寬帶長距離傳輸光接收集成芯片
本項目針對國內高端光電子器件嚴重依賴進口的現狀問題,自主研制Tb/s級以上 PDM-16QAM的硅基大規模陣列集成相干光接收芯片。根據本研究組在硅基集成光電子器件、偏振控制器件、光混頻器等方面的建模仿真、制備測試基礎,依托“先進電子材料與器件”校級平臺的先進半導體加工能力,制備了高偏振消光比的偏振分束器、偏振旋轉器,高相位精度的90度混頻器,大帶寬高響應度的探測器陣列,高效硅基芯片-光纖耦合,以及可調光功率衰減器。 通過本項目的實施,在硅基光接收集成芯片、高端光電子器件及其大規模集成的關鍵技術領域有所突破,建立關鍵工藝技術與器件標準庫,形成硅基光電子器件標準加工工藝流程,實現高端光電子器件的自主制備,改變了我國硅基光電子器件技術無償地向國外轉移的歷史,縮短我國光子集成技術與國際先進水平的差距,提升我國光通信產業的競爭力。部分成果獲得2014年度上海市發明二等獎。
上海交通大學
2021-04-13