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高等教育領(lǐng)域數(shù)字化綜合服務(wù)平臺(tái)
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一種 MEMS 器件的封裝方法
本發(fā)明公開(kāi)了一種 MEMS 器件的封裝方法，包括 S1 在框架基 板與封蓋的內(nèi)表面上對(duì)稱(chēng)附著圖形化的過(guò)渡金屬化層和釬料層；S2 在 框架基板的釬料層上附著圖形化的自蔓延多層膜；S3 將芯片鍵合固定 在框架基板上并實(shí)現(xiàn)信號(hào)互連；S4 將固定有芯片的框架基板與封蓋進(jìn) 行除氣除濕處理后對(duì)準(zhǔn)堆疊形成封裝結(jié)構(gòu)；S5 對(duì)封裝結(jié)構(gòu)施加壓力、 預(yù)熱后引燃自蔓延多層膜，自蔓延多層膜燃燒并熔化釬料層實(shí)現(xiàn)冶金 互連。本發(fā)明將封蓋直接與框架
華中科技大學(xué)
2021-04-14
旦大學(xué).jpg){kind=logo}
新型氣敏材料及MEMS氣敏器件的研究
復(fù)旦大學(xué)微電子學(xué)院教授盧紅亮團(tuán)隊(duì)首次結(jié)合硬模板法、原子層沉積技術(shù)和水熱工藝，在低功耗MEMS器件上原位合成了單層有序SnO2納米碗支化ZnO納米線(xiàn)的多級(jí)異質(zhì)復(fù)合納米材料，并以此作為氣體傳感器，對(duì)濃度低至1 ppm的硫化氫實(shí)
復(fù)旦大學(xué)
2021-01-12
大學(xué).jpg){kind=logo}
基于IP庫(kù)的通用MEMS器件可視化仿真與驗(yàn)證工具
“虛擬工藝”軟件可由標(biāo)準(zhǔn)工藝流程文件和掩膜版圖文件，模擬出所要加工的MEMS器件的真實(shí)三維結(jié)構(gòu)，具有良好的通用性和精度。下圖為自主開(kāi)發(fā)的“虛擬工藝”軟件生成的微夾鉗三維結(jié)構(gòu)。 “虛擬運(yùn)行”軟件對(duì)器件的運(yùn)動(dòng)情況進(jìn)行仿真，并與最初設(shè)計(jì)方案比較來(lái)指導(dǎo)和修正實(shí)際加工。下圖顯示了微夾鉗的虛擬運(yùn)行結(jié)果，圖中的器件顏色表示了器件運(yùn)動(dòng)時(shí)的劇烈程度，紅色表示變形最劇烈的部分，淡藍(lán)色表示變形較小的部分。
南開(kāi)大學(xué)
2021-04-14
基于IP庫(kù)的通用MEMS器件可視化仿真與驗(yàn)證工具
項(xiàng)目的背景及目的 迄今為止，集成電路的模擬、仿真直至評(píng)測(cè)已有了非常完善的工具軟件；并已成為設(shè)計(jì)過(guò)程的重要組成部分；對(duì)設(shè)計(jì)的成功、可靠、高效都已起到?jīng)Q定性作用。而對(duì)MEMS而言，還相差甚遠(yuǎn)，這和MEMS發(fā)展的成熟程度有著直接關(guān)系。當(dāng)然，這并不意味著MEMS不需要這樣的工具和系統(tǒng)。相反，由于MEMS的功能多樣、加工復(fù)雜、分析困難、設(shè)計(jì)周期長(zhǎng)、成本高等。特別需要一個(gè)能包括運(yùn)動(dòng)仿真、評(píng)測(cè)在內(nèi)的設(shè)計(jì)工具和系統(tǒng)。這是當(dāng)前推動(dòng)MEMS發(fā)展的當(dāng)務(wù)之急。
南開(kāi)大學(xué)
2021-04-14
業(yè)大學(xué).jpg){kind=logo}
自動(dòng)封盒包裝系統(tǒng)
自動(dòng)封盒包裝系統(tǒng)，包括推盒機(jī)構(gòu)和折角機(jī)構(gòu)；所述推盒機(jī)構(gòu)包括一推動(dòng)待包裝工件的推手、一做為待包裝工件提供移動(dòng)平臺(tái)的承載平臺(tái)，推手底部可移動(dòng)安裝在滑動(dòng)軌道上，沿承載平臺(tái)長(zhǎng)度方向，承載平臺(tái)包括一平直推手行走縫，所述推手頂部從推手行走縫伸出；承載平臺(tái)的上方，平行于承載平臺(tái)的延伸方向，與承載平臺(tái)間隔設(shè)置有限位板；所述折角機(jī)構(gòu)排布在承載平臺(tái)延伸方向，順次包括背端面兩側(cè)折角器、側(cè)端面上折角器、側(cè)端面下折角器、前端面兩側(cè)折角器、前端面上折角器和前端面下折角器。本發(fā)明提供的自動(dòng)包裝系統(tǒng)用于為待包裝物外側(cè)加裝包裝紙，具體可用于為包裝盒加裝包裝紙，或?yàn)轭?lèi)似包裝盒類(lèi)的長(zhǎng)方體或正方體物體外加包裝紙，應(yīng)用范圍廣，自動(dòng)化程度高。
青島農(nóng)業(yè)大學(xué)
2021-04-13
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腹膜透析管道固定腰封
本實(shí)用新型涉及醫(yī)療設(shè)備技術(shù)領(lǐng)域，具體涉及腹膜透析管道固定保護(hù)腰封，其結(jié)構(gòu)包括用于圍住腰部 的布帶、調(diào)整型魔術(shù)貼和用于放置短管末端的容納袋，所述調(diào)整型魔術(shù)貼位于所述布帶的兩端，用于將該 布帶貼扣在腰部，所述用于放置短管末端的容納袋設(shè)于所述布帶上，其開(kāi)口朝向左側(cè)或者右側(cè)，所述用于 放置短管末端的容納袋使用時(shí)位于人體的腹部，短管與從腹腔伸出的腹膜透析管連接，短管末端置于容納 袋內(nèi)。本實(shí)用新型使用時(shí)，患者利用布帶上的調(diào)整型魔術(shù)貼將布帶固定在腰部，將短管末端放入容納袋， 保護(hù)貼布可內(nèi)襯無(wú)菌棉紗即可很好地保護(hù)腹透導(dǎo)管出口、固定腹膜透析管、短管和短管末端。 本實(shí)用新型涉及醫(yī)療設(shè)備技術(shù)領(lǐng)域，具體涉及腹膜透析管道固定保護(hù)腰封。
中山大學(xué)
2021-04-10
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MEMS慣性測(cè)量單元
慣性測(cè)量單元（Inertial Measurement Unit，簡(jiǎn)稱(chēng)IMU）是測(cè)量物體三軸姿態(tài)角（或角速度）以及加速度的裝置。IMU屬于捷聯(lián)式慣導(dǎo)，該系統(tǒng)由兩個(gè)加速度傳感器與三個(gè)速度傳感器（陀螺）組成，加速度計(jì)測(cè)量物體在載體坐標(biāo)系統(tǒng)獨(dú)立三軸的加速度信號(hào)，而陀螺檢測(cè)載體相對(duì)于導(dǎo)航坐標(biāo)系的角速度信號(hào)，測(cè)量物體在三維空間中的角速度和加速度，并以此解算出物體的姿態(tài)。在導(dǎo)航中有著很重要的應(yīng)用價(jià)值。 技術(shù)指標(biāo) 技術(shù)指標(biāo) 單位 型號(hào) UESTCME-1 UESTCME-2 UESTCME-3 軸數(shù) 個(gè) 3 3 3 加速度量程 ±10g ±35g ±35g 加速度精度 2.8 5.5 11 加速度靈敏度 mV/g 100±2 20±1 40±1 加速度零點(diǎn)穩(wěn)定性 mg/hr 15 60 40 加速度溫度漂移 % <2% <2% <2% 角速度量程 o/s ±150 ±300 ±300 角度精度 度 0.1 0.2 0.1 角度靈敏度 mV/o/s 6±1 6±1 25±1 角度零點(diǎn)漂移 o/hr 0.3 1.0 0.3 角度溫度漂移 % <2% <5% <2%
電子科技大學(xué)
2021-04-10
MEMS慣性測(cè)量單元
慣性測(cè)量單元（Inertial Measurement Unit，簡(jiǎn)稱(chēng)IMU）是測(cè)量物體三軸姿態(tài)角（或角速度）以及加速度的裝置。IMU屬于捷聯(lián)式慣導(dǎo)，該系統(tǒng)由兩個(gè)加速度傳感器與三個(gè)速度傳感器（陀螺）組成，加速度計(jì)測(cè)量物體在載體坐標(biāo)系統(tǒng)獨(dú)立三軸的加速度信號(hào)，而陀螺檢測(cè)載體相對(duì)于導(dǎo)航坐標(biāo)系的角速度信號(hào)，測(cè)量物體在三維空間中的角速度和加速度，并以此解算出物體的姿態(tài)。在導(dǎo)航中有著很重要的應(yīng)用價(jià)值。
電子科技大學(xué)
2021-04-10
MEMS慣性測(cè)量單元
成果簡(jiǎn)介： 慣性測(cè)量單元（Inertial Measurement Unit，簡(jiǎn)稱(chēng)IMU）是測(cè)量物體三軸姿態(tài)角（或角速度）以及加速度的裝置。IMU屬于捷聯(lián)式慣導(dǎo)，該系統(tǒng)由兩個(gè)加速度傳感器與三個(gè)速度傳感器（陀螺）組成，加速度計(jì)測(cè)量物體在載體坐標(biāo)系統(tǒng)獨(dú)立三軸的加速度信號(hào)，而陀螺檢測(cè)載體相對(duì)于導(dǎo)航坐標(biāo)系的角速度信號(hào)，測(cè)量物體在三維空間中的角速度和加速度，并以此解算出物體的姿態(tài)。在導(dǎo)航中有著很重要的應(yīng)用價(jià)值。 技術(shù)指標(biāo) 技術(shù)指標(biāo) 單位 型號(hào) UESTCME-1 UESTCME-2 UESTCME-3 軸數(shù) 個(gè) 3 3 3 加速度量程 ±10g ±35g ±35g 加速度精度 2.8 5.5 11 加速度靈敏度 mV/g 100±2 20±1 40±1 加速度零點(diǎn)穩(wěn)定性 mg/hr 15 60 40 加速度溫度漂移 % <2% <2% <2% 角速度量程 o/s ±150 ±300 ±300 角度精度 度 0.1 0.2 0.1 角度靈敏度 mV/o/s 6±1 6±1 25±1 角度零點(diǎn)漂移 o/hr 0.3 1.0 0.3 角度溫度漂移 % <2% <5% <2%
電子科技大學(xué)
2017-10-23
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MEMS氣象站
MEMS氣象站可實(shí)現(xiàn)溫度、濕度、壓力和風(fēng)速等信息的實(shí)時(shí)監(jiān)測(cè)。
東南大學(xué)
2021-04-13