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半導體輔材用多晶硅中碳、氮雜質的分離去除技術
伴隨著我國半導體行業的迅速崛起，硅電極作為光刻設備上承載硅基圓的重要輔材，其需求日趨增加。同時，基圓尺寸的不斷增加使得硅電極逐漸由單晶硅電極轉變為多晶硅電極，然而多晶硅制備過程中不可避免存在C、N雜質的污染，導致其基體中存在大量彌散分布的SiC、Si3N4硬質顆粒夾雜，嚴重影響了多晶硅電極的使用性能。
傳統制備技術下，設備熱場結構單一，熔體流動性差，導致SiC、Si3N4雜質循環溶解—析出，難以有效分離。本項目團隊前期利用電子束精煉技術去除硅中的蒸發性雜質（P、 O、N）；利用電子束誘導實現多晶硅的定向凝固，進而分離硅中的金屬雜質；基于電子束冷床效應分離硅中的SiC、Si3N4硬質顆粒，并揭示硬質顆粒與硅基體間的位相關系；基于上述研究開發出了多晶硅電極的制備工藝，可應用于刻蝕等半導體制造等領域。
本項目預期可以為半導體行業中硅電極生產制造企業提供穩定的技術支持，具有很好的生產示范性，實現高新技術產業化。該技術能夠有效地降低生產過程中的能耗，是一種低成本、環境友好的生產方法，屬于節能、環保的綠色制造技術。該技術的大規模應用和推廣，可大幅增加就業崗位，提高企業的市場競爭力，保護環境。
大連理工大學
2021-05-10
硅晶片線切割用6HSiC微粉材料的研究及產業化
關鍵工序生產的自動化 ① 粉碎（雷蒙磨）自動控制系統的研發 研制可對粉碎車間雷蒙磨振動下料、粉碎、氣流粗分工況進行實時監測、自動優化控制的自動監控系統。將雷蒙磨因堵塞停機造成的故障次數比現階段減少75%，且提高工效15%以上。 ② 氣流分級自動控制系統的研發 研制氣流分級機用自動控制系統，具備以下功能：可根據分級輪主機負載實時自動調節喂料速度、根據所設定的風壓值自動調整變頻器運行、根據生產工藝要求自動向企業綜合信息平臺實時發送生產工況參數。 ③ 提純工序實時檢測與信息管理系統的研發 開發可對提純缸、脫水機、烘干爐等主要設備工況進行實時監控的智能化監控儀設備。 ④ 水力分級自動控制系統的研發 研發水力分級設備用自動控制系統，可根據工藝曲線要求自動控制水流量。采用水泵變頻控制，變常規的高低液位控制為恒液位控制，液位控制精度達到0.3%；研制出料自動切換裝置，實現出料無人值守。 ⑤ SiC冶煉爐在線自動測控裝置的研發 研制SiC冶煉爐在線自動測控裝置，可按冶煉工藝和爐溫自動進行恒功率綜合優化控制，爐溫控制精度達到2.5級。成果已在工廠正常運行3年。獲得4項發明專利授權，5項軟件著作權授權 雷蒙磨粉碎自動檢測方法及裝置 專利號：ZL200810020792.3 一種提高碳化硅微粉水溢流分級效率的精密控制方法 專利號：ZL200910035173.6 一種燃煤鍋爐能效監測方法 專利號：ZL201110091483.7 陣列式LED照明燈具的中心區域溫度動態控制方法 專利號：ZL201210356239.3 一種經濟型燃煤鍋爐能效監測系統及方法 專利號：ZL201110292517.9 一種低冗余度高可靠性船舶發電機組智能測速裝置 專利號：ZL201110058228.2一種手機可遙控的總線型區域供熱計量管理系統 專利號：ZL201010134495.9
東南大學
2021-04-13
硅基微納結構調控太陽光譜提升光伏器件效率的研究
擁有人工微結構科學與技術協同創新中心、固體微結構物理國家重點實驗室、半導體節能器件及材料國家地方聯合工程中心以及江蘇省光電信息功能材料重點實驗室等科研平臺，在硅基納米結構材料與性能調控，硅基光子學器件和新型能源器件等基礎研究領域具有很強的影響力。近年來，在硅基太陽能電池片研發及其新型結構材料在電池片上應用等方面開展了全方位的研究，承擔完成了國家重點基礎研究發展計劃課題和國家自然科學基金重點項目等相關課題的研究。提出了漸變帶隙的納米硅量子點電池結構，利用漸變帶隙進一步拓寬電池的響應光譜范圍，發展了包
南京大學
2021-04-14
多晶硅生產冷氫化工藝加熱合成反應關鍵技術裝備
實現多晶硅生產冷氫化工藝過程工程化的關鍵加熱系統裝置；降低成本40%，減少能耗2/3。8000小時以上無故障穩定運行加熱合成反應器關鍵技術。
常州大學
2021-04-14
一種硅太陽能電池正面銀電極用銀粉的制備方法
本發明公開了一種硅太陽能電池正面銀電極用銀粉的制備方法， 包括以下步驟：將硝酸銀和檸檬酸溶于去離子水配制得到 A 溶液；將 瓜爾豆膠、抗壞血酸以及硝酸溶于去離子水中配制得到 B 溶液；在攪 拌的情況下，將 A 溶液逐漸滴加到 B 溶液，反應一段時間；靜置，沉 淀得到銀粉。本發明通過引入瓜爾豆膠為反應離子分散劑、檸檬酸為 粒子表面改性劑，在液相化學還原法下制備得到平均粒徑 D50 為 1.0-3.0μm 的銀粉，并兼顧
華中科技大學
2021-04-14
基于 SiCx 織構的硅量子點浮柵非易失性存儲器及其制備方法
本發明公開了一種基于 SiCx 織構的硅量子點浮柵非易失性半導 體存儲器及其制備方法，包括硅襯底，在硅襯底上摻雜形成的源導電 區和漏導電區，以及在源漏之間的載流子溝道上依次生長的隧穿氧化 層、電荷存儲層、控制柵氧化層及金屬柵層；所述電荷存儲層包括 SiCx 織構和橫縱向均勻分布于 SiCx 織構中的硅量子點。本發明有效利用硅 量子點-SiCx 織構間的隧穿勢壘，構成了控制柵氧化層-SiCx 織構-Si 量子點-SiC
華中科技大學
2021-04-14
一種有機硅型海洋防污涂料基料及其制備方法和應用
本發明公開的有機硅型海洋防污涂料基料，它的結構如式（1），式中為含有殺菌劑側鏈的有機硅聚氨酯化合物，R為CH2CH3。制備步驟包括：1）氯丙基甲基二甲氧基硅烷和二甲基二甲氧基硅烷反應得到含氯丙基聚硅氧烷；2）將含氯丙基聚硅氧烷、叔胺和含羥基叔胺回流反應，生成含有季銨鹽與羥基的聚硅氧烷；3）將異氰酸酯、二月桂酸二丁基錫和含有季銨鹽與羥基與溶劑混合，加入γ-氨丙基三乙氧基硅烷進行擴鏈，得到含有交聯基團-Si(OCH2CH3)的預聚體，預聚體在空氣中交聯縮合，即可。本發明的有機硅型基料既有低表面能性能，有很好的疏水性，分子鏈上也有環保型殺菌劑，有很好的殺菌效果，達到很好的海洋防污效果式（1）。
浙江大學
2021-04-13
網盒視通原裝正品1分16廣電級視頻分配放大器可調型
產品詳細介紹 專業廣電級音視頻數據傳輸行業領軍企業網盒視通原裝正品-http://www.utpbox.com 有源視頻隔離放大分配器-1分2＋16口- 同軸雙絞線雙模式輸入 有源音頻隔離放大分配器-1分2＋16口- 同軸雙絞線雙模式輸入 * -350MHz廣播級-亮度清晰度補償-電源環出-防雷防浪涌保護 * 2個廣播級的BNC母頭下級級聯視頻輸出口 * 電源12VDC環路輸出提供下級級聯設備 * 雙絞線 - 同軸雙模式輸入 * 1U，19“ 金屬機架式安裝 有源視頻隔離放大分配器-2分2＋16口- 同軸雙絞線雙模式輸入有源視頻隔離放大分配器-1分4＋32口- 同軸雙絞線雙模式輸入 與國外同類產品的絕對竟爭優勢：1.350MHz@-3dB廣播級視頻有源信號放大、地回路隔離濾波2. BNC- 鏍絲端子輸入，兼容同軸與雙絞線雙模式隔離放大傳輸3. +/-1500V輸入輸出極限耐壓隔離，可工作于對耐壓要求苛刻的環境4. 高達92dB共模噪聲抑制和36dB視頻信號非線性增益和清晰度補償5. 高達880V/uS瞬態響應，獨特的視頻信號白平衡鉗位及寬動態補償6. 輸入匹配濾波電路，解決無源隔離器與部分紅外攝像機不兼容問題7. 視頻-電源LED獨立指示，視頻亮度和對比度滑動開關和電位器補償8. 廣播級分配放大，1分2口、1分2+16口和2分4+16口(2口下級級聯)9. +12VDC/500mA 低壓電源供電，提供一路電源環路輸出供下級級聯10. 可工作于-45℃至85℃工業級溫度，無同類產品常見的溫度漂移現象11. 安裝孔金屬機殼1分2口、機架式1分2+16口、1分4+32口和2分16口12. 整機輸入輸出內置防雷防浪涌保護，可全天侯工作于復雜的工程環境 性能指標 視頻驅動帶寬：350MHz @ -3dB視頻驅動增益：12dB @ 全帶寬 連續可調 12dB @ 3.6-4.43MHz 連續可調視頻平坦度： 5.5至10dB 連續調節 視頻輸出回損：小于 -39dB@ 1MHz視頻共模抑制：大于90dBSNR信噪比： 大于78dB視頻輸入接口：BNC-F母頭視頻輸入信號：0-1.2Vp-p (75歐姆負載)視頻輸入阻抗：75 歐姆視頻輸出信號：0-2.5Vp-p (直流鉗位+信號)視頻輸出接口：BNC-M公頭 3個視頻輸出阻抗：75 歐姆音頻輸入接口：3.5mm立體聲音頻插座(可選)音頻輸出接口：3.5mm立體聲音頻插座(可選)音頻輸入信號：-2.5Vp-p 至+2.5Vp-p(可選)音頻輸入阻抗：10k 歐姆(可選)音頻輸出阻抗：300/600姆電源供電：+12V DC/ 500mA
深圳市網盒視通技術有限公司
2021-08-23
YLS-31B8通道大小鼠通用型轉棒測試儀
簡單介紹：
大小鼠轉棒測試儀是大小鼠通用的一種測試動物協調平衡能力的專用設備，能對于**影響動物行動障礙的作用做出客觀的評價，對于相關**篩選有著重要的使用價值，它具有上乘的實驗性和可靠性。儀器由兩部分組成：動物轉棒運動箱（8個通道）和操縱控制箱（液晶顯示觸摸屏操作），儀器采用了通軸穿插式更換大小鼠轉輪，踏板式光電系統記錄動物跌落數據，可拆卸的不銹鋼踏板和硅膠轉輪清洗更加方便。儀器設置參數齊全，打印數據項目完整，可與PC機聯機，8通道大小鼠通用型轉棒測試儀操作方便數據準確，設計合理，得到了試用單位的一致好評。
詳情介紹：
1、通軸式更換大小轉輪，大小鼠通用8個通道2.大鼠轉輪直徑 85mm 硅膠材質3、小鼠轉輪直徑 35mm 硅膠材質4、踏板式光電跌落系統5、液晶顯示6、觸摸屏操作7、熱敏打印測試參數和結果8、可聯PC機（導出數據）9、設置項 8項10、啟動轉速： 1—50轉11、加速時間： 0—59分鐘12、終止轉速： 1—50轉13、測試限時： 5—1200分鐘14.測試通道數：1—8通道15、觸摸提示音： 開啟、 關閉16、自動打印： 開啟 、關閉17、系統時鐘： 年、月、日、分、秒，連續運轉10年18、操作項 2項19、瀏覽記錄（手動選組打印）20、除記錄21、打印記錄項 8項測試時間： 終止轉速：轉棒運行時間： 加速時間：啟動轉速： 通道： 落棒時間： 落棒時轉速：22、電源： 220V ±15V 50W23、控制箱尺寸： 180*280*125mm24、運動箱尺寸： 725*300*500mm25重量： 主機 2kg 運動箱 26kg
安徽耀坤生物科技有限公司
2022-05-26
第五屆“綻放杯”5G應用征集大賽智慧教育專題賽火熱開賽
由工業和信息化部主辦，中國信息通信研究院（以下簡稱“中國信通院”）聯合5G應用產業方陣、IMT-2020(5G)推進組、中國通信標準化協會以及金磚國家未來網絡研究院中國分院共同承辦的第五屆“綻放杯”5G應用征集大賽已于2022年4月28日正式啟動。
中國信息通信研究院
2022-06-10