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本發(fā)明公開了一種多頂針芯片剝離裝置，包括多頂針主體機(jī)構(gòu)， 安裝于 Z 向升降機(jī)構(gòu)上并連接旋轉(zhuǎn)驅(qū)動機(jī)構(gòu)，其包括中心頂針和外圈 頂針，外圈頂針先接觸藍(lán)膜上芯片的外緣實現(xiàn)預(yù)頂松，然后中心頂針 上升至外圈頂針等高并協(xié)作頂起芯片，完成芯片剝離；旋轉(zhuǎn)驅(qū)動機(jī)構(gòu)， 連接多頂針主體機(jī)構(gòu)，用于先后驅(qū)動外圈頂針和中心頂針上升以完成 芯片頂起動作；Z 向升降機(jī)構(gòu)，安裝于三自由度微調(diào)對準(zhǔn)機(jī)構(gòu)上，停 機(jī)狀態(tài)時其處于下降位置，工作狀態(tài)其處于抬升位置，為頂起芯片做 好準(zhǔn)備；三自由度微調(diào)對準(zhǔn)機(jī)構(gòu)，用于對多頂針主體機(jī)構(gòu)進(jìn)行 X、Y 和 Z 向的微調(diào)。本發(fā)明可實現(xiàn)頂針的快捷更換以及各頂針高度的方便 調(diào)節(jié)，芯片受力均勻，有效減少剝離過程中的芯片失效。 

本發(fā)明公開了一種超薄芯片的制備方法，具體為：首先在硅晶圓表面光刻形成掩膜以暴露出需要減薄的區(qū)域，再采用刻蝕工藝對硅晶圓進(jìn)行局部減薄，對減薄后的區(qū)域進(jìn)行芯片后續(xù)工藝處理得到芯片，最后將芯片與硅晶圓分離。本發(fā)明只是部分減薄了硅片，所以硅晶圓的機(jī)械強(qiáng)度仍然可以支持硅片進(jìn)行后續(xù)的加工工藝，相對于傳統(tǒng)的利用支撐基底來減薄芯片的方法，簡化了工藝流程，降低了工藝成本。另外由于不需要用機(jī)械研磨工藝來進(jìn)行減薄，所以不會因為機(jī)械研磨對硅晶圓造成的輕微震動而使厚度不能減得過小，通過本發(fā)明可以使芯片減薄到比機(jī)械研磨方法更薄的程度。

成果描述：采用微乳液膜捕集鎂、鐵、鋁和氟雜質(zhì)，以達(dá)到工業(yè)級標(biāo)準(zhǔn)或提高磷酸到正常使用標(biāo)準(zhǔn)，不需要對磷酸進(jìn)行濃縮，可適應(yīng)20-40%的濕法磷酸。脫雜凈化實驗已經(jīng)中試，現(xiàn)正優(yōu)化過程中。然后在此基礎(chǔ)上采用復(fù)合鈉濾膜實現(xiàn)深度凈化，實現(xiàn)梯級利用，達(dá)到食品級和準(zhǔn)電子級產(chǎn)品。可根據(jù)不同使用的情況制定磷酸凈化標(biāo)準(zhǔn)，相關(guān)指標(biāo)與國家熱法磷酸標(biāo)準(zhǔn)相當(dāng)。市場前景分析：可用根據(jù)不同的使用目的將磷酸凈化到不同的程度，使生產(chǎn)多樣化，成本更低。可用于精細(xì)磷化學(xué)品的生產(chǎn)，如五鈉，飼料磷酸鹽，阻燃劑等。與同類成果相比的優(yōu)勢分析：國際領(lǐng)先

納米石材微晶玉石微晶玉石又稱微晶玻璃、晶化石、玉晶石。它是以傳統(tǒng)原材料為基礎(chǔ)，加入特殊化工原料，經(jīng)熔窯熔制、水淬、晶化窯燒結(jié)、磨拋切割，而形成的一種高檔人造納米級石材。微晶玉石是一種新型綠色環(huán)保材料。它具有板面平整潔凈、色調(diào)均勻一致、紋理清晰雅致、光澤柔和晶瑩、色彩絢麗璀璨、不吸水防污染、耐酸堿抗風(fēng)化、綠色環(huán)保、無放射性毒害等優(yōu)良特質(zhì)。01 玉石型微晶玻璃02 花崗巖型微晶玻璃板03 大理石型微晶玻璃板04 玉石型微晶玻璃板05 玉石工藝屏風(fēng)06 玉石棋盤07 防腐耐磨板08 泡沫微晶玻璃09 微晶玻璃閥門、管道10 家庭裝飾用玉石板材特點(diǎn)不含有對人體有害的有機(jī)物。原材料來源廣泛，成本低廉。可加工切削，用于裝飾材料、禮品定制、管路及構(gòu)件等應(yīng)用。具有廣闊的市場前景和巨大的經(jīng)濟(jì)效益和社會效益。

1 成果簡介原料油脂費(fèi)用占生物柴油生產(chǎn)成本的 80％以上，目前原料油脂價格高居不下并不斷上漲，制約了生物柴油產(chǎn)業(yè)化和商業(yè)化。國內(nèi)外生產(chǎn)生物柴油的主要原料是大豆油、菜籽油、花生油、棕櫚油、地溝油等。它們與農(nóng)業(yè)爭地，與食品及飼料爭原料，單位生物量的產(chǎn)油率低，生產(chǎn)周期長，消耗大量的水資源、化肥和能源。 清華大學(xué)發(fā)明了微藻異養(yǎng)發(fā)酵生產(chǎn)生物柴油的新技術(shù)，其技術(shù)特征在于：通過對一種特別藻株特殊品系的篩選和代謝途徑的改變，Chlorella protothecoides 0710 strain 由光合自養(yǎng)轉(zhuǎn)變?yōu)榛墚愷B(yǎng)，細(xì)胞由綠變黃，生長繁殖更快，油脂含量提高 3－4 倍，達(dá)細(xì)胞干重的 61％以上。又將工業(yè)界成熟的發(fā)酵技術(shù)應(yīng)用于高油脂異養(yǎng)微藻的生產(chǎn)，進(jìn)一步提高發(fā)酵規(guī)模和細(xì)胞密度，現(xiàn)細(xì)胞發(fā)酵密度超過了 100 g/L，獲取了大量異養(yǎng)干藻粉后提取油脂，經(jīng)轉(zhuǎn)酯化反應(yīng)生成了高質(zhì)量的生物柴油。 該技術(shù)的創(chuàng)新點(diǎn)： （ 1）發(fā)明了微藻異養(yǎng)發(fā)酵生產(chǎn)生物柴油新技術(shù)，打通了以糖、淀粉、有機(jī)廢水、二氧圖1 吉化工程新型塔及常規(guī)塔運(yùn)行外觀 圖2 慶陽石化工程新型塔（ 左側(cè)） 及常規(guī)塔（ 右側(cè)）運(yùn)行外觀化碳等為原料、工業(yè)自動化條件下高效生產(chǎn)生物柴油的新途徑； （ 2）異養(yǎng)藻細(xì)胞發(fā)酵產(chǎn)量和油脂含量不斷創(chuàng)造新高（ 細(xì)胞干重 100 g/L，含油量 60％），提高了該技術(shù)工業(yè)化生產(chǎn)的經(jīng)濟(jì)性。 （ 3）在發(fā)酵前引入利用 CO2和光合作用來減少糖或淀粉的消耗，降低成本同時減少溫室氣體的排放。該技術(shù)獲 3 項國家發(fā)明專利和 2007 年全國發(fā)明大會獎。2 應(yīng)用說明應(yīng)用目標(biāo)：與有實力的企業(yè)界合作，在工業(yè)化規(guī)模上進(jìn)一步降低微藻發(fā)酵過程的成本，實現(xiàn)該技術(shù)的商業(yè)化運(yùn)作。 主要生產(chǎn)原料為以下 4 類之一：（ 1）二氧化碳；（ 2）甜高粱、甘蔗等糖質(zhì)原料；（ 3）或木薯、玉米等淀粉質(zhì)原料；（ 4）或含糖有機(jī)廢水等。 生產(chǎn)設(shè)備：微藻培養(yǎng)池、光生物反應(yīng)器、工業(yè)發(fā)酵設(shè)備及廠房為主。 生產(chǎn)消耗：電能、蒸汽等（無污染等環(huán)境問題）。 產(chǎn)品應(yīng)用：微藻生物柴油質(zhì)量好，應(yīng)用范圍與目前市場上銷售的柴油完全相同。 投資風(fēng)險：本技術(shù)創(chuàng)新性強(qiáng)，沒有前人的實踐、范例和經(jīng)驗；通過工業(yè)化和規(guī)模化來實現(xiàn)進(jìn)一步降低成本的目標(biāo)；高技術(shù)、高投入、預(yù)期高回報的同時也存在投資風(fēng)險。  圖 1 流程圖3 應(yīng)用說明中國境內(nèi)的生物柴油能源市場等。4 效益分析全世界油脂價格和液體燃料價格瘋狂上漲，對世界經(jīng)濟(jì)、政治和國家安全等產(chǎn)生重大影響。實現(xiàn)本技術(shù)商業(yè)化運(yùn)作的經(jīng)濟(jì)效益和社會效益巨大。5 合作方式雙方共同合作，在工業(yè)化規(guī)模上進(jìn)一步降低微藻發(fā)酵過程的成本，實現(xiàn)該技術(shù)的商業(yè)化運(yùn)作。6 所屬行業(yè)領(lǐng)域能源環(huán)境。

技術(shù)較為成熟，包括三個層次:理論研究已經(jīng)完備成體系;核心算法開發(fā)完畢; 開發(fā)有實用的軟件界面程序。該技術(shù)由王建學(xué)教授團(tuán)隊開發(fā)和維護(hù)，在微網(wǎng)研究 上具有多年積累，發(fā)表了多篇國際頂級期刊文章，軟件正在不斷完善中。

 高志良教授團(tuán)隊與雙聘教授鄺棟明教授團(tuán)隊合作，在“十三五”國家科技重大專項和國家自然科學(xué)基金重點(diǎn)項目等基金的支持下，發(fā)現(xiàn)了PD-L1+肝癌免疫微環(huán)境存在高度的異質(zhì)性。研究證實巨噬細(xì)胞和T細(xì)胞釋放的炎性介質(zhì)均參與了PD-L1+肝癌形成，但巨噬細(xì)胞同時賦予了PD-L1+肝癌可抵抗傳統(tǒng)化療、T細(xì)胞殺傷和免疫檢查點(diǎn)治療的特征。聯(lián)合免疫檢查點(diǎn)治療和巨噬細(xì)胞功能調(diào)控有望成為新型的肝癌治療策略。同時，上述主體研究結(jié)論同時在多種人類腫瘤中得到驗證。

此專利產(chǎn)品是針對小型供水系統(tǒng)開發(fā)的一體化凈水設(shè)備，是傳統(tǒng)一體化凈水設(shè)備的 改進(jìn)和更新?lián)Q代產(chǎn)品，亦可用于中水回用工程。原水投加絮凝劑后依次進(jìn)入凈水器的凝 聚層、絮凝層和過濾層，歷時 10～15 分鐘，完成絮凝反應(yīng)、沉淀和過濾過程，出水濁 度達(dá)到 0.5NTU 以下，超過國家標(biāo)準(zhǔn)要求。主要特性如下： 1.采用特制異型塑料顆粒材料，快速完成凝聚反應(yīng)； 2.采用特制高效陶粒材料，吸污和含污能力強(qiáng)、絮凝效率高； 3.雙濾板結(jié)構(gòu)，分層小膨脹反洗，不亂層，反洗效果好，耗水少； 4.利用巨大的吸附表面積，除有機(jī)物等較傳統(tǒng)工藝比率高； 5.安裝簡便，全自動控制運(yùn)行。

研發(fā)的電外科器械適應(yīng)于腔鏡微創(chuàng)手術(shù)，具有主體直徑小、多自由度、防粘連、絕緣絕熱封裝的優(yōu)點(diǎn)，基于輸出功率精確可調(diào)技術(shù)實現(xiàn)對組織的精確切割，使周圍健康組織的損傷降到最低限度，達(dá)到切割速度快、止血效果好的目的，并實現(xiàn)閉環(huán)能量反饋控制新技術(shù)，可用于血管結(jié)扎和組織縫合。所研制的電外科管腔組織閉合器，能夠?qū)崿F(xiàn)功率自適應(yīng)輸出、閉合血管、淋巴管等管腔組織。

以化痰理氣為治則，以《金匱要略》半夏厚樸湯古方加減而成藥，將原藥材納米粉碎技術(shù)后作為口服制劑用于治療慢性咽炎。