一種用于超薄、柔性電子器件轉(zhuǎn)移的裝置、方法和應(yīng)用
本發(fā)明公開了一種用于電子器件轉(zhuǎn)移的裝置,包括:上電極層 和下電極層,其對置間隔布置,通電后在兩者之間可產(chǎn)生電場;粘性 層,其固結(jié)在下電極層的下表面;還包括設(shè)置在上電極層和下電極層 之間的電活性層,其可在兩電極層通電而產(chǎn)生的電場作用下被擠壓而 產(chǎn)生縱向以及橫向的變形,該變形驅(qū)動(dòng)電極層和粘性層產(chǎn)生變形,從 而產(chǎn)生剪力和/或者凹凸頂起力,使其被脫粘并放置于受體基板上。本 發(fā)明還公開了利用上述裝置進(jìn)行電子器件轉(zhuǎn)移的方法及其應(yīng)用。本發(fā) 明可實(shí)現(xiàn)電子器件主動(dòng)放置,裝置結(jié)構(gòu)簡單,具有快速、可靠,容易 控制等優(yōu)點(diǎn);
華中科技大學(xué)
2021-04-14