本發(fā)明公開了一種基于叉指電容結(jié)構(gòu)的曲率傳感器,包括柔性基板、金屬條以及叉指型結(jié)構(gòu),所述柔性基板上放置叉指型結(jié)構(gòu),金屬條的數(shù)量為兩個(gè),兩個(gè)金屬條平行放置在柔性基板上表面兩側(cè),金屬條之間放置相互平行、懸空的叉指型結(jié)構(gòu),當(dāng)柔性基板貼合在一個(gè)曲率的表面上時(shí),彎曲的柔性基板會(huì)導(dǎo)致叉指型結(jié)構(gòu)之間的交疊部分發(fā)生改變,使得叉指型結(jié)構(gòu)構(gòu)成的叉指電容發(fā)生變化,通過(guò)檢測(cè)叉指電容的變化量實(shí)現(xiàn)曲率的測(cè)量,本發(fā)明突破了傳統(tǒng)檢測(cè)原理的思維限制,尋找到了基于MEMS技術(shù)的實(shí)現(xiàn)方法,靈敏度和體積都有提升。同時(shí)還具有結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單、設(shè)計(jì)靈活、易于測(cè)量、工藝兼容、成本低等優(yōu)勢(shì)。
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