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半導體輔材用多晶硅中碳、氮雜質(zhì)的分離去除技術
伴隨著我國半導體行業(yè)的迅速崛起，硅電極作為光刻設備上承載硅基圓的重要輔材，其需求日趨增加。同時，基圓尺寸的不斷增加使得硅電極逐漸由單晶硅電極轉變?yōu)槎嗑Ч桦姌O，然而多晶硅制備過程中不可避免存在C、N雜質(zhì)的污染，導致其基體中存在大量彌散分布的SiC、Si3N4硬質(zhì)顆粒夾雜，嚴重影響了多晶硅電極的使用性能。
傳統(tǒng)制備技術下，設備熱場結構單一，熔體流動性差，導致SiC、Si3N4雜質(zhì)循環(huán)溶解—析出，難以有效分離。本項目團隊前期利用電子束精煉技術去除硅中的蒸發(fā)性雜質(zhì)（P、 O、N）；利用電子束誘導實現(xiàn)多晶硅的定向凝固，進而分離硅中的金屬雜質(zhì)；基于電子束冷床效應分離硅中的SiC、Si3N4硬質(zhì)顆粒，并揭示硬質(zhì)顆粒與硅基體間的位相關系；基于上述研究開發(fā)出了多晶硅電極的制備工藝，可應用于刻蝕等半導體制造等領域。
本項目預期可以為半導體行業(yè)中硅電極生產(chǎn)制造企業(yè)提供穩(wěn)定的技術支持，具有很好的生產(chǎn)示范性，實現(xiàn)高新技術產(chǎn)業(yè)化。該技術能夠有效地降低生產(chǎn)過程中的能耗，是一種低成本、環(huán)境友好的生產(chǎn)方法，屬于節(jié)能、環(huán)保的綠色制造技術。該技術的大規(guī)模應用和推廣，可大幅增加就業(yè)崗位，提高企業(yè)的市場競爭力，保護環(huán)境。
大連理工大學
2021-05-10
用太陽能多晶硅切割廢料制備太陽能級多晶硅項目
隨著光伏產(chǎn)業(yè)的高速的發(fā)展，硅錠切割產(chǎn)生的切割廢料也將出現(xiàn)井噴式的增長。僅2012年一年，我國就用了23萬噸的多晶硅，產(chǎn)生了近25萬噸的粒度≤5mm的二次切割廢料(SiC和Si)，回收廠家院內(nèi)廢料堆積如山，粉塵飛揚，環(huán)境惡劣。而粒度≤5mm的二次切割廢料(SiC和Si)中的SiC和晶體Si粉都是通過高能耗、高成本制備出來的，所以如能將這些廢料得以回收利用，不僅減少了環(huán)境污染，也會產(chǎn)生出巨大的經(jīng)濟效益。特別是如能將二次廢料中價值最高的晶體硅粉得以回收并再用于制造太陽能多晶硅，這對我國減少多晶硅的進口是有重要意義的，所以說，從晶體硅切割廢料中回收多晶硅是今后一個重要的發(fā)展方向。 （1）本項目可從多晶硅切割廢料中提取出太陽能級多晶硅，其技術含量高、生產(chǎn)成本低、能耗小。生產(chǎn)的多晶硅可以替代國外進口產(chǎn)品，減少我國多晶硅的進口量，這對降低光伏能源成本，實現(xiàn)光伏能源的普及有重要意義。 (2) 本項目同時生產(chǎn)的副產(chǎn)品碳化硅制品的最大特點耐高溫和耐磨性等性能遠好于同類產(chǎn)品，且價格遠優(yōu)于國內(nèi)同類產(chǎn)品，因此該副產(chǎn)品有著廣闊的市場前景，市場競爭力強。該副產(chǎn)品作為耐火材料可廣泛應用于冶金、陶瓷、能源、化工等行業(yè)。如鋼鐵廠高爐的爐窯內(nèi)襯和鋼包內(nèi)襯、電解鋁廠鋁電解槽的側部、火法煉鋅的罐體的內(nèi)襯等；如陶瓷行業(yè)所用窯爐內(nèi)所用的窯板和棚板等。 (3) 產(chǎn)品附加值高：由于本項目所用原料主要是來源于光伏行業(yè)產(chǎn)生的切割廢料，原料的來源豐富且價格便宜，產(chǎn)品的科技含量高，生產(chǎn)成本低，故產(chǎn)品的附加值高。本項目擁有CN103086378A, CN101941699A, CN102275925A, CN102241399A, CN101724902A, CN101671022B等多項專利。
東北大學
2021-04-11
多晶硅鑄錠爐的隔熱塊及包括該隔熱塊的多晶硅鑄錠爐
本發(fā)明公開了一種用于多晶硅鑄錠爐的隔熱塊，設置在多晶硅鑄錠爐的坩堝底部外周，用于坩堝加熱或冷卻多晶硅過程中的隔熱保溫，該隔熱塊為中空方形筒體結構，筒體筒壁為中空夾層結構，其中內(nèi)壁用于包覆設置在坩堝底部的熱交換塊外周壁面，且該內(nèi)壁與所述熱交換塊外周壁面具有間隙，所述外壁用于與設置在坩堝外圍的豎直隔熱板固定接觸，所述坩堝中心線、熱交換塊中心線以及隔熱塊中心線重合，且所述隔熱塊頂部低于熱交換塊頂部。本發(fā)明還公開了具有
華中科技大學
2021-04-14
多晶硅太陽能光伏電池成套設備
該項目針對多晶硅太陽能光伏電池成套設備中太陽能光伏電池絲網(wǎng)印刷、自動光學檢測系統(tǒng)、燒結系統(tǒng)、自動分揀系統(tǒng)等高端設備進行研發(fā)和產(chǎn)業(yè)化，形成了晶硅太陽能光伏電池生產(chǎn)線和成套設備的產(chǎn)業(yè)化生產(chǎn)能力，打破了國外相關高端設備的壟斷局面，為我省相關產(chǎn)業(yè)的良性發(fā)展提供技術支撐。該成套設備具有完全自主知識產(chǎn)權,聯(lián)合體已擁有發(fā)明專利8件,實用新型專利21件。 該項目的特色與創(chuàng)新之處主要體現(xiàn)在如下幾個方面：1）基于視覺的高速精密定位理論與技術；2）有效降低破損率的高速、高精度印刷技術；3）均勻熱場形成技術
華南理工大學
2021-04-14
多晶硅生產(chǎn)冷氫化工藝加熱合成反應關鍵技術裝備
實現(xiàn)多晶硅生產(chǎn)冷氫化工藝過程工程化的關鍵加熱系統(tǒng)裝置；降低成本40%，減少能耗2/3。8000小時以上無故障穩(wěn)定運行加熱合成反應器關鍵技術。
常州大學
2021-04-14
多晶硅真空感應熔煉除磷連續(xù)化生產(chǎn)關鍵技術及其產(chǎn)業(yè)化
低成本冶金法生產(chǎn)太陽能級多晶硅的技術瓶頸是無法實現(xiàn)真空感應熔煉的連續(xù)化生產(chǎn)，因此無法實現(xiàn)規(guī)模化量產(chǎn)。因此，本團隊開展“低成本太陽能級多晶硅真空除磷連續(xù)化生產(chǎn)關鍵技術及其產(chǎn)業(yè)化”的研究，重點要解決太陽能級多晶硅真空感應熔煉除磷的連續(xù)化生產(chǎn)關鍵技術，徹底突破低成本冶金法生產(chǎn)太陽能級多晶硅的關鍵工藝技術瓶頸。
廈門大學
2021-04-11
高容量、低成本鋰離子電池用硅-碳負極材料
新能源汽車的迅猛發(fā)展，為動力電池產(chǎn)業(yè)提供了萬億級的市場容量，到 2020 年底，城市公交、出租車及城市配送等領域新能源車保有量達 60 萬輛。目前使 用的石墨類伏擊材料容量低，無法滿足高能量密度的需求。該項目通過為動力電 池廠商提供高性能硅碳負極及其他負極材料，以提高純電動汽車的續(xù)航里程 2 倍以上。硅負極材料具有極高的理論容量(~4200 mAh/g)，其容量是現(xiàn)有商業(yè)化 的石墨負極的 10 多倍。但其充放電過程中產(chǎn)生的大體積膨脹(~400%)會嚴重影響 其循環(huán)壽命。我們團隊經(jīng)過數(shù)年研究，提出“清矽硅碳”使普通微米硅粉進行包 覆“均勻+可控”功能層的工藝過程實現(xiàn)“性能+成本”的最優(yōu)產(chǎn)業(yè)升級。美國能 源部高度評價了該項研究成果（2015 年僅有 2 項研究成果受此殊榮）。
西安交通大學
2021-04-10
氮摻雜碳中空微球在燃料電池陰極中的應用
成果介紹項目采用氮摻雜碳中空球為直接甲醇燃料電池陰極材料，構建了直接甲醇燃料電池器件，提高燃料電池的比能量、比功率、循環(huán)壽命。技術創(chuàng)新點及參數(shù)采用無模板法控制合成氮摻雜碳中，空球?qū)崿F(xiàn)分子水平上對材料構筑過程及對該含氮多孔材料結構、組成及其對氧還原催化活性的有效調(diào)控。市場前景在當前環(huán)境下，尋找新型高效的催化劑以降低貴金屬鉑的用量，并對氧還原反應保持較高的催化活性，已成為當前研究的一個重要課題，該項目未來社會意義和經(jīng)濟意義重大。
東南大學
2021-04-13
新型硅碳復合負極材料
負極材料是鋰離子電池的主要組成部分，起鋰離子存儲作用。負極材料的性能直接決定鋰離子電池倍率性能和循環(huán)性能。目前商用化的負極材料主要為石墨，受到理論比容量的限制，石墨材料已無法滿足鋰離子電池能量密度的持續(xù)發(fā)展。硅材料由于其高儲鋰容量、適中的對鋰電位等性能優(yōu)勢和資源豐富、成本低等商業(yè)優(yōu)勢，受到鋰電行業(yè)追捧。經(jīng)過長期的開發(fā)，硅負極已部分應用到高能量電池負極中。目前鋰電行業(yè)中，硅材料主要以較小比例（~5%）硅負極與碳復合后，再與石墨混合使用，貢獻較低，且循環(huán)性能差，未能全
廈門大學
2021-01-12
爐前碳硅分析儀
產(chǎn)品詳細介紹 南京固琦分析儀器制造有限公司專業(yè)制造各類爐前碳硅分析儀，爐前快速分析儀器，碳硅分析設備，爐前碳硫分析儀，爐前碳硫化驗儀，爐前碳硫分析儀器，光譜分析儀，光譜儀，金屬光譜分析儀，分光光度計，紫外分光光度計,鋼管分析儀器，鋼管成分分析儀器，鋼管材質(zhì)分析儀器，鋼管化驗儀器，壓力容器材質(zhì)檢測儀器，鍋爐鋼板分析儀 ，船用鋼板分析儀,機械加工分析儀器，閥門化驗儀器，閥門分析儀，煉鋼設備，煉鐵設備，金相分析儀器，電力設備分析儀, 螢石主成分分析設備,元素分析儀，金屬分析儀器，鋁合金分析儀，礦石化驗儀器，礦石分析儀，鋁合金化驗儀器,碳硫高速分析儀、多元素分析儀，生鐵分析儀器，鑄造化驗儀器，黑色金屬分析儀器，爐前鐵水分析化驗儀，金屬材料化驗儀器，可測定工業(yè)材料中碳、硫、錳、磷、硅、鎳、鉻、鉬、銅、鈦、鋅、釩、鎂、稀素的含量土等元素。儀器測量范圍廣、精度高，高、中、低檔齊全，并能接受用戶特殊定貨。廣泛應用于鋼鐵分析儀器、冶金化驗儀器、鑄造化驗設備、機械分析儀器，化工分析儀器、礦山開發(fā)設備等行業(yè)及質(zhì)量監(jiān)督部門和大專院校。(http://www.gqfxy.com) 025-57357222 13851978239)
南京固琦分析儀器制造有限公司
2021-08-23