基于IP庫(kù)的通用MEMS器件可視化仿真與驗(yàn)證工具
項(xiàng)目的背景及目的 迄今為止,集成電路的模擬、仿真直至評(píng)測(cè)已有了非常完善的工具軟件;并已成為設(shè)計(jì)過(guò)程的重要組成部分;對(duì)設(shè)計(jì)的成功、可靠、高效都已起到?jīng)Q定性作用。而對(duì)MEMS而言,還相差甚遠(yuǎn),這和MEMS發(fā)展的成熟程度有著直接關(guān)系。當(dāng)然,這并不意味著MEMS不需要這樣的工具和系統(tǒng)。相反,由于MEMS的功能多樣、加工復(fù)雜、分析困難、設(shè)計(jì)周期長(zhǎng)、成本高等。特別需要一個(gè)能包括運(yùn)動(dòng)仿真、評(píng)測(cè)在內(nèi)的設(shè)計(jì)工具和系統(tǒng)。這是當(dāng)前推動(dòng)MEMS發(fā)展的當(dāng)務(wù)之急。
南開(kāi)大學(xué)
2021-04-14