硅基懸臂梁耦合間接加熱式未知頻率毫米波相位檢測(cè)器
本發(fā)明的硅基懸臂梁耦合間接加熱式未知頻率毫米波相位檢測(cè)器,結(jié)構(gòu)由懸臂梁耦合結(jié)構(gòu)、功率分配/合成器、間接加熱式微波功率傳感器和開(kāi)關(guān)構(gòu)成。懸臂梁耦合結(jié)構(gòu)上下左右對(duì)稱(chēng),包括兩組懸臂梁,每組懸臂梁由兩個(gè)對(duì)稱(chēng)的懸臂梁構(gòu)成,兩個(gè)懸臂梁之間CPW傳輸線(xiàn)的電長(zhǎng)度在中心頻率35GHz處為λ/4。為實(shí)現(xiàn)未知頻率毫米波相位的檢測(cè),首先進(jìn)行頻率檢測(cè),頻率檢測(cè)通過(guò)利用間接加熱式微波功率傳感器測(cè)量?jī)陕吩谥行念l率35GHz處相位差為90度的耦合信號(hào)的合成功率實(shí)現(xiàn);相位檢測(cè)通過(guò)將兩路相位差為90度的耦合信號(hào)分別同兩路等分后的參考信
東南大學(xué)
2021-04-14