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集成電路產業需要大量高端薄膜生長設備，上個世紀80年代，MBE作為一種尖端技術，國外就對中國進行了技術封鎖，禁運中國。甚至在今天，MBE仍然屬于美國對中國出口的管制類產品，每一臺都要經過復雜的審批過程。

眾所周知，化學藥物和有機消毒劑的大量使用極易導致細菌和病毒的變異，并造成嚴重的后果，如0-157大腸桿菌、瘋牛病、SARS、禽流感等微生物事件的發生，使人們對生態環境和微生物環境的惡化給地球和人類健康帶來的危險表示擔憂，安全無毒的無機抗菌材料已成為人們的迫切需要。本項目的任務是：利用具有自主知識產權的氧化鋅晶須（簡寫為：ZnOw）制備技術，并在前期研究工作的基礎上，對ZnOw、納米材料進行抗菌活性處理，將ZnOw與多種納米材料復合，制備一種安全、持久、高效、廣譜的抗菌殺菌材料。

"專門針對實驗室對小樣品的生長需求，設計小型緊湊的生長腔室、樣品臺，同時降低購買價格與運行成本。 ? 緊湊的生長腔室 （內徑 ~ 300 mm）：內表面積小，更容易實現超高真空，整體占地面積不到1㎡。 ? 電子束加熱的小樣品臺：定向加熱，降低了傳統燈絲熱輻射加熱的耗散，保證了較低的環境溫度，對真空有利。同時加熱速率很快。 ? 30多個標準法蘭接口：可擴展性好。 ? 小樣品托（18 *12 mm）：剛好適合10 mm左右樣品，同時兼容ARPES，STM等標準樣品托。"

1、制備設備技術先進： 多弧離子鍍設備加裝脈沖磁控后實現了對等離子體的約束與控制，從而制 備的涂層物理性能更好，并實現了 Ti/TiNX/TiC1-xNx/TiC、 Cr/ CrNX/ CrC1-xNx/ CrC 薄膜顏色可調，實驗證明此工藝制備的涂層表面更加光潔、硬度更大，效 率更高。脈沖電源、磁系統和 PLC 控制系統均為課題組自行開發，具有設備技 術創新，此項工作在國內領先。 2. 涂層設計理念合理 用脈沖磁控多弧離子鍍制備 Ti/TiNX/TiN、Ti/TiNX/TiC1-xNx/TiC、Cr/Cr NX/ CrC1-xNx/ CrC、Cr/CrN/CrAlSiN 梯度復合薄膜。本方案通過優化膜系和制備工 藝參數，可以有效緩解應力，提高涂層在基底上的附著力，此項研究具有薄膜 材料設計創新，具有國內先進水平。由于梯度復合薄膜制備參數變化多，工藝 參數實現了 PLC 控制，生產效率和重復性大大提高。 3. 綠色環保無污染 由于真空鍍膜工藝無污染，且制備的薄膜質量好，此工藝代替高污染的電 鍍工藝，是綠色環保產業，符合國家提倡主導的產業發展方向 4. 制備開發 DLC 薄膜 利用線性離子源發電技術制備了 DLC（Diamond like carbon）薄膜，此薄 膜制備工藝國內領先，具有沉積溫度低、薄膜質量好特點，可用于醫療器械和 各種機械配件鍍膜等，其制備方法重復性好、襯底溫度低等特點。

產品詳細介紹南京金牛高速分析儀器有限公司專業制造各類鋼鐵成分分析儀器,鑄造生鐵化驗儀,球鐵分析儀器,有色金屬分析儀器，多元素分析儀器，高頻紅外碳硫分析儀器，電腦碳硫分析儀，三元素分析儀，五大元素分析儀等高速分析儀器，產品高、中、低檔齊全。可測定工業材料中碳、硫、錳、磷、硅、鎳、鉻、鉬、銅、鈦、稀土總量、鎂等元素。儀器測量范圍廣、精度高， ISO9001：2000質量管理體系認證企業，是南京市計量監督檢測院“抽檢合格企業”，被評為“南京市重合同守信用企業”， “金牛”商標被評為“南京市著名商標”，產品榮獲“南京市名牌產品”稱號。主要技術指標：測量范圍：碳：0.02％～12.8％（需改變稱樣量）  硫：0.001％～3.00％測量時間：碳硫45秒左右（不含稱樣、取樣時間）分析方法：光電比色分析法量程范圍：吸光度值0～1.999A、濃度值0～99.99％測量精度：符合GB/T223.69-97  GB/T223.68-97   GB223.3－5.88標準可測元素：碳、硫、錳、磷、硅、鎳、鉬、鉻、鈦、銅、鉛、鋅、鐵、鋁、鎂、稀土、鈮、釩等元素的分析 電源電壓：220V±10％　50Hz碳硫分析儀主要特點：氣體容量法測碳（液體吸收，可長期使用，不需更換）、碘量法定硫；碳硫檢測均全自動檢測；進口精密傳感器檢測數據，測量結果液晶屏顯示，測試報告自動打印；標樣參數掉電自動保存，隨時調用，采用19264大屏幕藍底LCD顯示，顯示直觀，顯示內容豐富；采用高性能單片機控制，CPLD技術，抗干擾能力強，可靠性高，全部功能單鍵操作，方便快捷；連接電子天平可進行不定量稱樣，提高了分析檢測速度；可選擇鋼鐵，一次，二次吸收，具有日期打印功能。操作簡單，維護方便，快捷。元素分析儀主要特點：零點、滿度均可自動跟蹤，無需準確調整，直讀吸光度或百分比含量，自動打印結果，包括爐號、日期、濃度百分含量；采用單片機控制電路，可儲存15條曲線；采用精密觸摸式鍵盤，32鍵音響提示，操作簡單、適用、穩定性好；更換不同的冷光源或濾光片，可擴大測量元素的種類和含量范圍；采用先進的光電轉換技術，適用于各種金屬材料化驗。金牛儀器服務承諾：1、所售化驗儀器三包一年，終身服務，產品售后服務熱線電話24小時開通，定期回訪客戶； 2、免費為客戶安裝、調試、代辦托運化驗儀器 ；3、免費培訓化驗人員，現場培訓或來公司培訓均可；4、提供材料分析工藝，代辦化驗儀器配套理化檢測設備和配件；協助籌建化驗室 5、常年提供化驗儀器所需各種配件(特制硅鉬粉、純錫粒、各種標準物質、玻璃器皿、分析天平、添加劑等儀器所需的各種配件)。http://www.jnfxyq.com

一種用于預測多元拼合靶材制備的薄膜成分的預測方法 一、項目分類 顯著效益成果轉化 二、成果簡介 現有物理氣相沉積（PVD）制備多元薄膜材料采用合金靶材作為靶源，生產過程中，薄膜成分的調控范圍受安裝的合金靶材的成分比例的限制。如果預期獲得納微復雜結構的復合薄膜，按照常規技術路線需要上百塊成分連續變化的合金靶材，這顯然是無法實現的。同時，采用合金靶材制備某些多元薄膜時，需要特高純度的或極端成分比例的靶材作為靶源，這類特殊靶材以現有技術難以制造。 為此，本發明研發出一種用于預測多元拼合靶材制備的薄膜成分的預測方法，利用本發明技術有助于新材料的研發和促進半導體器件、切削刀具涂層等高新技術的發展。

銅銦鎵硒CIGS是由銅、銦、鎵、硒等金屬元素組成的直接帶隙化合物半導體材料，其對可見光的吸收系數為所有薄膜電池材料中最高(104-105cm-1)。目前CIGS電池的光電轉化效率是各種薄膜太陽能電池之首(19.9％)，接近于市場主流產品晶體硅太陽能電池轉換效率，而成本卻是其1/3。與高效率高成本的晶體硅太陽能電池和低效率低成本的非晶硅薄膜太陽能電池相比，CIGS薄膜太陽能電池以其性能穩定、抗輻射能力強、光電轉換效率高等優勢被國際上稱為相當具有潛力和下一代廉價的太陽能電池，已成為光伏領域

根據多層膜光學干涉的原理，當光線照射到薄膜，在進入各膜層時由于各膜層的光 學性質不一樣使得有些光相干相長，有些光相干相消，隨著觀察者視角的變化薄膜呈現 不同的顏色。早在 1973 年加拿大國家研究院的 J.A.Dob-railski 等人就預見了變色薄 膜在防偽領域中的應用前景，并于 1987 年首次應用于 50 圓的貨幣上。稍后美國人也研 制出有金色變到綠色的全介質變色薄膜。再以后又有人與瑞士 SICPA 公司合作將變色薄 膜作為顏料摻入到油墨中，研制成光變色油墨。現在許多國家的護照、簽證和貨幣上都 用上了光變色油墨。 光變色薄膜的光變色功能來自于多層膜的復合特性，光變色效果與組成該薄膜的各 膜層的材料性質、厚度以及膜層之間的組合有關。薄膜多采用金屬膜與金屬氧化物介質 組合，用物理方法（如熱蒸發、電子束或離子鍍、磁控濺射等）鍍制薄膜。金屬氧化物 介質膜用物理方法鍍制質量控制比較困難，效率低，成本也比較高。同濟大學課題組用 氣凝膠或有機材料替代金屬氧化物，材料性能穩定，可進行大面積快速涂膜，效率大大 提高，成本也很低。