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一種 MEMS 陀螺儀芯片雙面陽極鍵合工藝
本發明提出這樣一種陽極鍵合工藝方法：將 MEMS 陀螺儀器件層沉積到臨時高分子襯底上，完成金屬電極沉積和 MEMS 結構刻蝕之后，將臨時高分子襯底用化學機械拋光的方法去除。去除之后，將玻璃基體和玻璃蓋帽分別緊貼 MEMS 結構的兩側，加電加熱后一次完成雙面陽極鍵合。這種工藝方法與傳統的兩次陽極鍵合分兩步進行相比，更加節省成本，而且避免了第二次陽極鍵合對第一次陽極鍵合強度削弱這個固有缺點，使得產品可靠性提高。
華中科技大學
2021-04-14
一種基于位移差分的 MEMS 重力梯度儀
本發明公開了一種基于位移差分的 MEMS 重力梯度儀。包括第一振子單元和第二振子單元；前者包括第一外圍框架和與第一外圍框架通過第一組梁連接的第一檢驗質量，后者包括第二外圍框架和與第二外圍框架通過第二組梁連接的第二檢驗質量，第一組梁和第一檢驗質量構成第一機械振子，第二組梁和第二檢驗質量構成第二機械振子，第一振子單元和第二振子單元相向正對設置，第一機械振子和第二機械振子的敏感軸位于同一直線上，第一檢驗質量上的電容陣列與第二檢驗質量上的電容陣列構成位移檢測電容，通過位移檢測電容測得檢驗質量的位移差進而得到
華中科技大學
2021-04-14
基于IP庫的通用MEMS器件可視化仿真與驗證工具
“虛擬工藝”軟件可由標準工藝流程文件和掩膜版圖文件，模擬出所要加工的MEMS器件的真實三維結構，具有良好的通用性和精度。下圖為自主開發的“虛擬工藝”軟件生成的微夾鉗三維結構。 “虛擬運行”軟件對器件的運動情況進行仿真，并與最初設計方案比較來指導和修正實際加工。下圖顯示了微夾鉗的虛擬運行結果，圖中的器件顏色表示了器件運動時的劇烈程度，紅色表示變形最劇烈的部分，淡藍色表示變形較小的部分。
南開大學
2021-04-14
基于IP庫的通用MEMS器件可視化仿真與驗證工具
項目的背景及目的 迄今為止，集成電路的模擬、仿真直至評測已有了非常完善的工具軟件；并已成為設計過程的重要組成部分；對設計的成功、可靠、高效都已起到決定性作用。而對MEMS而言，還相差甚遠，這和MEMS發展的成熟程度有著直接關系。當然，這并不意味著MEMS不需要這樣的工具和系統。相反，由于MEMS的功能多樣、加工復雜、分析困難、設計周期長、成本高等。特別需要一個能包括運動仿真、評測在內的設計工具和系統。這是當前推動MEMS發展的當務之急。
南開大學
2021-04-14
寬量程MEMS風速風向傳感器設計與制造關鍵技術及應用
"該成果獲2018年度高等學校科學研究優秀成果獎（科學技術）技術發明類一等獎。1. 針對MEMS風速風向傳感器低風速誤差大、高風速難以測量的問題，發明了風速風向傳感器深槽隔熱結構，降低了襯底橫向熱傳導，提高了靈敏度，降低了測量誤差，擴大了傳感器的量程。 2. 針對MEMS風速風向傳感器高風速難以測量的問題，建立了傳感器系統級模型，實現了閉環控制；提出了風速風向傳感器的溫度自平衡測控方法，實現了60m/s的量程，解決了長期以來風速風向傳感器量程難以提高的技術難題。 3. 針對MEMS風速風向傳感器野外工作防護技術問題，發明了風速風向傳感器的陶瓷圓片級倒裝封裝技術，提出了導熱凸點與導電凸點結構及工藝技術；發明了傳感器嵌入式組裝結構，突破了傳感器野外工作的可靠性技術瓶頸。 4. 針對MEMS風速風向傳感器受環境溫度、濕度影響問題，在國際上首次建立了風速風向傳感器的濕度效應模型；基于傳感器材料與結構的溫度特性，建立了風速風向傳感器溫度效應模型，保障了傳感器長期工作的穩定性。 "
東南大學
2021-04-13
基于MEMS傳感器和VLC定位融合的雙粒子濾波導航裝置和方法
本發明公開了一種基于MEMS傳感器和VLC定位融合的雙粒子濾波導航裝置和方法，包括MEMS傳感器、INS模塊、PDR定位模塊、VLC定位模塊、測姿粒子濾波器和定位粒子濾波器；本發明在測姿濾波器的設計中，三維姿態誤差和三軸陀螺儀漂移作為6維的狀態向量。基于慣導機械編排的誤差方程作為其系統方程，用于更新粒子狀態。觀測方程包括加速度計觀測量更新和磁力計觀測量更新，用于計算粒子權重。測姿濾波器輸出VLC接收器的姿態給VLC定位模塊以校正姿態的影響。在定位濾波器的設計中，二維平面的位置信息作為系統狀態向量，基于行人航位推算的誤差方程作為系統方程，而VLC的定位結果則作為定位濾波器的觀測方程。
東南大學
2021-04-11
基于MEMS傳感器和VLC定位融合的單粒子濾波導航裝置和方法
本發明公開了一種基于MEMS傳感器和VLC定位融合的單粒子濾波導航裝置和方法，包括MEMS傳感器、INS模塊、VLC定位模塊、PDR定位模塊和測姿定位單粒子濾波器模塊；本發明中基于INS慣導機械編排的誤差方程作為融合濾波器的系統方程，用于對粒子群的粒子進行更新。觀測方程包括VLC定位信息更新、PDR定位信息更新和磁力計觀測量更新，用于計算各個粒子的權重。輸出姿態信息給VLC定位模塊和PDR定位模塊。本發明首次在VLC定位領域使用融合測姿準確估計VLC接收器的姿態信息，解決VLC定位容易受接收器姿態影響以及在光信號被遮擋情況下定位不連續的問題，并消除姿態對VLC定位的影響。
東南大學
2021-04-11
基于MEMS傳感器和VLC定位融合的單卡爾曼濾波導航裝置和方法
本發明公開了一種基于MEMS傳感器和VLC定位融合的單卡爾曼濾波導航裝置和方法，包括MEMS傳感器、INS模塊、VLC定位模塊、PDR定位模塊和測姿定位單卡爾曼濾波器模塊；本發明基于INS慣導機械編排的誤差方程作為融合濾波器的系統方程，觀測方程包括VLC定位信息更新、PDR定位信息更新和磁力計觀測量更新。融合濾波器輸出VLC接收器的姿態給VLC定位模塊，輸出PDR設備的姿態給PDR定位模塊以校正姿態的影響。首次在VLC定位領域使用融合測姿準確估計VLC接收器的姿態信息，主要解決了VLC定位容易受設備姿態影響以及在光信號被遮擋情況下定位不連續的問題。
東南大學
2021-04-11
基于MEMS傳感器和VLC定位融合的雙卡爾曼濾波導航裝置和方法
本發明公開了一種基于MEMS傳感器和VLC定位融合的雙卡爾曼濾波導航裝置和方法，包括MEMS傳感器、INS模塊、PDR定位模塊、VLC定位模塊以及測姿定位雙卡爾曼濾波器；對于測姿濾波器，基于慣導機械編排的誤差方程作為系統方程，觀測方程包括加速度計觀測量更新和磁力計觀測量更新，輸出姿態信息給VLC定位模塊和PDR定位模塊以校正姿態的影響。對于定位濾波器，二維平面的位置信息作為系統狀態向量，基于行人航位推算的誤差方程作為系統方程，而VLC的定位結果為觀測方程。本發明的技術方案解決VLC定位容易受設備姿態影響以及在光信號被遮擋情況下定位不連續的問題，消除姿態對VLC定位的影響。
東南大學
2021-04-11
一種基于 MEMS 系統的高靈敏度高分辨率的 微型溫度傳感器及監測方法
本發明涉及一種基于 MEMS 系統的高靈敏度高分辨率的微型溫度傳感器及監測方法，包括兩組 V 型彎曲梁組件，其中每組 V 型彎曲梁組件包括若干上下疊放的 V 型梁，所述每組 V 型彎曲梁組件的所 有 V 型梁同中心，且同時固定在一個固定塊上；兩組 V 型彎曲梁組件通過連接桿與固定在一個杠桿的 一端，所述杠桿另一端設有壓電陶瓷，壓電陶瓷的上下斷面分別是接電的上電極和下電極。本發明可以 感應極其微小的溫度變化并且將之轉換為較大的電信號輸出，能夠顯著
武漢大學
2021-04-14