一種具有安全頂針的芯片剝離裝置
本發(fā)明公開了一種具有安全頂針的芯片剝離裝置,可以用于FlipChip 等 IC 封裝工藝中芯片與粘晶膜的剝離。粘晶膜置于該套筒一端端面上,待剝離的芯片粘接在所述粘晶膜上;頂針設置在套筒內(nèi),用于在驅(qū)動裝置驅(qū)動下頂起芯片以與粘晶膜剝離;調(diào)節(jié)機構(gòu)設置在套筒內(nèi),用于夾持頂針,并調(diào)整頂針有效受壓長度,以調(diào)整其歐拉臨界載荷;其中頂針為一種安全頂針,能保護半導體芯片不受損傷,其具有預設屈曲特性,即達到預設的額定頂起力時,該頂針發(fā)生屈曲,所述額定頂起力的值介于芯片剝離力和芯片損傷力之間。本發(fā)明的芯片剝離裝置可以與傳
華中科技大學
2021-01-12