一種適用于成卷柔性電子器件的逐片轉(zhuǎn)移裝置
本發(fā)明公開了一種適用于成卷柔性電子器件的逐片轉(zhuǎn)移裝置, 包括薄膜進(jìn)給單元、載帶輸送單元、真空輥吸附單元、壓輥轉(zhuǎn)移單元 和廢料剔除單元,其中薄膜進(jìn)給單元用于薄膜的進(jìn)給運(yùn)動并對薄膜進(jìn) 行模切,模切后的薄膜經(jīng)真空輥吸附單元驅(qū)動至壓輥轉(zhuǎn)移單元,模切 后的薄膜在壓輥轉(zhuǎn)移單元中實現(xiàn)與載帶之間的粘著和固定,廢料剔除 單元則根據(jù)工況需要提供多種對廢料的實時檢測和剔除操作。通過本 發(fā)明,各個模塊單元之間相互聯(lián)系,共同協(xié)作,實現(xiàn)對成卷柔性電子 器件逐片的高速檢測轉(zhuǎn)移過程,同時具備運(yùn)動穩(wěn)定性和可靠性好等優(yōu) 點。
華中科技大學(xué)
2021-04-14