一種可溯源白光干涉原子力探針自動定位工件方法
本發明公開了一種可溯源白光干涉原子力探針自動定位工件方 法,該方法包括如下步驟:在納米級位移平臺運動之前記錄下激光干 涉位移計量系統的初始位移;接著其在垂直方向上快速產生一個適量 的位移,在位移發生后通過零級條紋的移動量是否在閾值范圍內來判 斷原子力探針是否定位到工件,而如果納米級垂直位移平臺在到達極 限的位移運動時還未定位到工件,記錄下其最終位置,并將納米級垂 直位移平臺復位,重復上述步驟,直至定位到工件。按照本發明設定 的自動定位的方法,不受原子力探針與工件之間的距離限制,同時在定位過程中對位移進行計量,可實現可溯源,而采用零級條紋的移動 量來判斷探針是否定位到工件具有定位快速和高精度的顯著效果。
華中科技大學
2021-04-11