一種叉指電容結(jié)構(gòu)的曲率傳感器
本發(fā)明公開了一種基于叉指電容結(jié)構(gòu)的曲率傳感器,包括柔性基板、金屬條以及叉指型結(jié)構(gòu),所述柔性基板上放置叉指型結(jié)構(gòu),金屬條的數(shù)量為兩個,兩個金屬條平行放置在柔性基板上表面兩側(cè),金屬條之間放置相互平行、懸空的叉指型結(jié)構(gòu),當柔性基板貼合在一個曲率的表面上時,彎曲的柔性基板會導致叉指型結(jié)構(gòu)之間的交疊部分發(fā)生改變,使得叉指型結(jié)構(gòu)構(gòu)成的叉指電容發(fā)生變化,通過檢測叉指電容的變化量實現(xiàn)曲率的測量,本發(fā)明突破了傳統(tǒng)檢測原理的思維限制,尋找到了基于MEMS技術的實現(xiàn)方法,靈敏度和體積都有提升。同時還具有結(jié)構(gòu)簡單、設計靈活、易于測量、工藝兼容、成本低等優(yōu)勢。
東南大學
2021-04-11