面氮原子修飾的多孔櫻桃核硬碳材料，作為載體時能更好的分散催化劑，展現(xiàn)出更為優(yōu)異的催化性能，同時具有更為優(yōu)異的機械強度，可減緩碳載體反應(yīng)過程中破碎等問題，提高催化劑壽命，在對苯二甲酸加氫精制反應(yīng)中有替代商業(yè)活性炭的潛在工業(yè)應(yīng)用價值。采用創(chuàng)新性的制造工藝將廢棄櫻桃殼轉(zhuǎn)變成高硬度、氮摻雜的、高比表面積的成型多孔活性碳顆粒，在催化加氫反應(yīng)中作為催化劑的載體展現(xiàn)出優(yōu)異的性能。可作為吸附材料及催化劑載體得以廣泛應(yīng)用。
青島大學(xué)
2021-04-13
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鋁碳耐火材料用有機/無機雜化改性酚醛樹脂及其制備方法
小試階段/n本成果屬于耐火材料用改性酚醛樹脂技術(shù)領(lǐng)域。具體涉及一種鋁碳耐火材料用有機/無機雜化改性酚醛樹脂及其制備方法。目前鋁碳耐火材料廣泛采用酚醛樹脂作為結(jié)合劑，酚醛樹脂與焦油瀝青結(jié)合劑相比，具有熱硬性、干燥強度大和環(huán)境污染小的優(yōu)點，但由于酚醛樹脂為有機高分子化合物，支鏈少，對無機材料的潤濕程度較低，固化后形成的網(wǎng)絡(luò)結(jié)構(gòu)不夠致密，使得以酚醛樹脂結(jié)合的鋁碳耐火材料存在常溫強度不足的問題，在中溫階段由于酚醛樹脂的裂解導(dǎo)致結(jié)合強度較低。本成果旨在克服現(xiàn)有技術(shù)缺陷，目的是提供一種生產(chǎn)工藝簡單、生產(chǎn)成本較低
武漢科技大學(xué)
2021-01-12
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一種用于含碳固體燃料的催化氣化處理裝置及其應(yīng)用
本發(fā)明公開了一種用于含碳固體燃料的催化氣化處理裝置及其應(yīng)用，該裝置包括物料混合組件、預(yù)熱移動床反應(yīng)器、流化床氣化爐、第一氣固分離器、第二氣固分離器和洗滌塔，其中，該預(yù)熱移動床反應(yīng)器包括內(nèi)殼體和外殼體；流化床氣化爐與預(yù)熱移動床反應(yīng)器相連；第一氣固分離器分別與流化床氣化爐和預(yù)熱移動床反應(yīng)器連接；第二氣固分離器與預(yù)熱移動床反應(yīng)器相連；洗滌塔通過氣體冷卻器與第二氣固分離器相連。本發(fā)明的裝置將含碳固體燃料(如石油焦)與催化劑在進入流化床氣化爐之前提前熱處理，使得石油焦與催化物質(zhì)反應(yīng)生成中間復(fù)合物，從而在流化床氣化爐中有氣流強烈擾動時石油焦與催化物質(zhì)不易分離得到良好的催化效果。
華中科技大學(xué)
2021-04-13
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一種由二氧化碳轉(zhuǎn)化制備固體碳的方法
本發(fā)明涉及一種以二氧化碳為碳源制備固體碳的方法，屬于環(huán)境治理領(lǐng)域。本發(fā)明提供一種由二氧化碳轉(zhuǎn)化制備固體碳的方法，包括如下步驟：a、催化體系中通入惰性氣體并升溫至400～700℃，停止通入惰性氣體，切換為通入還原性氣體，還原反應(yīng)0.1～2小時；b、還原反應(yīng)完成后再通入惰性氣體并升溫至400～750℃，然后進口切換為通入二氧化碳和氫氣，反應(yīng)0.1～10小時生成固體碳；其中，氫氣和二氧化碳的體積比為1～6︰1；c、反應(yīng)結(jié)束后切換為惰性氣體，冷卻至30-40℃，收集固體碳；所述催化體系為NiO/Al2O3基催化劑，催化劑中Ni含量為5～80wt％。本發(fā)明以二氧化碳為原料進行催化活化和轉(zhuǎn)化固碳，得到了具有工業(yè)價值的固體碳。
四川大學(xué)
2016-10-27
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燃料電池鉑碳和鉑基合金催化劑的批量化制備技術(shù)
本團隊采用獨特的從“0 到 1”的原創(chuàng)水相體系制備技術(shù)路線，實現(xiàn)鉑載量從 30-60%不同系列鉑碳催化劑的小規(guī)模批量制備。以典型的50%鉑碳催化劑為例，催化劑粒徑 2.5nm，均勻分布，BET 面 積 260m2/g，電化學(xué)活性面積 80 m2/g，初始質(zhì)量活性 0.25 A/[email protected]；按照 DOE 測試標(biāo)準(zhǔn)，3 萬圈循環(huán)，電化學(xué)活性面積衰減30%，質(zhì)量活性衰減 35%。小規(guī)模量產(chǎn)的鉑碳催化劑一致性偏差小于5%，且制備過程環(huán)保、成本低、性價比優(yōu)良。以此鉑碳催化劑制備的膜電極功率密度大于 1.1W/[email protected]。 鉑基合金催化劑包括鉑鎳碳和鉑鈷碳，催化劑中活性組分含量大于45%，平均粒徑 3.6nm，BET面積305 m2/g，電化學(xué)活性面積 65 m2/g，初始質(zhì)量活性 0.55 A/[email protected]；按照DOE測試標(biāo)準(zhǔn)，3萬圈循環(huán)，電化學(xué)活性面積衰減30%，質(zhì)量活性衰減30%。
華南理工大學(xué)
2023-05-08
一種碳對電極鈣鈦礦太陽能電池及其制備方法
本發(fā)明公開了一種碳對電極鈣鈦礦太陽能電池，該電池包括光 陽極、對電極和空穴傳輸層，對電極為碳布，該碳布依次經(jīng)過 NiO 前 驅(qū)體混合溶液浸漬處理以及反應(yīng)處理，從而使該碳布上均勻濃密的附 著由 NiO 納米片構(gòu)成的空穴傳輸層；所述碳布嵌入在光陽極中的 TiO2 多孔層內(nèi)。還提供了制備碳對電極鈣鈦礦太陽能電池的方法，包括空穴傳輸層制備步驟，在前驅(qū)體混合溶液中對碳布執(zhí)行浸漬處理，接著 執(zhí)行反應(yīng)處理，將粘附有所述前驅(qū)體混合溶液的碳布置入高壓反應(yīng)釜 中反應(yīng)；然后取出碳布進行清洗和干燥；最后執(zhí)行退火處理，獲得附
華中科技大學(xué)
2021-04-14
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天津大學(xué)領(lǐng)銜研制出新型有序大孔石墨烯碳質(zhì)框架材料
有序納米多孔功能材料，例如微孔的沸石和介孔的二氧化硅分子篩、金屬-有機框架材料（MOFs）和共價有機框架材料（COFs），由于其發(fā)達的孔道結(jié)構(gòu)、較大的比表面積、較小的材料密度等優(yōu)異的物理化學(xué)特性，在吸附、分離、傳感器、離子交換、負(fù)載催化、藥物輸送、電磁防護、環(huán)境治理、電化學(xué)能量存儲和轉(zhuǎn)化等諸多領(lǐng)域都有著廣泛應(yīng)用。
天津大學(xué)
2023-02-21