|
復(fù)旦大學(xué)
搜 索
高等教育領(lǐng)域數(shù)字化綜合服務(wù)平臺
搜 索
旦大學(xué).jpg){kind=logo}
復(fù)旦大學(xué)
教育部
- 59 高校采購信息
- 104 科技成果項(xiàng)目
- 3 創(chuàng)新創(chuàng)業(yè)項(xiàng)目
- 0 高校項(xiàng)目需求
新型氣敏材料及MEMS氣敏器件的研究
2021-01-12 00:00:00
云上高博會
http://www.a00n.com
關(guān)鍵詞：
MEMS氣敏器件
所屬領(lǐng)域:
項(xiàng)目成果/簡介:
復(fù)旦大學(xué)微電子學(xué)院教授盧紅亮團(tuán)隊(duì)首次結(jié)合硬模板法、原子層沉積技術(shù)和水熱工藝，在低功耗MEMS器件上原位合成了單層有序SnO2納米碗支化ZnO納米線的多級異質(zhì)復(fù)合納米材料，并以此作為氣體傳感器，對濃度低至1 ppm的硫化氫實(shí)
項(xiàng)目階段:
掃碼關(guān)注，查看更多科技成果
取消
確定