適用于IC裝備工件定位運動臺的仿真系統及其建模方法
本發明公開了一種適用于IC裝備工件定位運動臺的仿真系統及建模方法,該方法包括:獲取運動臺基礎部件的部件模型,將所述部件模型以學科領域進行分類,構建部件級多領域模型庫;選用部件級多領域模型庫中的部件模型,構建功能模塊級模型庫;選用所述功能模塊級模型庫中的模型構建系統級模型;對系統級模型進行檢查,檢查無誤后設定模型參數,以完成運動臺仿真系統的建模。該系統包括部件級多領域模型庫、功能模塊級模型庫、系統級模型、模型編譯及仿真模塊、輸出模塊。上述部件級多領域模型庫、功能模塊級模型庫和系統級模型均在MWorks統一建模環境基于Modelica建模語言進行。本發明適用性強,建模效率高,可有效解決多領域耦合的問題。
華中科技大學
2021-04-14