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一種可調薄膜體聲波諧振器及其制備方法
本發明公開了一種可調薄膜體聲波諧振器及其制備方法，該制 備方法包括步驟 S1：在潔凈的 Si 襯底上制備阻擋層；S2：在阻擋層上 制備布拉格反射柵，布拉格反射柵由不同聲波阻抗薄膜構成；S3：在 布拉格反射柵上依次制備粘附層和底電極；S4：在底電極上制備多層 異質結構，并作為體聲波諧振器的壓電層；多層異質結構由 BST 薄膜、 BZT 薄膜或 BZN 薄膜構成；S5：將多層異質結構進行退火處理后形成 晶化薄膜；S6：在
華中科技大學
2021-04-14
一種多層薄膜微結構自對準制備方法及裝置
本發明公開一種多層薄膜微結構自對準制備方法，通過分隔板將噴頭內腔體縱向分為至少兩個腔室，在各腔室內注入不相溶的高分子溶液，并匯聚于噴頭的噴嘴處；施加高壓靜電場，同時驅使接收板做平面直線運動，在高壓靜電場作用下噴嘴處的溶液變形成泰勒錐，從泰勒錐尖端拉出射流，射流中的多種高分子材料先后沿著接收板運動的方向進行靜電紡絲，形成多層薄膜微結構。本發明還公開一種實現上述方法的裝置，分隔板縱向設于噴嘴內，將噴嘴內腔體分隔為至少左右兩個腔室；在噴嘴端部設有端部蓋板，端部蓋板與噴嘴端部之間設有密封片；噴嘴的側面開有溶
華中科技大學
2021-04-14
一種基于激光加熱固膜的駐極體薄膜制備方法
本發明公開了一種基于激光加熱固膜的駐極體薄膜制備方法， 包括：將導電基材層固定于旋涂、噴涂或者刮涂設備上，并配置適當 的駐極體納米顆粒懸浮液；通過調整旋涂速度、噴涂速度或者刮涂厚 度參數使得駐極體懸浮液均勻覆蓋，然后對駐極體懸浮液的溶劑執行 蒸發處理，由此在導電基材層上形成具備一定厚度的駐極體材料層； 采用激光加熱設備將激光照射到駐極體材料層表面上，由此利用激光 照射產生的熱量使得駐極體納米顆粒融化并相互連接，由此制
華中科技大學
2021-04-14
一種鈣鈦礦薄膜光伏電池及其制備方法
本發明涉及一種鈣鈦礦薄膜光伏電池及其制備方法。所述的鈣鈦礦薄膜光伏電池是由導電透明襯底、 鈣鈦礦吸光層、空穴傳輸層和金屬電極組成的。本發明的優點是：該鈣鈦礦薄膜光伏電池器件結構極其 簡單，省去了傳統的需要高溫燒結的電子傳輸層，也不需要多孔層，鈣鈦礦材料本身既做吸光層也起電 子傳輸作用，所以不需要電子傳輸層。這里的鈣鈦礦材料對光具有非常強的吸收，整個電池也是低溫制 備，不需要高溫燒結等復雜過程，這有效地降低了電池的制作成本。對電池的柔性化和大面積
武漢大學
2021-04-14
用于預測多元拼合靶材制備的薄膜成分的預測方法
一種用于預測多元拼合靶材制備的薄膜成分的預測方法
一、項目分類
顯著效益成果轉化
二、成果簡介
現有物理氣相沉積（PVD）制備多元薄膜材料采用合金靶材作為靶源，生產過程中，薄膜成分的調控范圍受安裝的合金靶材的成分比例的限制。如果預期獲得納微復雜結構的復合薄膜，按照常規技術路線需要上百塊成分連續變化的合金靶材，這顯然是無法實現的。同時，采用合金靶材制備某些多元薄膜時，需要特高純度的或極端成分比例的靶材作為靶源，這類特殊靶材以現有技術難以制造。
為此，本發明研發出一種用于預測多元拼合靶材制備的薄膜成分的預測方法，利用本發明技術有助于新材料的研發和促進半導體器件、切削刀具涂層等高新技術的發展。
武漢理工大學
2022-08-12
一種防腐耐磨鐵基非晶薄膜及其制備方法
本發明公開了一種防腐耐磨鐵基非晶薄膜及其制備方法，其包 括的成分及該成分的原子百分比含量分別為：14.0～22.0at.％Cr，6.0～ 16.0at.％Mo，4.0～7.0at.％B，4.0～20.0at.％C，0.0～3.0at.％W 以及余 量的 Fe。其制備方法包含 S1 制備單一合金靶材；S2 選擇襯底材料， 將襯底表面進行平整化，然后清洗并吹干待用；S3 進行磁控濺射，其 中，背景真空度值不高于 5x10<sup
華中科技大學
2021-04-14
一種多層薄膜微結構自對準制備方法及裝置
本發明公開一種多層薄膜微結構自對準制備方法，通過分隔板 將噴頭內腔體縱向分為至少兩個腔室，在各腔室內注入不相溶的高分 子溶液，并匯聚于噴頭的噴嘴處；施加高壓靜電場，同時驅使接收板 做平面直線運動，在高壓靜電場作用下噴嘴處的溶液變形成泰勒錐， 從泰勒錐尖端拉出射流，射流中的多種高分子材料先后沿著接收板運 動的方向進行靜電紡絲，形成多層薄膜微結構。本發明還公開一種實 現上述方法的裝置，分隔板縱向設于噴嘴內，將噴嘴內腔體分隔為至 少左右兩個腔室；在噴嘴端部設有端部蓋板，端部蓋板與噴嘴端部之 間設有密封片；
華中科技大學
2021-04-14
一種有機-無機復合電致變色薄膜及其制備方法
本發明公開了一種有機-無機復合電致變色薄膜及其制備方法。該薄膜為聚苯胺與三氧化鎢的復合薄膜，其中含有5～80％質量分數的三氧化鎢，薄膜厚度為50～300nm，表面具有納米棒陣列形貌。該制備方法包括：將表面經羥基化處理的ITO玻璃或者ITO/PET基底垂直豎立并固定于反應容器中，將過氧化鎢酸溶液與苯胺溶液的混合溶液倒入其中并攪拌；再加入過硫酸銨溶液，攪拌下進行反應；反應完成后，取出沉積有薄膜的基底并沖洗、干燥而得。本發明制備方法實現了聚苯胺/氧化物在分子層次復合，工藝簡單，成分可方便控制，成本較低，易于實現工業化。制得的薄膜光譜調節范圍大、顏色豐富、響應速度快、循環壽命長，應用范圍廣泛。
浙江大學
2021-04-13
一種雙波段薄膜光探測器及其制備方法
本發明屬于微納制造與光電子器件領域，并公開了一種雙波段 薄膜光探測器，包括基底薄片、第一電極層、第一 WSe2 層、石墨烯 層、第一 MoS2 層、第二電極層、介質層、第二 WSe2 層、第三電極 層、第二 MoS2 層和第四電極層,第一電極層設置在基底薄片上;第一 WSe2 層鋪設在基底薄片和第一電極層上;石墨烯層設置在第一 WSe2 層上;
華中科技大學
2021-04-14
用于富氫氣氛中一氧化碳優先氧化的寬溫催化劑
成果創新點 質子交換膜燃料電池，氫氣純化。 主要技術創新路徑：通過全新的一種催化劑制備方法實現寬 溫催化劑的精準設計：在 SiO2負載的 Pt 金屬納米顆粒表面上精 準構筑出原子級分散 Fe1(OH)x物種，促成新型 Pt-Fe1(OH)x單位點 界面催化活性中心形成，獲得性能最佳的 PtFe/SiO2寬溫催化劑。 關鍵技術指標：獲得的 PtFe/SiO2寬溫催化劑，可以在 198-380 K）溫度區
中國科學技術大學
2021-04-14