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一種基于 MEMS 系統的高靈敏度高分辨率的 微型溫度傳感器及監測方法
2021-04-14 00:00:00
云上高博會
http://www.a00n.com
關鍵詞：
微型溫度傳感器
所屬領域:
項目成果/簡介:
本發明涉及一種基于 MEMS 系統的高靈敏度高分辨率的微型溫度傳感器及監測方法，包括兩組 V
型彎曲梁組件，其中每組 V 型彎曲梁組件包括若干上下疊放的 V 型梁，所述每組 V 型彎曲梁組件的所
有 V 型梁同中心，且同時固定在一個固定塊上；兩組 V 型彎曲梁組件通過連接桿與固定在一個杠桿的
一端，所述杠桿另一端設有壓電陶瓷，壓電陶瓷的上下斷面分別是接電的上電極和下電極。本發明可以
感應極其微小的溫度變化并且將之轉換為較大的電信號輸出，能夠顯著
項目階段:
知識產權編號:
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