基于硅材料和CMOS工藝制備光電子器件及其集成技術,可實現低成本、批量化生產,并具有和微電子單片集成的潛力,是目前國際光電子前沿研究領域。該技術不僅可以用于片上光互連,也可為骨干網、光接入網和數據中心提供高性能、低成本收發模塊。
在國家973計劃項目《超高速低功耗光子信息處理集成芯片與技術基礎研究》的支持下,針對硅基材料不具備線性電光效應、而利用自由載流子等離子色散效應實現電光調節效率低、功耗高等科學難題,提出了一系列解決思路和具有創新性的器件結構,形成了硅基光電子集成器件設計方法和基于CMOS工藝的制備工藝流程,成功制備了一系列硅基光電子集成芯片。
該技術不僅為我國硅基光電子集成技術的發展和華為等知名電信設備企業新一代產品提供了有力的技術支撐,也引起了國際同行的密切關注。美國光學學會《Optics & Photonics News》曾出版專題報道“Integrated Photonics in China”,對本項目的部分工作進行了介紹。2014年底,Nature Photonics將本項目首次在硅基上研制成功的大容量可編程光緩存芯片作為Research Highlight加以報道。
高速低功耗16*16光交換芯片版圖
大容量可編程光緩存芯片(左:芯片照片,中:封裝后的結構,右:性能測試結果)
為華為公司研制的400G可調光模塊。
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