具有紫外響應(yīng)的硅基成像器件
傳統(tǒng)的CCD、CMOS硅基成像器件都不能響應(yīng)紫外波段的光信號,這是因為紫外波段的光波在多晶硅中穿透深度很小(<2nm)。但是近年來隨著紫外探測技術(shù)的日趨發(fā)展,人們越來越需要對紫外波段進行更深的探測分析與認(rèn)識。紫外探測技術(shù)是繼激光探測技術(shù)和紅外探測技術(shù)之后發(fā)展起來的又一軍民兩用光電探測技術(shù)。幾十年來,紫外探測技術(shù)已經(jīng)逐漸應(yīng)用于光譜分析、軍事、空間天文、環(huán)境監(jiān)測、工業(yè)生產(chǎn)、醫(yī)用生物學(xué)等諸多領(lǐng)域,對現(xiàn)代科研、國防和人民生活都產(chǎn)生了深遠(yuǎn)的影響。特別是在先進光譜儀器方面,國內(nèi)急迫需要響應(yīng)波段拓展到紫外的硅基成像器件。硅基成像器件如CCD、CMOS是應(yīng)用最廣泛的光電探測器件。當(dāng)前最先進的光譜儀器大都采用了CCD或CMOS作為探測器件,這是因為CCD、CMOS具有靈敏度強、噪聲低、成像質(zhì)量好等優(yōu)點。但由于紫外波段的光波在多晶硅中穿透深度很小(<2nm),CCD、CMOS等在紫外波段響應(yīng)都很弱。成像器件的這種紫外弱響應(yīng)限制了其在先進光譜儀器及其他領(lǐng)域紫外波段探測的使用。 在技術(shù)發(fā)達(dá)國家,寬光譜響應(yīng)范圍、高分辨率、高靈敏度探測器CCD已經(jīng)廣泛應(yīng)用于高檔光譜儀器中。上世紀(jì)中葉美國Varian公司開發(fā)的Varian700 ICP-AES所使用的寬光譜CCD檢測器分辨率達(dá)0.01nm,光波長在600nm和300nm時QE分別達(dá)到了84%和50%;美國熱電公司開發(fā)的CAP600 系列ICP所用探測器光譜響應(yīng)范圍更是達(dá)到165~1000nm,在200nm時的分辨率達(dá)到0.005nm.法國Johinyvon的全譜直讀ICP,其所用的CCD探測器像素分辨率達(dá)0.0035nm,紫外響應(yīng)拓展到120nm的遠(yuǎn)紫外波段。德國斯派克分析儀器公司的全譜直讀電感耦合等離子體發(fā)射光譜儀一維色散和22個CCD檢測器設(shè)計,其光譜響應(yīng)范圍為120-800nm。德國耶拿JENA 連續(xù)光源原子吸收光譜儀contrAA采用高分辨率的中階梯光柵和紫外高靈敏度的一維CCD探測器,分辨率達(dá)0.002nm,光譜響應(yīng)范圍為189—900 nm。總而言之,發(fā)達(dá)國家在寬光譜響應(yīng)和高分辨率高靈敏度探測器件的研制領(lǐng)域已取得相當(dāng)?shù)某删汀V饕夹g(shù)指標(biāo)和創(chuàng)新點(1) 我們在國內(nèi)首次提出紫外增強的硅基成像器件,并在不改變傳統(tǒng)硅基成像探測器件的結(jié)構(gòu)的基礎(chǔ)上,利用鍍膜的方法增強成像探測器件CCD、CMOS的紫外響應(yīng),使其光譜響應(yīng)范圍拓寬到190—1100nm,實現(xiàn)對190nm以上紫外光的探測。(2) 提高成像探測器的紫外波段靈敏度,達(dá)到0.1V/lex.s。(3) 增強成像探測器件的紫外響應(yīng)的同時,盡量不削弱探測器件對可見波段的響應(yīng)。(4) 選用適合的無機材料,克服有機材料使用壽命短的缺陷。 紫外探測技術(shù)已經(jīng)逐漸應(yīng)用于光譜分析、軍事、空間天文、環(huán)境監(jiān)測、工業(yè)生產(chǎn)、醫(yī)用生物學(xué)等諸多領(lǐng)域,對現(xiàn)代科研、國防和人民生活都產(chǎn)生了深遠(yuǎn)的影響。特別是在先進光譜儀器方面,國內(nèi)急迫需要響應(yīng)波段拓展到紫外的硅基成像器件,該設(shè)計與傳統(tǒng)CCD、CMOS結(jié)合,能滿足寬光譜光譜儀器所需的紫外響應(yīng)探測器的需要。能提高光譜儀器光譜響應(yīng)范圍,在科學(xué)實驗和物質(zhì)分析和檢測中具有很廣的市場前景。 該設(shè)計樣品能取代傳統(tǒng)CCD、CMOS,應(yīng)用于大型寬光譜光譜儀器上,作為光譜儀的探測器件。將傳統(tǒng)光譜儀器的光譜檢測范圍拓寬到190—1100nm. 實現(xiàn)紫外探測和紫外分析。具有較強的市場推廣應(yīng)用價值。
上海理工大學(xué)
2021-04-11